• 제목/요약/키워드: 표면 측정

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접착제의 종류에 따른 침식치아에 대한 복합레진의 결합강도 (COMPARISON OF MICROTENSILE BOND STRENGTH OF COMPOSITE RESTORATION TO ERODED ENAMEL BY SURFACE TREATMENT)

  • 이순영;이경호;노홍석;정태성;김신
    • 대한소아치과학회지
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    • 제38권4호
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    • pp.348-354
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    • 2011
  • 침식 법랑질의 표층은 건전 법랑질과는 물리화학적 성상이 다르므로 침식 법랑질면에 대한 복합레진의 결합력을 증가시키기 위한 대안으로, 법랑질 내층으로의 침투력이 탁월한 infiltrant resin을 응용하는 방법을 생각하게 되었다. 본 연구는 다양한 정도로 인공 침식이 유발된 법랑질면을 대상으로, infiltrant resin과/또는 기존의 접착제를 적용한 경우의 복합레진 결합강도를 비교 분석할 목적으로 시도되었다. 건전한 순면을 가진 발거된 상악 유전치를 대상으로, 인공침식 유발 횟수 및 infiltrant resin과/또는 기존의 접착제를 적용한 방법에 따라 각 20개씩의 시료를 제작하였으며, 각 군의 미세인장 결합강도를 측정하고, 파절면의 파절 양상을 평가하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 법랑질 표면의 침식 유발 횟수가 늘어날수록 결합강도가 낮았다(p<0.05). 기존의 접착제 상부에 infiltrant resin을 추가 적용한 군, infiltrant resin만 적용한 군, 접착제만 적용한 군의 순으로 미세인장결합강도가 높게 나타났다(p<0.05). 파절 양상의 관찰에서는 인공 침식 유발 횟수가 적은 군 및 infiltrant resin을 적용한 군에서 응집파절의 비율이 높게 나타났다. 결론적으로, 법랑질의 침식도가 클수록 복합레진 수복물과의 결합 강도는 감소하였으며, infiltrant resin으로 기존의 적찹제를 대체하거나 첨가함으로써 결합강도를 보완시킬 수 있을 것으로 판단되었다.

임플란트 식립 시 골질이 주입회전력에 미치는 영향에 관한 삼차원 유한요소 분석 (Effect of Bone Quality on Insertion Torque during Implant Placement; Finite Eelement Analysis)

  • 정재덕;조인호
    • 구강회복응용과학지
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    • 제25권2호
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    • pp.109-123
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    • 2009
  • 임플란트 골유착의 성공과 임플란트 안정성에서 가장 중요한 것은 골의 양과 질이며 안정성을 평가하는 방법 중 하나인 주입회전력도 골질에 영향을 받는다. 임플란트를 식립할 때 모터에서 생긴 힘이 임플란트에 전달되면 임플란트는 회전력(moment)과 축력(axial force)을 갖게 되고 임플란트와 접촉한 골에서는 절삭과 압박 그리고 마찰이 일어나 응력이 생기는데 이 때 측정되는 주입회전력(insertion torque)은 골질에 따라 다양하게 나타난다. 본 연구에서는 임플란트를 하악 소구치 부위 골에 식립하는 것을 가정하여 골질을 치밀골의 두께와 망상골의 밀도 그리고 하방 치밀골 존재 시로 나누고, 골의 응력과 변위를 소탄성 범위의 유한요소법으로 분석하고 유효응력(von Mises stress)과 회전력 그리고 축력을 비교 연구하여 골질이 주입 회전력에 미치는 영향을 평가하였다. 임플란트($Br{\aa}nemark$ MKIII.RP, ${\phi}3.75{\times}10.0mm$, Nobel Biocare, $G{\ddot{o}}teborg$, Sweden) 와 원통형 골모형(${\phi}9.5{\times}12.0mm$)의 유한요소 모형을 설계하고 변수로 상부 치밀골의 두께(0.5 mm, 1.5 mm, 2.5 mm)와 치밀골 하부에 망상골의 밀도($0.85g/cm^3$, $1.11g/cm^3$, $1.25g/cm^3$) 그리고 골모형 하부에 1 mm 두께의 치밀골 유무에 따라 총 7개의 모형을 만들었으며, 임플란트가 식립될 때 발생하는 유효응력과 축력 그리고 회전력을 시간대 별로 비교하였다. 임플란트 플랜지 하연이 골의 상부를 파고드는 300 msec, 중간 정도 들어간 550 msec, 완전히 들어가 플랜지 상면이 골 표면과 일치한 800 msec로 나누어 관찰하였을 때 축력은 500 msec 전후에서, 회전력은 800 msec 전후에서 최대값를 보였으며 유효응력 분포는 서로 비슷하였다. 이 같은 실험 결과를 바탕으로 축력을 영역 별로 비교하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. $Br{\aa}nemark$ MKIII 임플란트는 플랜지가 골을 파고들 때 축력이 치밀 골에서 가장 높았고, 회전력은 플랜지가 골상부에 걸리어 축력이 급격히 감소한 이후에 최대 회전력을 보였으며, 이 때 유효응력 분포는 플랜지와 접촉하는 골 상부에 집중되었다. 2. 임플란트 식립 시 치밀골의 두께가 두꺼울수록 축력과 회전력이 높게 나타났으며 치밀골의 두께가 축력과 회전력에 가장 큰 영향을 주었다. 3. 치밀골의 두께가 1.5 mm 이상인 경우 망상 골의 밀도가 축력에 미치는 영향은 작았고, 치밀골의 두께가 0.5 mm인 경우 망상골의 밀도가 축력과 회전력에 영향이 있을 것으로 사료되었다. 4. 양측 피질골 존재 시 축력의 합은 상부 피질골의 두께가 같은 다른 경우와 비슷하였으나 부위별 촉력은 골하부에서 양측 피질골 모형이 가장 높았고, 회전력은 하방 피질골과 접촉할 때는 피질골 두께가 같은 다른 모형보다 다소 높으나 최대 회전력은 비슷하였다. 위 결과를 토대로 하악 소구치 부위에 $Br{\aa}nemark$ MKIII 임플란트 식립 시 골질과 관련된 요소 중에 치밀골의 두께가 주입회전력에 가장 큰 영향을 주며 망상골의 밀도를 높이는 술식도 일차적 안정성 증가에 유용할 것으로 사료되는 바이다.

