• 한국정밀공학회지
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• 제30권11호
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• pp.1193-1201
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• 2013

Improved far field type(improved type) megasonic applicable to the cleaning equipment of single wafer processing type has been developed. In this study, to improve the uniformity of acoustic pressure distribution(APD), we utilize far field with relatively uniform APD, piezoelectric ceramic with a triangle hole in its center to prevent standing wave resulted from radial mode, and reflected wave from the wall of waveguide. On the basis of these methods, two analysis models of improved type were designed to which piezoelectric ceramic of different shape of electrode attached, and APD were analyzed by means of finite element method, and then one of them was selected by analysis results, finally, the selected model was fabricated. Test results show that the fabricated is better in the uniformity of APD than the imported and the conventional, also the fabricated shows high particle removal efficiency of 92.3% using DI water alone as a cleaning solution.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2007년도 추계종합학술대회
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• pp.747-750
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• 2007

본 연구는 부식을 방지하기 위해서는 metal line식각 후 염소 잔유물 과 plasma charge up을 식각 조건, PR strip조건 및 후속 세정 조건을 최적화함으로써 제거해야 한다고 제안 하였다. Metal line에 다량 분포하는 charge up은 후속 세정의 적정 PH와 만났을 때, 하부 tungsten plug의 부식을 유발 하게 된다. Metal line식각 및 PR strip후 세정에 있어 약액의 종류는 부식에 결정적인 영향을 미친다. Galvanic corrosion을 최소화하기 위한 적정 PH, metal attack을 최소화 할 수 있는 chemistry선택, 높은 식각 부산물 제거 효율의 약액, 최적의 $H_2O$처리 조건 등이 metal부식방지에 있어 결정적인 요소임을 확인하였다.

• 한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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• 제23권3호
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• pp.14-19
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• 2021

The reduction of carbon dioxide emissions becomes a global issue, the main source of carbon dioxide emissions in the Asian region is the energy conversion sector, especially coal-fired power plants. We are working to develop technologies that will at least limit the increase in carbon dioxide emissions from the thermal power plants as one way to reduce carbon dioxide emissions. Our research aims to reduce carbon dioxide emissions by removing iron oxide scale from the feedwater system of thermal power plants using a superconducting high-gradient magnetic separation (HGMS) system, thereby reducing the loss of power generation efficiency. In this paper, the background of thermal power plants in Asia is outlined, followed by a case study of the introduction of a chemical cleaning line at an actual thermal power plant in Japan, and the possibility of introducing it into the thermal power plants in China based on the results.

• 대한치과재료학회지
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• 제44권1호
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• pp.61-68
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• 2017

본 연구는 MDP 적용 후 타액으로 오염된 지르코니아 수복물을 다양한 방법으로 세척한 후 전단결합강도를 비교하여 세척방법이 결합강도에 미치는 영향을 알아보고자 한다. 80개의 지르코니아 시편을 8개의 군으로 나누었다. 모든 시편에 MDP를 적용한 후 한 개의 군(음성대조군)을 제외하고 나머지 군에 타액을 적용하여 오염시켰다. 그 중 한 개의 군(양성대조군)은 타액 오염 후 세척하지 않고 즉시 레진 시멘트를 이용하여 접착하였다. 나머지 6개의 군의 시편을 물을 이용하여 세척하고 MDP를 적용하거나(물+MDP) 적용하지 않은 군(물), Ivoclean으로 세척하고 MDP를 적용하거나(IVOCLEAN+MDP) 적용하지 않은 군(IVOCLEAN), 차아염소산나트륨을 이용하여 세척하고 MDP를 적용하거나(NaOCl+MDP) 적용하지 않은 군(NaOCl)으로 분류하였다. 모드 시편은 $37^{\circ}C$ 증류수에 24시간 저장한 후 전단강도를 측정하였고, ANOVA, Tukey's post hoc test를 이용하여 전단강도를 분석하였고, MDP의 재적용 여부가 미치는 영향에 대해서는 student t-test를 이용하여 통계분석하여 다음의 결과를 얻었다. 양성대조군이 가장 낮은 전단강도 값을 나타냈으며, 물군과 NaOCl군이 낮은 전단강도 값을 나타내며 양성대조군과 유의한 차이가 없었다. IVOCLEAN군은 물군과 NaOCl군보다 유의하게 높은 전단강도 값을 나타내며 음성대조군과 유의한 차이가 없었다. MDP를 재적용한 것은 물과 차아염소산나트륨을 이용한 경우 MDP를 재적용하지 않은 경우와 유의한 차이를 나타내면서 음성대조군과 유의한 차이가 없었다. Ivoclean을 사용한 경우 MDP 재적용 여부와는 관계없이 음성대조군과 유의한 차이가 없었다. 결론적으로, 세척방법에 따라 전단강도는 영향을 받으며, MDP 재적용 여부와는 관계없이 Ivoclean이 효과적이며, 물과 차아염소산나트륨 사용시에는 MDP를 다시 적용해주는 것이 결합강도를 향상시킬 수 있는 방법으로 사료된다.

