• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
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• pp.1269-1271
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• 2008

We find some array mura are caused by S/D bridge or channel open in 4 mask process. The gray tone PR thickness non-uniformity is the main reason of these defects. By the adjustment of exposure and dry etch parameters, S/D bridge and channel open ratio drops by 10.87%.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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• pp.39-39
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• 2009

We fabricated p-channel TFTs based on poly Silicon. The 35nm thickness silicon dioxide layer structure got higher $I_{on}/I_{off}$ ratio, field-effect Mobility and output current than 10nm thickness. And 35nm layer showed low leakage current and threshold voltage. So, 35nm thickness silicon dioxide layer TFTs are faster reaction speed and lower power consumption than 10nm thickness.

• 연구논문집
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• 통권31호
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• pp.135-147
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• 2001

The wall-thickness of insulated pipelines can be easily evaluated by measuring the gamma-ray transmission intensity because this intensity is inversely proportional to the thickness of insulated pipeline. The main purpose of this study is to develop the nondestructive and filmless on-line inspection system of corrosion by measuring the wall thickness of insulated pipeline. The inspection system is constructed with radioisotope, 64 channel photo diode array detector, crawler system and data taking and operating software. The traditional off-line radiographic method carried out by exposing film cassettes can be replaced by this cost-effective on-line digital imaging method and the application will be greatly expected especially in the chemical and petrochemical industries.

• 대한기계학회논문집A
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• 제29권9호
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• pp.1169-1174
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• 2005

Imprint lithography is a promising method for high-resolution and high-throughput lithography using low-cost equipment. In particular, ultraviolet-nanoimprint lithography (UV-NIL) is applicable to large area imprint easily. We have proposed a new UV-NIL process using an elementwise patterned stamp (EPS), which consists of a number of elements, each of which is separated by channel. Experiments on UV-NIL are performed on an EVG620-NIL using the EPS with 3mm channel width. The replication of uniform sub 70 nm lines using the EPS is demonstrated. We investigate the nonuniformity of residual layer caused by wafer deformation in experiment with varying wafer thickness. Severely deformed wafer works as an obstacle in spreading of dropped resin, which causes nonuniformity of thickness of residual layer. Numerical simulations are conducted to analyze aforementioned phenomenon. Wafer deformation in the process is simulated by using a simplified model, which is a good agreement with experiments.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제8권1호
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• pp.96-101
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• 2004

망막 두께 측정은 망막을 3차원으로 촬영하고 고속으로 신호처리를 할 수 있는 시스템을 필요로 한다. 본 논문에서는 망막을 촬영하여 3차원 영상으로 구성하기 위한 촬영장치 및 16채널 고속 영상 획득 시스템 개발내용을 소개한다. 망막에 HeNe 레이저를 투사하여 망막에서 반사되어 돌아오는 레이저의 양을 array photo diode로 감지한 후에 이를 3차원으로 형상화함으로써 망막의 두께를 측정한다. 망막에 레이저를 투사하는 장치, APD 광 센서를 이용한 망막 영상화 장치, 16 채널 실시간 A/D 변환 장치 및 PCI 마스터 인터페이스 장치를 개발하였다.

• 한국기계기술학회지
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• 제20권6호
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• pp.858-864
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• 2018

Graphene oxide (GO) laminate is a new promising material for water purification system, which has extraordinary permeability only for water molecule. It consists of numerous nano-channels, in which water molecules could be nano-confined, resulting in slip of the molecules for very fast transportation speed. In this study, water penetration rate via different thickness of GO membrane according to driven pressures are measured experimentally, so that speed of water molecules and permeability are evaluated. Generally, water penetration rate via a membrane with macroscopic-sized channel increases linearly with pressure difference between up and bottom side of the membrane, but that via GO membrane approaches asymptotic value (i.e. saturation) as like a log function. Moreover, the permeability of GO membrane was observed in inverse proportion to its thickness. Based on the experimental observations, a correlation for volume flux via GO membrane was suggested with respect to its thickness and external pressure difference.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제18권5호
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• pp.1143-1148
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• 2014