국내산과 수입산 시판 곶감의 품질특성 (Quality characteristics of domestic dried persimmon and imported dried persimmon)

  • 허상선;강복희;이동선;이상한;이진만
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제21권1호
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    • pp.140-145
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    • 2014
  • 국내산 곶감과 수입산 시판 곶감에 대한 이화학적 품질특성 조사를 실시하였다. 수분함량은 22.78~61.64%이었으며, 중국산 곶감 2종의 수분함량은 각각 22.78, 28.20%로 국내산 보다 낮은 함량을 보였다. 지역별 곶감의 pH는 5.09~5.99이었으며, 함안곶감이 5.99로 가장 높게 나타났다. 곶감의 당도는 종류별로 $25.07{\sim}42.93^{\circ}Brix$이었으며, 지역별 곶감의 무게는 29.77~77.95 g, 영동곶감이 29.77 g으로 무게가 가장 작았으며 산청 곶감은 77.95 g으로 가장 높게 나타났다. 시판 곶감제품 9종에 대한 색도 측정 결과, L값은 표면 부분이 곶감 종류별로 18.27∼66.20이었으며, a값은 -1.26~10.70, 산청 덕산곶감은 10.70으로 가장 높게 나타났다. b값은 2.81~25.25로 나타났으며, 청도 반건시와 산청곶감이 각각 25.25와 21.98의 값으로 다소 높게 나타났다. 관능검사 결과 지역별 곶감의 외관은 청도 반건시가 3.77로 가장 높은 점수를 나타내었으며 완주 흑곶감이 1.39로 가장 낮게 나타났다. 전체적인 기호도는 중국산 No.2 곶감이 가장 높게 나타났으며, 다음으로 영동곶감, 하동곶감, 상주곶감이 각각 높게 나타났다. 이산화황 함량 분석 결과 국내산 지역별 곶감 7종과 중국산 곶감 2종 모두 10 mg/kg미만으로 불검출인 것으로 나타났다.

