• 제목/요약/키워드: 임 프린팅

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나노 임프린팅 장비 기술

  • 이재종;최기봉;김기홍
    • 기계저널
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    • 제44권12호
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    • pp.39-44
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    • 2004
  • 이 글에서는 국내외 나노 임프린팅 장비의 기술개발 동향과 개발되고 있는 대표적인 나노 임프린팅 장비를 소개하고, 향후 선폭 10nm 수준의 다중 임프린팅 장비를 개발하여 나노제품의 스마트, 저비용, 고생산성의 목표로 개발되고 있는 나노 임프린팅 장비의 기술을 소개하고자 한다.

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선택적 초음파 임프린팅을 사용한 복합 미세패턴의 복제기술 (Replication of Hybrid Micropatterns Using Selective Ultrasonic Imprinting)

  • 이현중;정우신;박근
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제39권1호
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    • pp.71-77
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    • 2015
  • 초음파 임프린팅은 초음파 진동에너지를 이용하여 열가소성 고분자 표면에 미세패턴을 복제할 수 있는 공정으로 짧은 성형시간에 적은 에너지로 미세패턴 복제가 가능한 장점이 있다. 최근에는 마스크 필름을 사용한 선택적 임프린팅 기술과 다중 패턴성형이 가능한 반복적 임프린팅 기술이 개발되었다. 본 연구에서는 선택적 초음파 임프린팅에 반복적 임프린팅을 접목시켜 다양한 형태의 다중 복합 미세패턴의 복제기술을 개발하였다. 이를 위해 미세 프리즘 패턴을 포함한 금형과 다양한 형태의 마스크 필름을 사용하여 선택적 연속성형 및 반복성형을 통해 다양한 형태의 미세패턴을 복제할 수 있는 임프린팅 기술을 개발하였다. 또한 복제된 미세패턴 영역에 대해 레이저 조사실험을 실시하여 다양한 형태의 광확산 특성을 갖는 필름을 개발할 수 있음을 확인하였다.

고굴절률 레진의 임프린팅 기술을 이용한 발광 다이오드의 광추출효율 향상 연구

  • 변경재;조중연;조한별;김진승;이헌
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2011년도 춘계학술발표대회
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    • pp.63.2-63.2
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    • 2011
  • 본 연구에서는 질화물 계 발광 다이오드의 광추출효율을 향상시키키 위해서 발광 다이오드의 ITO 투명전극 층 상부에 임프린팅 공정을 이용하여 고굴절률 레진 패턴을 형성하였다. 고굴절률 레진은 단량체 기반의 열경화성 임프린트 레진에 ZnO 나노 파티클을 분산시켜 제작하였고 ZnO 나노 파티클의 함량비를 달리하여 레진의 굴절률을 조절하였다. 고굴절률 레진으로 이루어진 패터닝 층은 열경화 임프린팅 공정으로 제작되었고 300 nm 크기의 dot 또는 hole 격자 패턴 및 moth-eye 형상의 저반사 나노 패턴 등으로 형성되었다. 발광 다이오드에 형성된 패터닝 층의 굴절률, 구조에 따른 광추출효율 향상 정도를 분석하기 위하여 electroluminescence 측정을 하였으며 I-V characteristics를 통해서 임프린팅 공정에 의하여 발광 다이오드 소자의 전기적 특성이 저하되지 않았음을 확인하였다.

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초음파 임프린팅에서 금형온도에 따른 미세패턴의 전사특성 연구 (Replication Characteristics of Micropatterns According to Mold Temperature in Ultrasonic Imprinting)

  • 민경빈;박종한;박창용;박근
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제38권1호
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    • pp.51-57
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    • 2014
  • 초음파 임프린팅은 열가소성 고분자 기판에 미세패턴을 복제할 수 있는 공정으로 타 성형방법에 비해 에너지소모가 적고 성형시간이 단축되는 장점이 있다. 초음파 임프린팅 공정에서는 고분자 기판의 표면에 초음파 진동에너지를 인가하여 소재간의 마찰열과 미세하게 반복되는 변형에너지의 축적을 통해 고분자 표면을 국부적으로 가소화시켜 미세패턴이 전사된다. 본 연구에서는 초음파 임프린팅에서 금형 온도가 미세패턴의 전사성에 미치는 영향을 분석하였다. 이를 위해 금형온도를 변화시켜가며 임프린팅을 수행하여 미세패턴 성형 영역에서의 온도변화를 관찰하였고, 상기 온도변화를 고려하여 미세패턴의 충진과정을 전산모사를 통해 고찰하였다. 또한 금형온도 변화에 따른 패턴의 전사율 및 전사균일도를 측정하여 비교하였다. 상기 결과를 통해 금형온도를 높일수록 초음파 임프린팅시 미세패턴의 전사특성이 향상됨을 확인할 수 있었다.

UV임프린트 공정에서 임프린팅 가압력 및 가압시간에 따른 레진 잔막 두께형성에 대한 실험연구 (Study on the Formation of Residual Layer Thickness by Changing Magnitude and Period of UV Imprinting Pressure)

  • 신동혁;장시열
    • Tribology and Lubricants
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    • 제26권5호
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    • pp.297-302
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    • 2010
  • This study is focused on the resin layer formation of UV imprinting process by changing imprinting pressure and period. The mold shape is made for the process of window open over the pattern transfer area and the imprinting period is assigned as the time just before the UV light curing. The residual layer is measured by changing the imprinting period and pressure magnitude, and the measured data of residual layer provides useful information for the design of the process conditions of imprinting processes.