• 한국학교ㆍ지역보건교육학회지
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• 제1권2호
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• pp.87-104
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• 2000

The purpose of this study was to obtain the basic data as a improvement method through the fact-revealing concerning the drinking water management of school and utilization of student. The problems of the research are as follows: First, to investigate status of management of drinking water by area and school. Second, to investigate student's utilization of drinking water by area and school. 1,400 students was selected at 45 elementary and middle-high schools located in Kang-won province, and this study was constituted of two questionnaires(for school's questionnaire and student's questionnaire). The results was analyse through the frequency analysis, $x^2$-test on the basis of the above research problem by SPSS program. The findings of this research are as follows; 1) The Management of School Drinking Water First, the source of school drinking water was mostly piped water. Inspection of water quality has been fulfilled under four times a year, in the other hands, from the result inspection, the schools which was given inadequate determination was 22.2%. Second, reservoir cleaning and hygiene inspection failed far short of the regulations. Especially, reservoir cleaning was managed by exterior consignment industry not low-level officials. Third, school water drinking was the most supplied through the type of water purifier. Water purifier has been distributed to city-located and middle-high school highly, factually the water from water purifier was served with water cup. Fourth, the selection standard of water drinking manager showed slightly differently by school, accordingly there need to develope integrated system with the respective to its effective systematic management. Fifth, water cup was mostly treated by only water clear, which is to vindicate the problems concerning hygiene management. 2) Utilization of school student on Drinking Water First, Disbelief on drinking water of school student was very high. Especially, proportion of middle-high school student's disbelief of drinking water was higher than elementary school student, also girls higher than boys. Many of student have heard to don't drink water from around people. And there were showed meaningful differences by area and school. Second, It was showed many student recognize had to utilize water purifier, boiled water. However, they have still drunken the tap water or portable water from their home. Third, Many of student showed negative response with the respective to the management conditions of drinking water in classroom, There were showed meaningful differences by area and school. From the fact-revealing of water cup management, Students mostly answered to 'only water clear' and the answer of 'None use' or 'With personal cup' was higher. Fourth, In bad experience of Drinking Water, student mostly answered to 'occasionally' and there were showed meaningful differences by school. student's disease experience with school drinking water was few and there were showed meaningful differences by area and gender.

• 한국식품저장유통학회지
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• 제17권3호
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• pp.405-409
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• 2010

현재 대부분의 수삼은 흙이 묻은 상태로 유통되고 있는데 소비자의 편이성을 고려하여 수삼을 세척한 후 포장한 상태로 유통시키기 위한 연구의 일환으로 수삼의 세척처리 방법에 따른 표면세척효과 및 미생물 감균 효과를 조사하였다. 수확 직후 수삼의 부위별 생균수는 5.85~6.63 log CFU/ea범위로 뇌두 부위가 가장 많았고 다음으로는 지근과 주근 순이었다. 부위별 곰팡이 수는 3.67~5.12 log CFU/ea범위로 뇌두 부위가 많았으며 주근과 지근은 거의 유사한 수준이었다. 수삼표면을 상압살수, 고압살수 및 솔질 처리를 하였던 바 고압살수처리에 의해 세척도가 증가하고, 표면 미생물을 감소시킬 수 있었으나 그 효과는 솔질처리의 경우보다는 낮았다. 세척한 수삼의 표면 미생물 수를 더 낮추기 위해 부가적으로 에탄올용액, 차아염소산나트륨 용액, 과산화수소용액, 전해산화수, 오존수 및 중온수를 각각 처리하였던 바 전해산화수 처리 시 생균수와 곰팡이 수가 세척한 수삼에 비해 각각 0.79 CFU/ea, 0.51 log CFU/ea 정도 감소하여 다른 처리구에 비하여서는 우수하였으나 처리구간의 통계적인 유의성은 인정되지 않았다.