오존파괴물질 대체 비수계세정제 개발 및 현장 적용 연구 (A Study on Development of Alternative Non-aqueous Cleaning Agents to Ozone Depletion Substances and its Field Application)

  • 박용배;배재흠;이민재;이종기;이호열;배수정;이동기
    • 청정기술
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    • 제17권4호
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    • pp.306-313
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    • 2011
  • 인쇄회로기판(PCB)과 같은 전자부품을 제조시에 솔더링을 하기 위하여 플럭스나 솔더페이스트를 사용하며 솔더링 후에 부품에 잔류한 플럭스나 솔더페이스트를 제거하여야하는데 이것은 이들 물질이 잔류하였을 경우 부식이나 누전을 초래하여 부품의 성능을 떨어뜨리거나 고장을 일으킬 수 있다. 솔더링 후에 플럭스와 솔더플럭스 잔류물을 제거하기 위하여 오존파괴물질 세정제인 1,1,1-trichloroethane이나 HCFC-141b가 아직까지 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 이들 오존파괴성질을 가진 세정제를 대체하기 위하여 인화점이 존재하지 않는 비수계세정제를 개발하였고 산업현장 적용도 시도해 보았다. 인화점이 존재하지 않는 세정제를 개발하기 위해 탄화수소계 용제를 주 용제로 하고 글리콜에테르계, 에스테르계 및 불소계 용제를 첨가하여 비수계세정제를 배합하였고 이들의 물성 및 세정성을 평가하였다. 그리고 이들 배합세정제 중에 세정력이 뛰어난 세정제를 현장에 적용하여 보았다. 또한 배합된 비수계세정제의 사용후에 재활용 가능성을 평가하기 위하여 감압증류장치를 가동하여 사용 후의 세정제를 재활용시에 요구되는 운전 조건과 재활용율을 구하여 보았다. 배합세정제의 물성 측정 결과 모두 표면장력이 18.0~20.4 dyne/cm으로 비교적 낮았고 습윤지수도 비교적 높아 오염물에 대한 습윤력과 침투력이 우수할 것으로 기대되었고 불소계용제를 첨가하여 배합한 세정제는 인화성이 없음이 확인되어 사용하고 보관하기에 안전하리라 사료된다. 플럭스 및 솔더페이스트 세정 연구 실험 결과 대체목표세정제인 1,1,1-TCE와 HCFC-141b보다 세정력이 우수함을 확인할 수 있었다. 그리고 배합세정제 중에 우수한 세정제를 선정하여 HCFC-141b를 사용하는 산업현장의 PCB 세정에 적용한 결과 HCFC-141b보다 우수한 세정을 나타내어 산업현장에 적용 가능성을 보여 주었다. 또한 이들 제품을 감압증류장치를 이용하여 재활용 가능성을 평가 결과 운전조건 $100{\sim}110^{\circ}C$, 20~30 mbar에서 91.9~97.5%를 재활용할 수 있음을 보여주었다.

돼지지방, 올리브유 및 대두유를 첨가한 분쇄돈육의 품질 및 기호성 (Quality and Sensory Score of Ground Pork Meats on the Addition of Pork Fat, Olive Oil and Soybean Oil)

  • 윤동화;박경숙;이경수;박현숙;문윤희;양종범;정인철
    • 생명과학회지
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    • 제17권7호통권87호
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    • pp.964-969
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    • 2007
  • 본 연구는 돼지지방, 올리브유 및 대두유를 첨가한 분쇄돈육의 품질 및 기호성을 검토하기 위하여 돼지지방을 첨가한 분쇄돈육(GP-P), 올리브유를 첨가한 분쇄돈육(GP-O) 및 대두유를 첨가한 분쇄돈육(GP-S) 등 세 종류의 분쇄육을 제조하고 일반성분, 표면색깔, 지방산 조성, 보수력, pH, VBN 함량, TBARS값 및 순위법에 의한 기호성을 측정하였다. 수분, 조단백질, 조지방 및 조회분 함량은 GP-P, GP-O 및 GP-S 사이에 통계적 유의성이 없었다. $L^{*}$(명도), $a^{*}$(적색도) 및 $b^{*}$(황색도)값은 GP-P가 GP-O 및 GP-S보다 유의하게 높았다(p<0.05). 가장 많이 함유된 포화지방산은 palmitic acid로서 GP-P(24.384%)가 GP-O(15.611%) 및 GP-S(14.423%)보다 유의하게 높았다(p<0.05). 불포화지방산의 경우 GP-P(43.773%)및 GP-O(65.040%)는 oleic acid가 가장 많았으며, GP-S는 linoleic acid(40.762%)가 가장 많이 함유되어 있었다. 보수력은 GP-P가 GP-O 및 GP-S보다 높았으며, pH는 GP-S가 GP-P및 GP-O보다 높았고, VBN 함량 및 TBARS값은 GP-P가 GP-O및 GP-S보다 유의하게 높았다(p<0.05).가열하지 않은 분쇄돈육의 색깔은 GP-O 및 GP-S가 GP-P보다 우수하였으나(p<0.05), 향기는 시료들 사이에 통계적 유의성이 없었다. 가열 분쇄육의 경우, 향기는 시료들 사이에 유의한 차이가 없었으며, 맛, 조직감 및 전체적인 기호성은 GP-S가 가장 우수하였고(p<0.05), 다즙성은 GP-O 및 GP-S가 GP-P보다 우수하였다(p<0.05).