본 연구에서는 비대칭 이중게이트 MOSFET의 채널 내 도핑분포함수의 변화에 따른 문턱전압이하 스윙의 변화를 분석하였다. 이중게이트 MOSFET의 특성을 결정하는 가장 기본적인 요소는 채널의 크기 즉, 채널길이, 채널두께 등과 채널의 도핑분포함수이다. 도핑분포는 채널도핑 시 사용하는 이온주입법에 의하여 결정되며 일반적으로 가우스분포함수에 준한다고 알려져 있다. 포아송방정식을 이용하여 전하분포를 구하기 위하여 가우스분포함수을 이용하였다. 가우스분포함수는 반드시 상하 대칭이 아니므로 채널길이 및 채널두께, 그리고 비대칭 이중게이트 MOSFET의 상하단 게이트 전압 변화 등에 따라 문턱전압이하 스윙 값은 크게 변화할 것이다. 이에 본 연구에서는 가우스분포함수의 파라미터인 이온주입범위 및 분포편차에 따른 문턱전압이하 스윙의 변화를 관찰하고자 한다. 분석결과, 문턱전압이하 스윙은 도핑분포함수 및 게이트 전압 등에 따라 크게 영향을 받는 것을 관찰할 수 있었다.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제9권4호
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• pp.804-810
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• 2005

이 연구에서는 더블게이트 MOSFET(DGMOSFET)에 대한 해석학적 서브문턱스윙(Subthreshold swing; SS) 모델을 제시하였다. 이 모델에서는 기존에 사용되었던 근사모델보다 채널길이, 채널두께가 10nm정도로 매우 작을 때에 더 정확한 결과를 유도할 수 있다. 본 연구에서 제시한 모델의 타당성을 증명하기 위하여 계산결과를 Medici 시뮬레이션 결과와 비교하였으며 잘 일치함을 관찰하였다. 본 연구에서 제시한 모델을 사용하여 DGMOSFET 설계시 중요한 채널길이, 채널두께 그리고 게이트 산화막의 두께 등의 요소 변화에 대한 SS의 변화를 관찰하였다. 관찰 결과 제시한 모델은 나노급 DGMOSFET소자 설계시 유용한 자료를 공급 할 것이다. 각 요소중 채널길이와 채널두께의 비는 작을수록 SS값이 향상됨을 알 수 있었으며 특히 산화막 두께가 작을 때 SS값은 현저히 작아지는 것을 알 수 있었다. 또한 나노급 DGMOSFET소자 설계를 가능하게 하기 위하여 유전율이 큰 게이트 유전체 재료가 개발되어야 할 것이다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국정보통신학회 2012년도 추계학술대회
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• pp.818-821
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• 2012

본 연구에서는 이중게이트 MOSFET의 전도중심에 따른 문턱전압의 변화를 분석할 것이다. DGMOSFET에 대한 단채널효과 중 문턱전압의 이동은 정확한 소자동작에 저해가 되고 있다. 문턱전압분석을 위하여 포아송방정식의 분석학적 전위분포를 이용하였으며 이때 전하분포함수에 대하여 가우시안 함수를 사용함으로써 보다 실험값에 가깝게 해석하였다. 소자 파라미터인 채널길이, 채널두께, 게이트산화막두께 그리고 도핑농도 등에 대하여 전도중심의 변화에 대한 문턱전압의 변화를 관찰하였다. 본 연구의 모델에 대한 타당성은 이미 기존에 발표된 논문에서 입증하였으며 본 연구에서는 이 모델을 이용하여 문턱전압특성을 분석할 것이다. 분석결과 문턱전압은 소자 파라미터에 에 대한 전도중심의 변화에 크게 영향을 받는 것을 관찰할 수 있었다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국정보통신학회 2012년도 추계학술대회
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• pp.825-828
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• 2012

본 연구에서는 이중게이트 MOSFET의 전도중심에 따른 항복전압의 변화를 분석할 것이다. DGMOSFET에 대한 단채널효과 중 낮은 항복전압은 소자동작에 저해가 되고 있다. 항복전압분석을 위하여 포아송방정식의 분석학적 전위분포를 이용하였으며 이때 전하분포함수에 대하여 가우시안 함수를 사용함으로써 보다 실험값에 가깝게 해석하였다. 소자 파라미터인 채널길이, 채널두께, 게이트산화막두께 그리고 도핑농도 등에 대하여 전도중심의 변화에 대한 항복전압의 변화를 관찰하였다. 본 연구의 모델에 대한 타당성은 이미 기존에 발표된 논문에서 입증하였으며 본 연구에서는 이 모델을 이용하여 항복전압특성을 분석할 것이다. 분석결과 항복전압은 소자파라미터에에 대한 전도중심의 변화에 크게 영향을 받는 것을 관찰할 수 있었다.