Abstract
A helium permeation type standard leak calibration system has newly developed by using dynamic gas expansion method. The measurement range was extended lower to $10^{-6}$ Pa L/s for participating CCM (Consultative Committee for Mass and Related Quantities) standard leak key comparison. For the system, pressure ratios of high and ultra-high vacuum chamber and porous plug conductance for helium gas were determined. By using the system, a permeation type standard leak of $5.6{\times}10^{-4}$ Pa L/s range was calibrated. The calibration result showed that the difference between standard commercial leak was 11.1 %.
국제도량형위원회의 질량 및 관련량 자문위원회 (CCM)가 주관하는 헬륨 투과형 표준리크(standard leak) 핵심측정표준 국제비교 (key comparison, KC)에 참여하기 위하여 기존의 정압형 리크표준기에 porous plug를 추가하여 측정범위를 $10^{-6}$ Pa L/s 까지 확장한 헬륨 미세리크 표준기를 개발하였다. 이를 위해 헬륨 기체에 대한 고진공 및 초고진공 표준기의 압력비와 porous plug의 콘덕턴스를 새롭게 측정하였으며, 개발된 장치를 이용하여 명목 값이 $5.6{\times}10^{-4}$ Pa L/s 인 투과형 표준리크를 직접 교정한 결과 표준기와 차이가 11.1 % 임을 알 수 있었다.
