박막 $p^+-n$ 접합 형성을 위한 보론 확산 시뮬레이터의 제작에 관한 연구
(A study on the design of boron diffusion simulator applicable for shallow $p^+-n$ junction formation)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 반도체 재료 센서 박막재료 전자세라믹스
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- pp.30-33
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- 2004