• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.265.2-265.2
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• 2016

Oxide thin film transistors (TFTs) have attracted considerable interest for gate diver and pixel switching devices of the active matrix (AM) liquid crystal display (LCD) and organic light emitting diode (OLED) display because of their high field effect mobility, transparency in visible light region, and low temperature processing below $300^{\circ}C$. Recently, oxide TFTs with polycrystalline In-Ga-O(IGO) channel layer reported by Ebata. et. al. showed a amazing field effect mobility of $39.1cm^2/Vs$. The reason having high field effect mobility of IGO TFTs is because $In_2O_3$ has a bixbyite structure in which linear chains of edge sharing InO6 octahedral are isotropic. In this work, we investigated the characteristics and the effects of oxygen partial pressure significantly changed the IGO thin-films and IGO TFTs transfer characteristics. IGO thin-film were fabricated by rf-magnetron sputtering with different oxygen partial pressure ($O_2/(Ar+O_2)$, $Po_2$)ratios. IGO thin film Varies depending on the oxygen partial pressure of 0.1%, 1%, 3%, 5%, 10% have been some significant changes in the electrical characteristics. Also the IGO TFTs VTH value conspicuously shifted in the positive direction, from -8 to 11V as the $Po_2$ increased from 1% to 10%. At $Po_2$ was 5%, IGO TFTs showed a high drain current on/off ratio of ${\sim}10^8$, a field-effect mobility of $84cm^2/Vs$, a threshold voltage of 1.5V, and a subthreshold slpe(SS) of 0.2V/decade from log(IDS) vs VGS.

• 한국진공학회지
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• 제6권2호
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• pp.151-158
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• 1997

벤젠과 암모니아가 혼합된 합성 개스의 r.f. 글로우 방전을 이용하여 질소함유 다이 아몬드성 카본필름을 합성하였다. 합성개스내의 암모니아 개스 분율을 0에서 0.79까지 변화 시키고 바이아스 음전압은 100V에서 900V까지 변화시키면서 합성된 필름의 조성과 구조, 그리고 잔류응력 및 경도등 기계적 특성을 조사하였다. 합성개스내의 암모니아 분율이 0.79 까지 증가함에 따라 필름의 압축 잔류응력이 1.7GPa에서 1.0GPa로 감소하였으며, 필름의 경 도도 2750Kgf/$\textrm{mm}^2$에서 1700Kgf/$\textrm{mm}^2$로 감소하였다. 질소를 함유한 필름에서는 탄소와 삼 중결합을 하는 질소가 관찰되었으며, 이러한 질소는 수소와 함께 inter-link의 양을 감소시 키는 역할을 한다. 따라서, 암모니아의 첨가에 따라 발생하는 필름내의 수소함량 변화와 질 소의 결합형태를 조사하므로써, 필름의 기계적 특성이 $sp^2$ cluster의 3차원적 inter-link에 크 게 의존하고 있음을 보여줄 수 있었다. 한편, 바이아스 전압의 증가에 따른 기계적 특성의 변화는 질소를 함유하지 않은 경우와 정성적으로 같은 거동을 보이고 있었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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• pp.110-110
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• 2010

