AFM modulation algorithm for the high speed measurement using a heterodyne laser interferometer (헤테로다인 레이저 간섭계에서 고속 측정을 위한 주파수 변조 알고리즘)
-
- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
- /
- 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
- /
- pp.922-925
- /
- 2005