• 제목/요약/키워드: ${\mu}$-GA

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As과 Ga 빔 조사에 의해 세척된 Si(100) 기판 위에 GaAs 에피층 성장과 RHEED 패턴 (GaAs Epilayer Growth on Si(100) Substrates Cleaned by As/Ga Beam and Its RHEED Patterns)

  • 임광국;김민수;임재영
    • 한국표면공학회지
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    • 제43권4호
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    • pp.170-175
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    • 2010
  • The GaAs epitaxial layers were grown on Si(100) substrates by molecular beam epitaxy(MBE) using the two-step method. The Si(100) substrates were cleaned with different surface cleaning method of vacuum heating, As-beam, and Ga-beam at the substrate temperature of $800^{\circ}C$. Growth temperature and thickness of the GaAs epitaxial layer were $800^{\circ}C$ and 1 ${\mu}m$, respectively. The surface structure and epitaxial growth were observed by reflection high-energy electron diffraction(RHEED) and scanning electron microscope(SEM). Just surface structure of the Si(100) substrate cleaned by Ga-beam at $800^{\circ}C$ shows double domain ($2{\times}1$). RHEED patterns of the GaAs epitaxial layers grown on Si(100) substrates with cleaning method of vacuum heating, As-beam, and Ga-beam show spot-like, ($2{\times}4$) with spot, and clear ($2{\times}4$). From SEM, it is found that the GaAs epitaxial layers grown on Si(100) substrates with Ga-beam cleaning has a high quality.

트렌치 구조의 소스와 드레인을 이용한 AlGaN/GaN HEMT의 DC 출력특성 전산모사

  • 정강민;이영수;김수진;김재무;김동호;최홍구;한철구;김태근
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.145-145
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    • 2008
  • 갈륨-질화물(GaN) 기반의 고속전자이동도 트랜지스터(high electron mobility transistor, HEMT)는 최근 마이크로파 또는 밀리미터파 등의 차세대 고주파용 전력소자로 각광받고 있다. AlGaN/GaN HEMT는 이종접합구조(heterostructure) 로부터 발생하는 이차원 전자가스(two-dimensional electron gas, 2DEG) 채널을 이용하여 높은 전자 이동도, 높은 항복전압 및 우수한 고출력 특성을 얻는 것이 가능하다. AlGaN/GaN HEMT에서 ohmic 전극 부분과 채널이 형성되는 부분과의 거리에 의한 저항의 성분을 줄이고 전자의 터널링의 확률을 증가시키기 위해서 recess된 구조가 많이 사용되고 있다. 그러나 이 구조에서는 recess된 소스와 드레인에 의해 AlGaN층의 제거로 AlGaN층의 두께에 영향을 미치며 그에 따라 채널에 생성되는 전자의 농도를 변화시키게 된다. 본 논문에서는 소스와 드레인의 Trench 구조를 제안하였다. ohmic 전극 부분과 채널간의 거리의 감소로 특성을 향상시켜서 recess 구조의 장점이 유지된다. 그리고 recess되는 소스와 드레인 영역에서 AlGaN층을 전체적으로 제거하는 것이 아니고 Trench 즉 일부분만 제거하면서 AlGaN층의 두께의 변화에 따른 문제점도 줄일 수 있다. 따라서 이러한 전극 부분을 Trench구조화 시킨 AlGaN/GaN HEMT의 DC특성을 $ATLAS^{TM}$를 이용하여 전산모사하고 최적화된 구조를 제안하였다.