CT 시뮬레이터의 기하학적 성능평가용 팬톰 (A CT Simulator Phantom for Geometrica1 Test)

  • 민철기;이병용;안승도;최은경;장혜숙
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제18권4호
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    • pp.337-344
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    • 2000
  • 목적 : 가상 시뮬레이션 기능을 갖는 CT 시뮬레이터의 기하학적인 성능평가를 위한 팬톰을 고안하여 제작하고, 그 팬톰의 성능을 보고하고자 한다. 대상 및 방법: .팬톰은 PMMA 재질로 직경 20 cm, 길이 24 cm인 원통과 25$\times25\times$31 cm$^{3}$인 직육면체가 합쳐진 모양으로 고안하였다. 원통의 겉표면에는 영상결손이 극소화되면서 CT 상에서 잘 구별이 되는 직경이 0.8 mm인 선을 4개의 나선모양으로 부착하였다. 직육면체는 4개의 24$\times24\times$0.5 cm3인 정사각형의 판으로 구성되어 있으며, 각판 위에는 24$\times$24 cm$^{2}$, 12$\times$12 cm$^{2}$, 6$\times$6 cm$^{2}$의 사각형 모양을 갖도록 선을 붙였다. 각각의 정사각형은 원통방향에 대해 0$^{\circ}$ , 15$^{\circ}$ , 30$^{\circ}$가 되도록 배치하였다. 직육면체의 부분에서는 조사면 및 치료 테이블의 각도, 콜리메이터 각도, 동중심점의 이동, SSD를 측정을 할 수 있으며, 원통형 부분에서는 갠트리 각도의 정확성을 평가하도록 고안하였다. 가상 시뮬레이션 소프트웨어를 통해 다양한 조건의 가상적인 시뮬레이션을 수행하였으며 가상 시뮬레이션의 결과를 이용하여 CT 시뮬레이터의 기하학적인 QC/QA를 수행하였다 결과 : 팬톰의 한 부분인 직육면체 스캔을 통해 얻은 DRR에서 구현된 각 24 cm 조사면의 크기에서 1 mm 이내의차이, 동중심점 이동에서는 0.5$\~$1 mm 차이가 있었음을 알 수 있었다. 콜리메이터 회전과 치료대 회전에서는 각각 0.5$\~$l$^{\circ}$ 의 차이가 있었고, 갠트리 회전에 있어서는 0.5$\~$1$^{\circ}$ 오차가 있었다. 슬라이스 간격이 10 mm 조건이 2$\~$5 mm 조건보다 영상구분의 어려운 점은 있었으나 결과는 유의할만한 차이가 없었다. 결론 : 자체 제작한 팬톰을 가지고 가상적인 모의 시뮬레이션을 했을 때 최대 2 mm와 1$^{\circ}$ 이내의 오차가 있었고 또한 스캔의 조건에 따라 오차가 변할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 시뮬레이터에서 DRR을 구현했을 때 각각의 치료 조건들에 대해 오차가 임상적용 범위 안에 있어서 이 팬톰을 이용하여 주기적인 QC/QA에 사용할 수 있음을 보였다.

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낙엽송재의 화학적 조성 및 연료적 특성에 대한 반탄화 조건의 영향 (Effect of Torrefaction Condition on The Chemical Composition and Fuel Characteristics of Larch wood)