현재 박막 트랜지스터는 비정질 실리콘 기반의 개발이 주를 이루고 있으며, 이 비정질 실리콘은 성막공정이 간단하고 대면적에 용이하지만 전기적인 특성이 우수하지 않기 때문에 디스플레이의 적용에 어려움을 겪고 있다. 이에 따라 poly-Si을 이용한 박막 트랜지스터의 연구가 진행되고 있는데, 이는 공정온도가 높고, 대면적에의 응용이 어렵다. 따라서 앞으로 저온 공정이 가능하며 대면적 응용이 용이한 박막 트랜지스터의 연구가 필수적이다. 한편 최근 박막 트랜지스터의 채널층으로 사용되는 물질에는 oxide 기반의 ZnO, SnO2, In2O3 등이 주로 사용되고 있고, 보다 적합한 채널층을 찾기 위한 연구가 많이 진행되어 왔다. 최근 Hosono 연구팀에서 IGZO를 채널층으로 사용하여 high mobility, 우수한 on/off ratio의 특성을 가진 소자 제작에 성공함으로써 이를 시작으로 IGZO의 연구 또한 세계적으로 활발한 연구가 이루어지고 있다. 특히, ZnO는 wide band gap (3.37eV)을 가지고 있어 적외선 및 가시광선의 투과율이 좋고, 전기 전도성과 플라즈마에 대한 내구성이 우수하며, 낮은 온도에서도 성막이 가능하다는 특징을 가지고 있다. 그러나 intrinsic ZnO 박막은 bias stress 같은 외부 환경이 변했을 경우 전기적인 성질의 변화를 가져올 뿐만 아니라 고온에서의 공정이 불안정하다는 요인을 가지고 있다. ZnO의 전기적인 특성을 개선하기 위해 본 연구에서는 hafnium을 doping한 ZnO을 channel layer로 소자를 제작하고 전기적 특성을 평가하였다. 이를 위해 DC magnetron sputtering을 이용하여 ZnO 기반의 박막 트랜지스터를 제작하였다. Staggered bottom gate 구조로 ITO 물질을 전극으로 사용하였으며, 제작된 소자는 semiconductor analyzer를 이용하여 출력특성과 전이 특성을 평가하였으며, ZnO channel layer 증착시 hafnium이 도핑 되는 양을 조절하여 소자를 제작한 후 intrinsic ZnO의 소자 특성과 비교 분석하였다. 그 결과 hafnium을 doping 시킨 소자의 field effect mobility가 $6.42cm^2/Vs$에서 $3.59cm^2/Vs$로 낮아졌지만, subthreshold swing 측면에서는 1.464V/decade에서 0.581V/decade로 intrinsic ZnO 보다 좋은 특성을 나타냄을 알 수 있었다. 그리고 intrinsic ZnO의 경우 외부환경에 대한 안정성 문제가 대두되고 있는데, hafnium을 도핑한 ZnO의 경우 temperature, bias temperature stability, 경시변화 등의 다양한 조건에서의 안정성이 확보된다면 intrinsic ZnO 박막트랜지스터의 문제점을 해결할 수 있는 물질로 될 것이라고 기대된다.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제2권1호
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• pp.1-5
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• 2003

Plasma generator based on non-self-sustained low-pressure arc discharge has been examined as a tool for deposition of highly-adhesive hydrogenated amorphous diamond-like carbon(DLC) films. Since the discharge is stable in wide range of gas pressures and currents, this plasma source makes possible to realize both plasma-immersion ion implantation(PIII) and plasma-immersion ion deposition(PIID) in a unified vacuum cycle. The plasma parameters were measured as functions of discharge current. Discharge and substrate bias voltage parameters have been determined for the PIII and PIID modes. For PIID it has been demonstrated that hard and well-adherent DLC coating are produced at 200-500 eV energies per deposited carbon atom. The growth rates of DLC films in this case are about 200-300 nm/h. It was also shown that short(∼60$\mu\textrm{s}$) high-voltage(> 1kV) substrate bias pulses are the most favorable for achieving high hardness and good adhesion of DLC, as well as for reducing of residual intrinsic stress are.

• Journal of Acupuncture Research
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• 제27권1호
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• pp.21-29
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• 2010

