불평형 마그네트론 스파터링에 의해 형성된 MgO 박막의 micro 방전에 미치는 bias 전압의 영향에 관한 연구 (Effect of Bias Voltage on the Micro Discharge Characteristic of MgO Thin Film Prepared by Unbalanced Magnetron Sputtering)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2000년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.2032-2034
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- 2000