  • 김상태;이재정;박대학;양인;한규성;안병준
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제43권1호
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    • pp.122-134
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    • 2015
  • 본 연구는 낙엽송을 이용한 반탄화 펠릿의 제조 가능성을 확인하기 위하여 수행하였다. 낙엽송 칩을 230, 250, $270^{\circ}C$ 및 30, 50, 70분의 조건에서 반탄화 처리를 각각 실시하였으며, 반탄화 낙엽송 칩의 함수율, 수분흡착률, 발열량, 회분을 측정하여 각 조건에 대한 반탄화 조건의 영향을 분석하였다. 또한 반탄화 낙엽송 칩의 표면을 광학현미경, FE-SEM, SEM-EDXS를 이용하여 관찰하였다. 낙엽송 시편의 리그닌 함량은 반탄화 온도 및 시간 증가와 함께 증가한 반면, 전섬유소 함량은 감소하였다. 함수율은 반탄화 처리하지 않은 칩과 비교하여 급격히 감소하였으며, 수분흡착률은 반탄화 온도가 높을수록 감소하였다. 낙엽송의 발열량 및 회분함량은 반탄화 온도가 높아짐에 따라 증가하였으나, 반탄화 낙엽송 펠릿의 내구성은 무반탄화 낙엽송 펠릿과 비교하여 현저히 낮았다. 낙엽송 칩의 단면을 광학현미경 및 FE-SEM으로 관찰한 결과 반탄화 조건이 강해질수록 재색의 농색화 및 세포벽의 부분적 붕괴를 확인할 수 있었으며, SEM-EDXS 분석을 통하여 반탄화에 따른 리그닌의 분포 확산 및 양의 증가가 확인되었다. 결과를 종합하면, 연료적 특성의 측면에서 $270^{\circ}C$/50분이 낙엽송의 최적 반탄화 조건인 것으로 판단되나, 낙엽송 반탄화 펠릿의 내구성 결과에 따르면 $230^{\circ}C$/30분과 같이 반탄화 처리조건이 강하지 않은 경우에 대하여 고려할 필요성이 있을 것으로 생각한다.

토마토가 함유된 저지방 유화형 소시지의 냉장 저장 중 품질 특성 (Quality Characteristics of Low-fat Emulsified Sausage Containing Tomatoes during Cold Storage)

  • 허순구;박기훈;양미라;정기종;김동훈;최진상;진상근;김일석
    • 한국축산식품학회지
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    • 제26권3호
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    • pp.297-305
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    • 2006
  • 본 연구는 저지방 유화형 소시지에 토마토를 첨가하지 않은 대조구(C)와 토마토를 첨가한 처리구 즉, 5%의 갈은 생토마토가 함유된 T1과 0.5%의 동결 건조 분말 토마토가 함유된 T2로 구분하여 제조한 후 $5{\pm}1^{\circ}C$에서 30일간 저장 중 품질 특성의 변화를 알아보고자 실시하였다. 일반 성분 분석 결과 조단백질은 T2가 낮았으나(p<0.05), 수분, 조지방 및 조회분에는 저장기간 동안 뚜렷한 경향을 보이지 않았다. pH와 전단력은 대조구가 처리구보다 유의적으로 높았다. 가열 감량은 $13.00{\sim}14.98%$ 범위로 처리구 간 유의적인 차이가 없었다. 보수력은 처리구가 대조구보다 유의적으로 높았다. TBARS와 VBN은 모든 처리구에서 저장 기간이 경과함에 따라 유의적으로 증가하였다. 저장 15일까지는 대조구의 TBARS가 유의적으로 높았으나(p<0.05), 저장 30일 이후에는 T1이 다른 처리구와 비교 시 유의적으로 높았다(p<0.05). 육색($L^*a^*b^*$)은 저장 기간이 경과함에 따라 유의적으로 감소하였다. 총 균수는 저장 30일까지 모든 처리구에서 $4.4log_{10}CFU/g$ 이하를 유지하여 식품으로서의 안전성이 확보되었다. 조직감 측정 결과, 저장 초기에 표면 부서짐성, 경도, 탄력성은 처리구 간에 유의적인 차이가 없었으나(p>0.05), 응집성, 검성, 씹힙성은 대조구가 처리구보다 유의적으로 낮았다(p<0.05). 관능검사 결과, 육색, 냄새, 연도 및 전체적인 기호도는 처리구가 다소 높은 점수를 얻었으나, 모든 관능검사 항목에서 대조구나 처리구 간 유의적인 차이는 없었다(p>0.05). 결론적으로 토마토 첨가에 의한 지방 산패의 억제 효과와 토마토의 다양한 생리활성 기능을 고려해 볼 때 상품화 가능성은 있을 것으로 판단되었다.

