Analysis of Real Data Transmission for SECS Protocol between CTC and System Unit in Semiconductor Sputter Process (반도체 스퍼터 공정에서 CTC와 단위기기의 SECS 프로토콜 적용으로 실시간 자료 전송 해석)
-
- Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
- /
- 2017.04a
- /
- pp.567-570
- /
- 2017