Objectives : This study aims to evaluate current clinical evidence of acupuncture treatment for rehabilitation in patients with traffic accident in South Korea. Methods : Seven Korean databases were searched for prospective clinical trials for acupuncture on rehabilitation in patients with traffic accident from their inception to June, 2009. Only studies conducted in Korean language were searched. Risk of bias in included randomized controlled trials were assessed by Cochrane Handbook procedure. Results : Fifteen clinical trials were included among 31 studies searched. Eight were observational studies, five were non-randomizedcontrolled trials, and two were randomized controlled trials. In all of included studies, acupuncture were conducted with other concomitant treatment. Included studies dealt with such conditions as neck pain, low back pain tinnitus after traffic accident, post-traumatic stress, oculomotor nerve palsy, diplopia and insomnia. All of included studies reported favorable effects of acupuncture group compared to baseline or control group. All of included studies lacked the occurrence of adverse events. High risk of bias were observed in two randomized controlled trials. Conclusions : There is no evidence that acupuncture is effective for rehabilitation of traffic accident. All of included studies lacked appropriate methodological qualities and internal validity. Future welldesigned clinical trials that evaluate the effects and safety of acupuncture treatment for rehabilitation in patients with traffic accident is needed.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제24권6호
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• pp.458-462
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• 2011

Soution-processed ZrInZnO (ZIZO) thin-film transistors (TFTs) with varying Zr content were fabricated. The ZIZO TFT (Zr=20 at. %/Zn) has an optimal performance with the saturation field effect mobility of 0.77 $cm^2/Vs$, the threshold voltage (Vth) of 2.1 V, the on/off ratio of $4.95{\times}10^6$, and subthreshold swing (S.S) of 0.73 V/decade. Using this optimized ZIZO TFT, the positive and negative gate bias stress according to annealing temperature was also investigated. While the Vth shifts dramatically after 1,000 s of both gate bias stresses, variations in the S.S are negligible. It suggests that electrons or holes are tem porarily trapped in the gate insulator, the semiconductor, or the interface between both layers.

• 한국콘텐츠학회논문지
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• 제12권6호
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• pp.380-389
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• 2012

본 연구는 국내 작업치료사의 직무스트레스에 영향을 미치는 요인들에 대한 여러 선행 연구들의 결과에 대해 체계적 고찰 및 메타분석을 실시하여 스트레스 관련 요인들의 차이를 비교해 봄으로써 향후 작업치료사의 직무스트레스 예방 및 완화, 효과적인 대처 방법 마련에 대한 정보를 제공해 작업치료의 질 향상과 작업치료 인력관련 정책을 수립하는데 기초자료를 제시하고자 하였다. 선정기준에 적합한 총 8건의 논문이 선정되었고, 이중 메타분석을 위해 크기의 변환이 가능한 통계치를 밝히고 있는 연구 5건을 대상으로 상관계수를 이용한 메타분석을 실시해 전체 상관계수 값과 요인별 상관계수 값을 구하였으며 대상 논문들의 동질성 검정과 출판편견 검정을 실시하였다. 그 결과 작업치료사의 직무스트레스 요인에 대한 전체 효과크기에 대한 95%의 신뢰구간은 .27에서 .34로 이 값은 통계적으로 유의하였다. 직무스트레스 요인들 중 조직관련 요인이 가장 높은 상관관계를 보였고, 그 다음으로 조직외관련 요인, 물리적환경 요인, 직무관련 요인, 개인관련 요인 순으로 상관관계를 나타내었다. 또한 출판편견을 배제할 수 있어 본 연구 결과는 신뢰할 수 있음을 뒷받침 해주고 있다. 이 연구는 작업치료사의 직무스트레스 예방 및 완화, 효과적인 대처 방법 마련을 위해 참고할 수 있는 자료를 제공하였다는데 의의가 있다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제27권4호
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• pp.91-96
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• 2020

