• 비파괴검사학회지
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• 제28권2호
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• pp.151-156
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• 2008

반도체나 디스플레이 제조 등 진공공정의 리크검출에는 질량분석기형(mass spectrometer type) 헬륨 리크검출기(leak detector)가 사용되고 있다. 이 기기를 이용해서 안정된 측정값을 얻기 위해서는 장치 내부에 내장된 투과형(permeation type) 표준리크(standard leak)를 이용해서 자주 spectrometer를 교정해야 한다. 본 연구에서 질량분석기형 리크검출기의 비교교정 장치의 개발과 교정방법에 대한 연구결과를 언급하였다. 따라서 이 기술을 이용하면 질량분석기형 리크검출기를 구비하고 있는 현장에서도 표준리크의 비교교정이 가능하게 된다.

• 전기전자학회논문지
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• 제20권4호
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• pp.439-448
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• 2016

온도 측정을 위해 RTD와 열전대 센서가 산업이나 연구 분야에 널리 사용되고 있다. RTD 및 열전대의 온도 교정기에 대한 표준교정절차는 측정에서 포함되는 불확도의 교정 결과를 나타내는 방법을 보여준다. 지금까지 이들에 대한 표준교정절차가 확립되지 않아 다소의 불편함과 표준교정 업무에 어려움이 있었다. 이러한 문제를 해결하기 위해 온도 교정기의 RTD 및 열전대에 대한 교정기법을 연구하게 되었다. 본 논문에서는 이들에 대한 수학적 모델과 교정결과 자료를 제시하였다.

• 한국음향학회지
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• 제22권6호
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• pp.463-471
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• 2003

본 논문에서는 아시아ㆍ태평양 지역에서 실시한 음향교정기의 국제비교 결과를 검토, 분석하였다. 국제비교에 사용된 음향교정기는 음압레벨교정기와 피스톤폰이었으며, 출력음압레벨을 측정하기 위해 사용된 마이크로폰은 1" 및 1/2" 표준마이크로폰 (LS1P, LS2P)과 1" 및 1/2" 기준 마이크로폰 (WS1P/F, WS2P/F)이다. 표준 마이크로폰을 이용하여 측정한 결과는 만족스러웠으나 기준 마이크로폰을 사용하여 측정한 결과는 En 값이 ±1.0 이내에는 들었으나 상대적으로 큰 편차를 보였다. 이러한 결과는 기준 마이크로폰의 음압감도레벨의 부정확한 교정으로 나타났다. 새로이 제정된 기준 마이크로폰의 비교교정에 따라 정밀 교정한 값을 사용한 결과 외국 표준기관들이 측정한 출력음압레벨과 유사한 값을 얻을 수 있었다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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• pp.1214-1217
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• 2004

현재 전기용량의 국가표준은 1 kHz, 1592 Hz에서만 유지 및 보급이 되고 있다. 그러나 전기용량 및 임피던스를 측정하는 브리지와 LCR meter들은 비교적 넓은 주파수 범위에서 측정이 가능하도록 생산이 되고 있다. 따라서 이러한 기기들의 교정은 실제적으로 사용되고 있는 주파수 전 영역이 아닌 1 kHz 만 되고 있어서 완전한 교정이라고 할 수 없다. 본 논문에서는 이를 해결하기위하여 임피던스 analyzer의 one-port 측정기술을 사용하여 4-terminal-pair(이하 4TP) 전기용량 표준기 각각의 terminal에서 임피던스를 필요 주파수에서 측정하고, 측정된 임피던스 matrix를 이용하여 4TP의 transfer 어드미턴스와 출력임피던스를 계산 하였다.