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Cymbidium spp.의 Protocorm 묘조 분화시 Protocorm내 전분 함량에 미치는 $GA_3$와 ABA의 영향 (Effects of $GA_3$ and ABA on Endogenous Starch Content during Shoot Differentiation in Cymbidium spp. Protocorm)

  • 한태진
    • Journal of Plant Biology
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    • 제31권4호
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    • pp.249-258
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    • 1988
  • Changes in starch content and activities of ADPG- and UDPG-starch synthase and $\alpha$- and, $\beta$-amylase were studied in order to investigate effects of gibberellic aicd and abscisic acid on endogenous starch content during shoot differentiation and protocorm propagation in Cymbidium spp. (Jungfrau) protocorm. Shoot differentiation was promoted during the degradation of endogenous starch and protocorn propagation was promoted during starch accumulation in protocorm. The activities of ADPG- and, UDPG-starch synthase and $\alpha$- and $\beta$-amylase seemed to be related with starch content. Shoot differentiation and protocorm propagation were slightly inhibited in protocorm explants treated with 100$\mu$M gibberellic acid. The explants treated with 10$\mu$M abscisic acid lost the capacity for shoot differentiation and protocorm propagation, and that could not be overcome by 100$\mu$M gibberellic acid added to culture medium. Starch content fluctuated as the control even after 10$\mu$M abscisic acid. None the less, the treatment completely inhibited shoot differentiation and protocorm propagation.

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다중모드 간섭효과를 이용한 1.3/1.55$\mu\textrm{M}$ InGaAlAs/InP 파장분배기의 제작 (Fabrication of a 1.3/l.55$\mu\textrm{M}$InGaAlAs/InP Dual Wavelength Demultiplexer Based on Multimode Interference(MMI))

  • Moon, Jeong-Yi;Yu, Jae-Su;Dong, Song-Jin;Kim, Jong-Min;Lee, Yong-Tik
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
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    • pp.34-35
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    • 2001
  • The wavelength demultiplexer is an essential component in optical transmission systems using wavelength-division multiplexing(WDM), which can increase the number of channels and information capacity of optical fibers. For optical telecommunication, much attention has been given to demultiplexing two wavelengths in the 1.3${\mu}{\textrm}{m}$ of low dispersion band and 1.55${\mu}{\textrm}{m}$ of low loss window. Various integrated-optical devices have been proposed to perform this function, including conventional directional couplers, asymmetric Y-branching devices, asymmetric Mach-Zehnder interferometers and two-mode interference devices. (omitted)

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HVPE법으로 성장시킨 GaN 박막의 기판에 따른 극성 특성 (Characterizations of GaN polarity controlled by substrate using the hydride vapor phase epitaxy (HVPE) technique)

  • 오동근;;최봉근;이성철;정진현;이성국;심광보
    • 한국결정성장학회지
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    • 제18권3호
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    • pp.97-100
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    • 2008
  • HVPE 법에 의해 성장시킨 GaN 박막이 기판에 따라서 극성과 비극성 특성의 변화에 대해 연구하였다. A-plane($11{\bar{2}}0$), C-plane(0001) and M-Plane($10{\bar{1}}0$) 사파이어 기판을 이용하여 $10\;{\mu}m$ 두께의 GaN 박막을 성장하였다. 광학현미경 및 원자력간 현미경(OM, AFM)을 이용해 표면 구조를 관찰하고, HRXD를 통해 이들은 모두 wurtzite 구조를 갖고 C-plane으로 성장시에는, 극성 특성을, A-plane 및 M-plane 성장 시에는 비극성 특성을 가짐을 확인하였으며, Photoluminescence (PL)측정 결과 3.4 eV에서 발광 피크, 2.2 eV에서 yellow luminescence peak를 확인하였다.

IMT-2000 단말기용 InGaP/GaAs HBT MMIC 전력증폭기 설계 및 제작 (Design & Fabrication of an InGaP/GaAs HBT MMIC Power Amplifier for IMT-2000 Handsets)

