Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)
- 2006.05a
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- Pages.150-155
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- 2006
PZT를 이용한 초정밀 회전형 스테이지 개발
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Yun Deok-Won
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- Tak Tae-Yeol ;
- Kim Jin-Ho ;
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Han Chang-Su
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Gang Eun-Gu
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Hong Won-Pyo
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Choe Heon-Jong
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윤덕원
(한양대학교대학원 기계공학과)
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- 탁태열 (한양대학교대학원 기계공학과) ;
- 김진호 (한양대학교대학원 기계공학과) ;
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한창수
(한양대학교 기계공학과)
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강은구
(한국생산기술연구원)
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홍원표
(한국생산기술연구원)
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최헌종
(한국생산기술연구원)
- Published : 2006.05.01
Abstract
PZT는 높은 분해능을 구현할 수 있는 구동기이지만 그 구동 범위가 협소하다는 단점이 있다. 최근에는 이러한 단점을 극복하기 위한 여러가지 메커니즘들이 제안되고 있다. 본 논문에서는 PZT를 이용하여 넓은 범위의 높은 분해능을 갖는 회전형 스테이지를 개발하였다. 개발되어진 회전형 스테이지는 빔 형태의 예압구조를 이용하였으며 일정한 마찰력을 구현하기 위하여 알루미나와 오닉스를 사용하였다. 대 변위와 미소변위를 동시에 구동하기 위하여 Dual mode control을 적용하였다. 또한 레이지 간섭계를 이용하여 구동기의 최대속도와 분해능을 측정하였으며 Sinsweep를 이용하여 구동기의 주파수 응답을 구하였다.
Keywords