• 제목/요약/키워드: 초정밀

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인쇄전자 기술 및 장비개발 현황 (Methods and Development Status of Equipment for Printed Electronics)

  • 신동윤
    • 대한기계학회논문집 C: 기술과 교육
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    • 제5권1호
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    • pp.7-21
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    • 2017
  • 액상의 전자재료를 인쇄라는 저비용 패턴방식을 이용하여 전자 혹은 디스플레이 부품 및 제품을 대량 생산하는 것을 인쇄전자라고 하며, 2007 년을 전후하여 국내에서도 본격적으로 저비용 전자 및 디스플레이 부품 및 제품을 제조하기 위한 소재, 공정 및 장비에 대한 연구가 시작되었다. 본 연구에서는 수~수십 마이크로미터급의 해상도를 가지는 전자 혹은 디스플레이 부품 및 제품을 생산할 수 있는 초정밀 인쇄전자 장비들에 대해 소개하도록 한다.

대형 초정밀 스테이지용 복합 아이솔레이터 개발 (Development of the Hybrid Vibration Isolator for Large Superprecision Stage)

  • 김원겸;정순철;장승환;이재응;신동수;이재정
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2006년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.1404-1408
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    • 2006
  • In this paper, a hybrid-type vibration isolator which has air chamber(spring) and viscous damper in series is developed. The developed vibration isolator is designed to perform 3 following functions : spring function for normal operating conditions, damping function to reduce an impact for sudden move of upper beam, and finally leveling function. Based on the given natural frequency and damping factor, the design procedure is proposed. The performance of the developed isolator is tested by measuring stiffness and damping.

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실험적 방법에 의한 발파작업으로 기인하는 인접 초정밀 생산장비 FAB에 미치는 진동 영향성 평가 및 제어대책 (A evaluation and countermeasure for blast-induced vibration of micro electronic production facility based on experimental method)

  • 손성완;박상곤;이홍기;전종균
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2006년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.875-878
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    • 2006
  • In the case of a vibration sensitive equipment, it require a vibration free environment to provide its proper function, therefore, it is very important to predict precisely vibration environment of microelectronics production facility due to adjacent blast work. However, it is not easy to evaluate a quantitative vibration response of structure due blast because it can be determined by the characteristics of vibration sources, propagation through rock and soil and dynamic properties of building. In this paper, vibration influence evaluation of micro-electronic Production building induced from adjacent blast activity was performed by real measurement data obtained on ground and structure at same time. And blast vibration allowable limit on ground was supposed by measurement data analysis in order to avoid operation error of precision equipments

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6-Tap FIR 필터를 이용한 부화소 단위 움직임 추정을 통한 초해상도 기법 (Super-Resolution Algorithm by Motion Estimation with Sub-pixel Accuracy using 6-Tap FIR Filter)

  • 권순찬;유지상
    • 한국방송∙미디어공학회:학술대회논문집
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    • 한국방송공학회 2011년도 추계학술대회
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    • pp.106-109
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    • 2011
  • 본 논문에서는 연속된 프레임을 갖는 영상의 프레임간 움직임 추정 기법을 응용하여 고해상도 영상을 획득하는 초고 해상도 기법을 제안한다. 기존의 단일 영상을 이용한 초고해상도 기법의 경우 영상에서의 고주파 대역을 찾기 위해 확률 기반의 다양한 방법이 제시되었으나 연산에 사용할 수 있는 정보가 제한적이라는 문제가 존재한다. 이러한 문제를 해결하기 위해 연속된 프레임을 이용한 다양한 초고해상도 기법이 제안되었다. 본 논문에서는 주어진 영상의 전, 후의 다수 프레임을 정하여 6-tap FIR(finite impulse response) 필터를 이용하여 프레임들의 부화소(sub-pixel)를 구한 뒤에, 부화소 정밀도의 움직임 추정을 통하여 보다 정확한 고주파성분을 복원하고자 한다. 실험을 통하여 제안하는 기법이 기존의 고등차수(bi-cubic)보간법 보다 선명한 영상을 획득할 수 있었다.

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초정밀 광범위 비오차 전압변성기의 개발 및 그 응용 (Development of The Accurate Potential Transformer with Wide Ratio Error and Its Application)

  • 권성원;정재갑;이상화;김명수
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제55권6호
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    • pp.317-322
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    • 2006
  • A accurate potential transformer(PT) with the nominal ratio errors in the wide range of - 9 % to + 11 % has been developed. The developed wide ratio error PT can be used to evaluate the linearity of the PT comparator by comparing both the theoretical values as standard values and experimental values of the PT. The new method has been successfully applied for calibration and correction in the PT comparator including very low ratio error values from ${\pm}0.005%$ to ${\pm}0.3%$ belonging to industry.

