나노 임프린팅 장비 기술

  • Published : 2004.12.01

Abstract

이 글에서는 국내외 나노 임프린팅 장비의 기술개발 동향과 개발되고 있는 대표적인 나노 임프린팅 장비를 소개하고, 향후 선폭 10nm 수준의 다중 임프린팅 장비를 개발하여 나노제품의 스마트, 저비용, 고생산성의 목표로 개발되고 있는 나노 임프린팅 장비의 기술을 소개하고자 한다.

Keywords