$SiH_4$ 플라즈마중의 전자수송특성 해석
(The Analysis of Electron Transport Characteristics in $SiH_4$ Plasma)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1998년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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- pp.925-928
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- 1998