관리 용품에 따른 RGP 렌즈의 세척효과 및 습윤성 차이 (The Difference of the Cleaning and Wettability-maintaining Efficacy of Lens Care Solution to RGP Lens)

  • 김명혜;박미정
    • 한국안광학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.27-34
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    • 2006
  • 본 논문에서는 RGP 렌즈에 부착된 누액 성분의 세척효과 및 RGP 렌즈의 습윤성 유지에 대한 RGP 렌즈 관리용액, 소프트콘택트렌즈(SCL) 관리용액, RGP 렌즈-SCL 겸용관리용액 및 생리식염수의 작용의 차이를 알아 보았다. 단백질 세척력을 알아보기 위해 Lowry protein assay와 주사현미경 관찰을 하였으며, 지질 세척력을 알아보기 위해 High Pressure Liquid Chromatology(HPLC)를 사용하였고, 습윤성은 water-in-air 방법으로 접촉각을 측정하여 알아 보았다. RGP 렌즈관리용액으로 RGP 렌즈를 세척 및 보관하였을 때 부착된 단백질의 62%가 제거되었으며, 이러한 단백질 부착물 세척력은 생리식염수나 겸용 관리용액에 비해 약 4배 우수한 것일 뿐만 아니라 SCL 관리용액에 비해 2배 우수한 것이었다. 이러한 결과는 소프트 콘택트렌즈에서의 SCL 관리용액의 단백질 세척력이 가장 우수하다는 것과 상이한 결과로, 세척 효과가 단순히 계면활성제의 활성만의 차이에 의해 나타나는 것은 아니며 RGP 렌즈 관리용액에 들어있는 점성증가제와 같은 성분들이 RGP 렌즈와 용액의 접촉을 증가시켜 세척효과가 강화되는 것과 같이 다른 요인들이 작용하여 나타나는 결과로 여겨진다. RGP 렌즈에 부착되어 있는 지질 또한 RGP 렌즈 관리용액이 가장 우수한 지질세척 효과를 가져 렌즈에 잔존하는 cholesterol의 양이 50%로 감소하였다. RGP 렌즈의 편안한 착용감을 위한 중요한 평가 지료인 렌즈 표면의 습윤성은 RGP 렌즈 관리용액에 의해 가장잘 유지되었다. 겸용 관리용액의 경우 세척력 및 습윤성 유지력이 모두 RGP 렌즈 용액에 못 미쳤다.

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급속열처리산화법으로 형성시킨 $SiO_2$/나노결정 Si의 전기적 특성 연구 (Electrical properties of metal-oxide-semiconductor structures containing Si nanocrystals fabricated by rapid thermal oxidation process)

  • 김용;박경화;정태훈;박홍준;이재열;최원철;김은규
    • 한국진공학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.44-50
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    • 2001
  • 전자빔증착법과 이온빔의 도움을 받는 전자빔 증착법(ion beam assisted electron beam deposition; IBAED)법으로 비정질 Si(-200nm) 박막을 p-Si 기판위에 성장하고 이 두 구조를 급속열처리산화(Rapid Thermal Oxidation; RTO)를 시킴으로서 $SiO_2$/나노결정 Si(nanocrystal Si)/p-Si구조를 형성하였다. 그 후 시료 위에 Au 막을 증착함으로서 최종적으로 나노결정이 함유된 MOS(metal-oxide-semiconductor)구조를 완성하였다. 이 MOS구조내의 나노결정 Si의 전하충전 특성을 바이어스 sweep 비율을 변화시키면서 Capacitance-Voltage(C-V) 특성을 측정하여 조사하였다. 전자빔증착시료의 경우에는 $\DeltaV_{FB}$(flatband voltage shift)가 1V 미만의 작은 C-V 이력곡선이 관측된 반면 IBAED 시료의 경우는 $\DeltaV_{FB}$가 22V(2V/s Voltage Sweep비율) 이상인 대단히 큰 C-V 이력곡선이 관측되었다. 전자빔증착중 Ar ion beam을 조사하면 표면 흡착원자이동이 활성화되고 따라서 비정질 Si내에 Si의 핵 생성율이 증가하여 후속 급속열처리산화공정중 이 높은 농도의 핵들이 나노결정 Si으로 자라나게 되고 이렇게 형성된 높은 농도의 나노결정의 전하 충전 및 방전현상이 큰 이력곡선을 나타내는 원인이라고 생각된다. 따라서 IBAED 방법이 고농도의 나노결정 Si을 형성시키는데 유용한 방법이라고 판단된다.

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