p$^+$ Si 외팔보 구조를 이용한 광학 소자용 마이크로 구동기의 제작
(Fabrication of a Micro Actuator with p$^+$ Si Cantilevers for Optical Devices)
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- 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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- 제50권5호
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- pp.249-252
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- 2001