Effect of Atomic Layer Deposited Al2O3 Thin Films on the Mechanical Properties of Anti-reflective Moth Eye Nanostructured Films (원자층 증착법에 의한 Al2O3 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향)
-
- Journal of the Korean institute of surface engineering
- /
- v.48 no.2
- /
- pp.50-55
- /
- 2015