Pb(In1/2Nb1/2)O3-Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3계 압전 단결정의 유전특성과 압전특성을 전계 및 압축응력 인가 조건 하에서 33-모드 방식으로 측정하였다. 110~140℃ 영역에서 저온 rhombohedral 구조에서 고온 tetragonal 구조로의 상전이가 관찰되었으며, cubic 구조로 변화하는 큐리온도는 165℃ 정도로 나타났다. 압축응력 및 전계 변화에 따른 분극의 크기변화를 측정하였다. 전계인가 분극 곡선의 기울기로부터 비유전율을 계산하였고, 인가되는 응력의 크기가 증가할수록 계산된 비유전율의 크기는 증가하고, 인가되는 전계의 크기가 증가할수록 비유전율의 크기는 감소하는 경향성을 나타내었다. 압축응력 및 전계 변화에 따른 변위 거동을 측정하였으며, 곡선의 기울기로부터 압전상수를 계산하였고 압력인가에 따른 상전이를 확인하였다. 수중 또는 의료용 초음파 발진자로 실제 응용할 경우 선형성을 유지하여 구동이 가능하기 위하여 소자 기구물을 형성하는 단계에서 인가하게 되는 압축응력의 크기와 구동 전계의 DC 바이어스의 크기를 적절하게 설계할 필요가 있다.

• 전자공학회논문지
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• 제52권7호
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• pp.33-39
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• 2015

본 연구에서는 SU-8을 절연층으로 사용해 솔루션 공정을 바탕으로 하여 Indium Zinc Oxide(IZO) thin film transistor(TFT)의 안정성을 향상에 대해 연구하였다. 매우 점성이 강하며 negative lithography 용으로 사용되는 SU-8은 기계적, 화학적으로 높은 안정도를 가진다. 그리고 이 SU-8을 사용해 TFT층의 위에 스핀코팅을 사용해 절연막 층을 쌓고 photo lithography를 이용해 patterning을 하였다. SU-8층에 의한 positive bias stress(PBS)에 대한 전기적 특성 향상의 이유를 연구하기 위해 TFT에 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), Fourier transform infrared spectroscopy(FTIR) 분석을 시행하였다. SU-8을 절연층으로 한 TFT는 좋은 전기적 특성을 보였으며, 전류점멸비, 전자이동도, 문턱전압, subthreshold swing이 각각 $10^6$, $6.43cm^2/V{\cdot}s$, 7.1V, 0.88V/dec로 측정되었다. 그리고 3600초 동안 PBS를 가할 시 ${\Delta}V_{th}$는 3.6V로 측정되었다. 그러나 SU-8 층이 없는 경우 ${\Delta}V_{th}$는 7.7V 였다. XPS와 FTIR을 분석한 결과, SU-8 절연층이 TFT의 산소의 흡/탈착을 차단하는 특성에 의해 PBS에 강한 특성을 나타나게 함을 확인하였다.

• 한방안이비인후피부과학회지
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• 제34권4호
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• pp.49-70
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• 2021

Objectives : This study was conducted to approve the effectiveness and safety of herbal medicine on presbycusis with kidney deficiency. Methods : We searched randomized controlled trials(RCTs) on presbycusis patients diagnosed with kidney deficiency through 10 electronic databases from the start to Sep 7, 2021. Study collection and data extraction, and evaluation of risk of bias were conducted by two independent collaborator. The evaluation of the risk of bias in included RCTs was carried out by using Cochrane risk-of-bias tool. And the data synthesis was conducted by using Review Manager(RevMan, ver.5.4). Results : 1. The treatment group which used herbal medicine(HM) alone was more effective than the control group which used only western medicine(WM) on effective rate of hearing loss. 2. In 3 studies comparing the HM-WM combination treatment group with the control groups using the same WM treatment, the effective rate was statistically significantly higher in the HM-WM combination treatment group. 3. Of the 5 studies that reported adverse reactions, one study reported mild nausea and dizziness, but the difference between the HM treatment group and the WM control group was not statistically significant, and no side effects occurred in other 3 studies. 4. In studies comparing HM and WM, the HM treatment group improved hearing loss, whole blood viscosity, serum TNF-𝛼, IL-1𝛽, IL-6, and oxidative stress indicators better than the WM control group, and there was no significant difference. 5. In studies comparing the HM-WM treatment group with the WM control group, the severity of tinnitus, quality of life, and feelings of anxiety and depression were better in the treatment group than the control group. Conclusions : This study shows that the herbal medicine can improve symptoms of presbycusis with kidney deficiency.