Micro structural characteristics of Bragg reflector of SMR type FBAR device deposited by RF magnetron sputtering (RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 SMR 구조 FBAR 소자의 Bragg 반사층의 미세구조 특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2005.07c
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- pp.1992-1994
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- 2005