Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference (한국정보처리학회:학술대회논문집)

  • 2017.04a
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  • Pages.567-570
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  • 2017
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  • 2005-0011(pISSN)
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  • 2671-7298(eISSN)
Korea Information Processing Society (한국정보처리학회)
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Analysis of Real Data Transmission for SECS Protocol between CTC and System Unit in Semiconductor Sputter Process

반도체 스퍼터 공정에서 CTC와 단위기기의 SECS 프로토콜 적용으로 실시간 자료 전송 해석

  • Jo, Sung-euy (Dept of Computer Science, Hanbat National University) ;
  • Kim, Jeong-Ho (Dept of Computer Science, Hanbat National University)
  • 조성의 (한밭대학교 정보통신전문대학원 컴퓨터공학과) ;
  • 김정호 (한밭대학교 정보통신전문대학원 컴퓨터공학과)
  • Published : 2017.04.27
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Abstract

산업공정에서 공정 정보처리의 극대화를 위하여 PLC, 로봇 등의 여러 프로그램식 단위제어기기가 네트워크로 연결되어 운영되고 있다. 대부분이 RS232C와 고유 장비의 전송절차에 의해 수행되어 왔지만, ISO 등에서는 반도체공정에 적용을 위한 SECS에 대한 프로토콜을 표준화하였다. 본 연구는 반도체 스퍼터 공정에 PLC, 로봇, 반송장치의 연결에 SECS-II를 적용하고, HSMS를 활용하여 TCP/IP와 Host를 연결하여 계층구조의 네트워크를 운영하였다. 전송 메세지 type을 stream과 function으로 나누어 송수신 확인과 데이터 전송절차를 설정하여 공정이 정상적으로 운영됨을 확인하였다.

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