서보 메카니즘을 이용한 초정밀 인장시스템 개발 (Development of Tensile System using Servo Mechanism)

  • 배종일;한성연;이만형;정동호;박종웅;안병규
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 B
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    • pp.544-545
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    • 1998
  • In industry and engineering, the tensile measurement of single crystal metal material such as the uniform change, surface structure and the tensile torque of the material is not easy to obtain by current the tensile measurement methods. In this paper, we have implemented a tensile system which can acquire tensile information in real time.

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누적합 관리도의 이론적 전개에 관한 조사연구 (Research Results and trends on CUSUM Control Chart)

  • 김종걸;엄상준;최성원
    • 대한안전경영과학회:학술대회논문집
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    • 대한안전경영과학회 2009년도 추계학술대회
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    • pp.539-547
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    • 2009
  • 현대의 산업은 점차 분야가 다양해지고 기술이 첨단화되며, 고객의 요구사항이 복잡해지고 있다. 이에 따라 제조업에서는 초정밀, 고신뢰도가 요구되어지고 있는 실정이다. 제조업 분야의 핵심 기술인 SPC기법 중에서 누적합(CUSUM) 관리도는 공정의 작은 변화에 대해서 민감하다는 특징 때문에 첨단 산업인 반도체나 화학공정 등에서 활용도가 높은 관리도 기법이다. 하지만 복잡한 이론 체계로 인하여 사용편리성이 떨어진다는 단점이 있다. 본 논문에서는 누적합 관리도의 이론적 전개에 관한 체계적인 조사연구를 통해 누적합 관리도의 복잡한 이론 체계를 이해하는데 도움이 되고자 한다.

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누적합 관리도의 이론적 전개와 동향 분석 (Research Results and trends analysis on CUSUM Control Chart)

  • 김종걸;엄상준;최성원
    • 대한안전경영과학회:학술대회논문집
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    • 대한안전경영과학회 2010년도 춘계학술대회
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    • pp.537-548
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    • 2010
  • 현대의 산업은 점차 분야가 다양해지고 기술이 첨단화되며, 고객의 요구사항이 복잡해지고 있다. 이에 따라 현대의 첨단산업에서 제조파트는 제조기술의 초정밀, 극소불량, 고신뢰도가 요구되어지고 있는 실정이다. 이런 제조파트의 핵심 기술인 SPC기법 중에서 누적합(CUSUM) 관리도는 공정의 작은 변화에 대해서 민감하다는 장점 때문에 첨단 산업인 반도체나 화학공정 등에서 활용도가 높은 관리도 기법이다. 하지만 복잡한 이론 체계로 인하여 사용편리성이 떨어진다는 단점이 있어서 널리 사용되지는 못 하고 있는 실정이다. 본 논문에서는 누적합 관리도의 이론적 전개에 관한 체계적인 동향 분석을 통해 누적합 관리도의 복잡한 이론 체계를 이해하는데 도움을 주고 더 나아가 앞으로의 제조 기술의 방향성을 제시하고자한다.

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PZT를 이용한 초정밀 회전형 스테이지 개발

  • 윤덕원;탁태열;김진호;한창수;강은구;홍원표;최헌종
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회
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    • pp.150-155
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    • 2006
  • PZT는 높은 분해능을 구현할 수 있는 구동기이지만 그 구동 범위가 협소하다는 단점이 있다. 최근에는 이러한 단점을 극복하기 위한 여러가지 메커니즘들이 제안되고 있다. 본 논문에서는 PZT를 이용하여 넓은 범위의 높은 분해능을 갖는 회전형 스테이지를 개발하였다. 개발되어진 회전형 스테이지는 빔 형태의 예압구조를 이용하였으며 일정한 마찰력을 구현하기 위하여 알루미나와 오닉스를 사용하였다. 대 변위와 미소변위를 동시에 구동하기 위하여 Dual mode control을 적용하였다. 또한 레이지 간섭계를 이용하여 구동기의 최대속도와 분해능을 측정하였으며 Sinsweep를 이용하여 구동기의 주파수 응답을 구하였다.

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전해인프로세스드레싱법에 의한 초정밀 원통 연삭기술 연구 (A Study on the Cylindrical Grinding Technology by Electrolytic In-Process Dressing(ELID) Method)

  • 제태진;이응숙
    • 연구논문집
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    • 통권28호
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    • pp.59-71
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    • 1998
  • The ELID(electrolytic in-process dressing) grinding method is a new precision grinding technique with the special electrolytic in-process dressing by metal bonded grinding wheel, fluid, and power supply. It is possible to make a efficient precision machining of hard and brittle materials such as ceramics, hard metals, and quenched steels by using this method, In this study, a new efficient precision grinding method with ELID was attempted for application to the machining and finishing processes of cylindrical structural components. And, we try to develop the cylindrical grinding technique for mirror surface of ceramics, tungsten carbide and SCM steel, and for the high efficiency grinding of machined parts, for example, ball screw shaft. Electrical characteristics of three different wheel grit sizes of #325, #2000 and #4000 were investigated experimentally. ELID grinding method is proved to be useful for mirror surface generation and efficient machining.

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