• 한국음향학회지
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• 제8권5호
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• pp.23-32
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• 1989

표준 컨덴서 마이크로폰의 정밀 교정은 가역원리를 이용한 가역교정에 의해 이루어진다. 본 연구에서는 가역교정 중에서도 결합기를 이용하는 음압교정(pressure calibration)을 수행하여 세 개의 1인치 컨덴서 마이크로폰의 음압감도를 결정하였다. 마이크로본의 음압감도를 정밀하게 결정하기 위해서는 전압이나 결합기의 치수를 정밀하게 측정하여야 하며 결합기의 구조상 발생하는 제반 현상들에 대한 보정을 정확하게 해 주어야 한다. 이와같은 사항들을 정화하게 고려할 경우 가역교정에 의한 교정정밀도는 저주파와 중간 주파수 영역에서 0.05dB이며 10kHz 이상에서는 0.ldB가 된다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 B
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• pp.828-830
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• 2001

잘 교정된 유도성 전압 분할기는 다른 교류 전압 분할기들을 비교 교정하기 위한 전압비의 표준기로서 사용되어질 뿐 만 아니라 각종 임피던스 정밀측정용 브리지의 비례 arm으로서 사용이 되어진다. 이러한 유도성 전압 분할기를 비교교정 하기 위한 교정시스템이 연구제작이 되었다. 본 연구 논문에서는 제작방법, 교정방법, 그리고 오차 등에 대하여 관하여 논의하고 실제교정결과와 분석된 결과를 비교한다.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제22권1호
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• pp.29-33
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• 1997

중성자교정실내에서 $D_2O$ 감속 $^{252}Cf$중성자선원을 사용하여 계측기를 교정할 때는 그 계측기에 대한 교정실산란보정 인자를 미리 결정하여야 한다. 이러한 교정실산란보정인자는 계측기의 종류, 교정거리, 교정실형태에 따라 다르게 결정된다. 본 연구에서는 한국원자력연구소에서 운영하는 2차 표준중성자교정실에서 한가지의 열형광선량계와 2가지의 구형검출기에 대한 교정실산란보정인자를 실험적으로 결정하였고 본소의 2차 표준중성자교정실조건에 의하여 이론적으로 예측한 값과 비교하였다. 비교한 결과 실험하여 얻어진 상기의 3가지 계측기에 대한 교정실산란보정인자가 이론적으로 예측한 결과와 최대 약 10% 이내에서 일치하였다.

• 한국진공학회지
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• 제15권4호
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• pp.347-353
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• 2006

국제도량형위원회의 질량 및 관련량 자문위원회 (CCM)가 주관하는 헬륨 투과형 표준리크(standard leak) 핵심측정표준 국제비교 (key comparison, KC)에 참여하기 위하여 기존의 정압형 리크표준기에 porous plug를 추가하여 측정범위를 $10^{-6}$ Pa L/s 까지 확장한 헬륨 미세리크 표준기를 개발하였다. 이를 위해 헬륨 기체에 대한 고진공 및 초고진공 표준기의 압력비와 porous plug의 콘덕턴스를 새롭게 측정하였으며, 개발된 장치를 이용하여 명목 값이 $5.6{\times}10^{-4}$ Pa L/s 인 투과형 표준리크를 직접 교정한 결과 표준기와 차이가 11.1 % 임을 알 수 있었다.

• 한국진공학회지
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• 제14권4호
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• pp.186-194
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• 2005

정적법 고진공 표준기를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 $4.04\times10^{-3}$ $Pa\~1.11\times10^{-2}$Pa에서 교정하였으며, 그 결과를 국제표준화기구에서 권고한 측정불확도 표현지침에 따라 불확도를 계산 및 평가하였다. 평가 결과 기준압력 $7.5488\times10^{-3}$ Pa에서 교정된 SRG의 합성표준불확도는 $95\%$ 신뢰수준, 포함인자 k = 1에서 $3.0035\times10^{-5}$ Pa로 나타났다.

• 한국진공학회지
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• 제4권2호
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• pp.135-141
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• 1995

Spinning Rotor Gauge(SRG)를 전달표준기(transfer standard gauge)로 사용하여 한국표준과학연구원(KRISS)의 고진공표준과 이태리 표준연구소인 IMGC(Istituto 야 Metrologia Gustavo Colonnetti)고진공표준의 국제비교를 실시하였다. 그 방법은 SRG의 accommodation coefficient(s)를 각 연구실의 고진공표준기로 측정하여 그 결과를 비교하였다. 이 결과 두 기관에서 교정한 SRG 볼의 $\sigma$값의 평균차이는 0.696%로서 양국의 고진공표준은 오차범위내에서 일치하는 것으로 나타났다.