A brief review on the effect of impurities on the atomic layer deposited fluorite-structure ferroelectrics (원자층증착법으로 증착된 강유전성 플루오라이트 구조 강유전체 박막의 불순물 효과)
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- Journal of the Korean institute of surface engineering
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- v.53 no.4
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- pp.169-181
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- 2020