• 한국물환경학회지
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• 제22권5호
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• pp.824-830
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• 2006

Several tests were conducted to optimize the design parameters of ln-situ soil flushing processes for diesel contaminated soil. According to the batch extraction test for three anionic surfactants evaluation, Calgonit limiting bubble occurrence was selected for its higher oil cleaning efficiency. After optimum surfactant selection, there were many sets of column flushing test. Over 70% of BTEX was removed in this surfactant dose with 400% of soil volume. In the case of no surfactant addition flushing in column, so called "blank flushing test", BTEX removal rate was 64%. But when we reused the effluent for the cleaning solution, the removal rate was decreased to 46.9%. This result showed reabsorption of oil occurred on the soil. With the addition of Calgonit solution to the diesel contaminated column, BTEX was removed up to 98.9% during the first flushing and 99.4% for the second recirculation flushing. In microcosm tests, diesel contaminated soils were cleaned by both surfactant flushing and biological activities. In anoxic condition, nitrate was used as an electron acceptor while the surfactant and the oil were used an electron donor. BTEX removal efficiency could be achieved up to 80% by biological degradation.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제4권4호
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• pp.19-26
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• 2005

The process optimization of ozone concentration and half life time was investigated in ultra pure water and alkaline solutions for the wet cleaning of silicon wafer surface at room temperature. In the ultra pure water,. the maximum concentration (35 ppm) of ozone was measured at oxygen flow rate of 3 liters/min and ozone generator power over 60%. The half life time of ozone increased at lower power of ozone generator. Additive gases such as $N_2$ and $CO_2$ were added to increase the concentration and half life time of ozone. Although the maximum ozone concentration was higher with the addition of $N_2$ gas, a longer half life time was observed with the addition of $CO_2$. When $NH_4OH$ of 0.05 or 0.10 vol% was added in DI water, the pH of the solution was around 10. The addition of ozone resulted in the half life time less than 1 min. In order to maintain high pH and ozone concentration, ozone was continuously supplied in 0.05 vol% ammonia solutions. 3 ppm of ozone was dissolved in ammonia solutions. The static contact angle of silicon wafer surface became hydrophilic. The particle removal was possible alkaline ozone solutions. The organic contamination can be removed by ozonated ultra pure water and then alkaline solution containing ozone can remove the particles on silicon surface at room temperature.

• 청정기술
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• 제7권3호
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• pp.179-185
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• 2001

각종 전처리 필터로 사용되는 정밀여과막은 국내의 경우 대부분 수입에 의존하고 있다. 몇몇 회사에서 개발을 시도하고 있지만, 막에 대한 특성 파악이나 공극제어등과 같은 문제를 해결하는데 많은 어려움이 있다. 따라서 본 연구에서는 A 사에서 개발한 정밀여과막을 이용하여 한강원수와 시수에 대하여 RO 유입전 전처리 필터로서의 적합성을 판단하고자 본 연구를 수행하였다. 한강원수는 총 2회에 걸쳐서 실험을 실시하였다. 적정 공급수 압력은 0.2~0.4 기압이며 여과수의 탁도는 0.4 NTU를 나타냈다. 플럭스는 $6,000{\sim}9,000L/m^2/hr$ 였다. 시수의 경우 회수율을 90%로 운전시 안정된 플럭스와 탁도를 나타내었다. 화학세정 후 TMP의 증가율은 감소를 하였으며, 탁도는 0.4 NTU에서 0.1 NTU로 개선되었다.

• 자원ㆍ환경경제연구
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• 제18권4호
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• pp.767-785
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• 2009

본 연구에서는 수질배출부과금제도의 부과체계를 분석하고 개선 방안을 연구하였다. 수질배출부과금제도는 환경오염 원인자에게 처리비용을 부담시켜 환경자원을 효율적으로 사용하도록 하는 경제적 유인 목적을 가지고 있으나 현행 수질배출부과금제도는 행정 규제적 성격이 강하다. 즉, 배출허용기준을 설정하여 이를 위반한 배출업소에 대하여 사업장 규모, 지역, 위반 횟수, 오염물질별 초과율을 고려한 누증적 부과계수를 적용하여 실제 환경오염 비용을 훨씬 초과하는 형벌적 성격의 부과금을 부과하고 있다. 그러나 과도한 부과금 부과로 배출부과금 징수율은 환경관련 부과금 중 가장 낮은 수준이다. 따라서 본 연구에서는 규제적 성격의 부과체계를 개편하여 경제적 유인제도로 수질배출부과금제도를 개편하는 부과체계 개편안을 연구하였으며 이에 따른 부과액 및 징수액 변화 효과를 추정하였다. 추정 결과를 보면 현행 부과금 부과액은 오염물질 처리단가의 약 4배 이상을 부과하고 있어 환경자원의 비효율적 배분을 초래하고 있음을 보여준다. 아울러 과도한 부과금 부과체계를 개선하는 경우에는 징수율도 제고되어 수질배출부과금제도의 기능을 회복할 수 있음을 보여준다.