Stabilization of Modified Deceleration Mode for Improvement of Low-energy Ion Implantation Process (저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.16 no.3
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- pp.175-180
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- 2003