  • 채규성;김성일;이경호;김창우
    • 한국통신학회논문지
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    • 제28권11A호
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    • pp.902-911
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    • 2003
  • 에미터 면적이 2.0${\times}$20 $\mu\textrm{m}$$^2$인 단위 InGaP/GaAs HBT power cell을 이용하여 IMT-2000 단말기용 MMIC 2단 전력 증폭기를 설계 및 제작하였다. 온도 변화에 따른 전력증폭기의 RF 특성 변화를 보상시킬 수 있으며, 외부 조절 전압으로 대기전류를 줄일 수 있는 능동 바이어스 회로를 채택하였다. HBT의 실측정 S 파라미터와의 fitting을 통하여 비선형 등가 회로 파라미터를 추출하였고, load-pull 시뮬레이션으로 최대 출력 정합 임피던스를 결정하였다. 제작 및 측정 결과, MMIC 2단 전력증폭기는 on-wafer 측정에서 23 ㏈의 전력 이득과 28.4 ㏈m의 출력 전력( $P_{1-}$㏈/) 및 31%의 전력 부가 효율을 얻었으며, FR-4 기판상에 off-chip 출력정합회로를 구현한 COB 측정에서 22.3 ㏈의 전력이득과 26 ㏈m의 출력전력 및 28%의 전력부가효율을 얻었으며, -40 ㏈c의 ACPR 특성을 얻었다..

수정된 전역통과 필터를 이용한 2~6 GHz 광대역 GaN HEMT 전력증폭기 MMIC (2~6 GHz Wideband GaN HEMT Power Amplifier MMIC Using a Modified All-Pass Filter)

  • 이상경;김동욱
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제26권7호
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    • pp.620-626
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    • 2015
  • 본 논문에서는 2차 전역통과 필터를 이용하여 입력정합을 수행하고, LC 병렬공진 회로를 이용하여 트랜지스터의 출력 리액턴스를 최소화하는 기법을 적용함으로써 2~6 GHz에서 동작하는 광대역 GaN 전력증폭기 MMIC를 설계 및 제작하였다. 광대역 손실정합을 위해 사용된 2차 전역통과 필터는 트랜지스터의 채널 저항 효과를 보상하기 위해 비대칭적 구조를 사용하였다. Win Semiconductors사의 $0.25{\mu}m$ GaN HEMT 파운드리 공정으로 제작된 MMIC 칩은 크기가 $2.6mm{\times}1.3mm$이며, 주파수 대역 내에서 약 13 dB의 평탄한 이득 특성과 10 dB 이상의 우수한 입력정합 특성을 보였다. 포화출력 조건에서 측정된 출력전력은 2~6 GHz에서 38.6~39.8 dBm의 값을 보였고, 전력부가효율은 31.3~43.4 %을 나타내었다.

양자점 태양전지구조내 결함상태와 광전변환 특성인자와의 상관관계 분석

  • 이경수;이동욱;김은규;최원준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.329.2-329.2
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    • 2014
  • 지난 수년간 태양전지의 광전변환효율을 높이기 위해 자가 조립된 InAs 또는 GaSb와 같은 양자점을 GaAs 단일 p-n 접합에 적용하는 연구를 개발해 왔다. 그러나 양자점의 흡수 단면적에 의한 광 흡수도는 양자점층을 수십 층을 쌓으면 증가하지만 활성층에 결함을 생성시킨다. 생성된 결함은 운반자트랩으로 작용하여 태양전지의 광전변환효율을 감소시킨다. 본 실험에서는 양자점이 적용된 태양전지와 적용되지 않은 태양전지의 광전변환 효율을 비교하고, 깊은준위 과도용량 분광법을 이용하여 결함상태를 측정 및 비교함으로써, 활성층 내부에 생성된 결함이 광전변환 효율에 미치는 영향을 분석하였다. 소자구조는 분자선 증착 방법을 이용하여, 먼저 n+-형 GaAs기판위에 n+-형 GaAs를 250 nm 증착한 후, 도핑이 되지 않은 GaAs활성층을 $1{\mu}m$ 두께로 증착하였다. 마지막으로 n+ 와 p+-형 GaAs를 각각 50, 750 nm 증착함으로써 p-i-n구조를형성하였다. 여기서, n+-형 GaAs 과 p+-형 GaAs의 도핑농도는 동일하게 $5{\times}1018cm-3$로 하였다. 또한 양자점을 태양전지 활성층에 20층을 형성하였다. 이때 p-i-n 태양전지 와 양자점 태양전지의 광전변환 효율은 각각 5.54, 4.22 % 를 나타내었다. p-i-n 태양전지의 개방 전압과 단락전류는 847 mV, 8,81 mA이며 양자점 태양전지는 847 mV, 6.62mA로 확인되었다. 태양전지의 전기적 특성을 측정하기 위해 소자구조 위에 Au(300nm)/Pt(30nm)/Ti(30nm)의 전극을 전자빔증착장치로 증착하였으며, 메사에칭으로 직경 $300{\mu}m$의 태양전지 구조를 제작하였다. 정전용량-전압 특성 및 깊은준위 과도용량 분광법을 이용하여 태양전지의 결함분석 및 이에 따른 광전변환 특성인자와의 상관관계를 논의할 것이다.

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Preparation and characterization of Ga-68-deferoxamine to test the feasibility as a bifunctional chelating agent or a renal imaging radiopharmaceutical

  • Kim, Young Ju;Lee, Yun-Sang;Jeong, Jae Min
    • 대한방사성의약품학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.31-37
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    • 2015
  • Chelating agents 1,4,7-triazacyclononanetriacetic acid (NOTA), 1,4,7,10-tetraazacyclododecane-1,4,7,10-tetraacetic acid (DOTA) and 30-amino-3,14,25-trihydroxy-3,9,14,20,25-penta-azatriacontane-2,10,13,21,24-pentaone (desferrioxamine, DFO) were labeled with $^{68}Ga$ and tested in vitro properties to check the feasibility of using DFO as a bifunctional chelating agent or renal imaging agent. The chelating agents of concentration $2{\mu}M$ were labeled with $^{68}Ga$ in 0.1 M HCl at pH 1.7-10.3 at room temperature and $80^{\circ}C$ and the optimal pH for labeling each chelating agent was found. And then, the chelating agents were labeled with $^{68}Ga$ in various concentration of chelating agents at optimal pH. The labeled chelating agents were subject to stability test in human serum and to binding studies to human red blood cell (RBC) and plasma protein. The optimal pH's of NOTA, DOTA and DFO for $^{68}Ga$-labeling were 4.4, 3.6 and 5.6, respectively. DFO ($10{\mu}M$) showed high labeling efficiency (>97%) at pH 5.6. All the labeled chelating agents showed high stability in human serum. $^{68}Ga$-DFO showed low RBC binding but significant amount was bound to plasma protein. The results demonstrated that $^{68}Ga$-DFO can be used as a bifunctional chelating agent but not as a renal imaging agent.

TE 모드의 위상변화만을 일으키는 P-I-i-I-N GaAs/Al0.35Ga0.65As 도파로 위상변조기의 제작 및 변조 특성 (Fabrication and Modulation Characteristic of TE-selective P-I-i-I-N GaAs/Al0.35Ga0.65As waveguide phase modulator)

  • 김선필;이상선;이석;우덕하;김선호
    • 한국광학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.184-188
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    • 2003
  • TM 모드에는 영향을 끼치지 않으면서 TE 모드의 위상만을 변조시키는 P-I-i-I-N $GaAs/Al_{0.35}Ga_{0.65}As$ 도파로 위상변조기를 제작하였다. TE 모드에 대해서만 위상변조를 일으키게 하기 위해 P-I-i-I-N 구조를 선택하였다. Fabry-Perot 공명 방법을 이용해서 TE-와 TM 모드에 대해 $\lambda=1.55$\mu\textrm{m}$ 파종에서 각각 측정하였다. TE-편광된 빛에 대한 위상변조 효율은 $\Delta\phi=7.9^{\circ}/V.mm$ 였다. 이것은 비슷한 구조를 갖는 위상변조기의 변조 효율 보다 거의 2.5배정도 향상된 결과이다. 또한, TM-편광된 빛에 대해 서는 위상변조가 관측되지 않았다.