• Title/Summary/Keyword: side-lobe현상

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OPC Technique in The AttPSM Lithography Process Using Scattering Bars (Scattering Bar를 이용한 AttPSM Lithography 공정에서의 OPC)

  • 이미영;이홍주
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.201-204
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    • 2002
  • Overlay margin 확보를 위한 oversizing과, design rule checking, jog filtering를 통하여 side-lobe를 추출하였다. 이렇게 추출한 side-lobe를 extent하고, Cr pattern을 정의하여 side-lobe 현상을 해결할 수 있었다. 하지만 이 방법은 mask제조 공정이 복잡하므로 Cr shield방식의 단점인 복잡한 mask제작공정과 구조를 단순화하기 위하여 scattering bar를 이용하였다. 따라서, scattering bar를 삽입하기 위한 rule을 생성하여 metal layer에 적용하고 aerial image simulation을 통해 side-lobe 현상이 억제되었음을 확인하였다. 그리고 앞에서와는 반대로 background clear의 경우에 발생하는 side-lobe에 scattering bar를 적용하여 억제됨을 확인하였다.

A Study on the Improvement of ADCP Error by Submerged Vegetation (수중식생에 의한 ADCP 오측 개선 연구)

  • Jeong, Seung Gyo;Hwang, Jae Sung;Lee, Sin Jae
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2021.06a
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    • pp.233-233
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    • 2021
  • ADCP(Acoustic Doppler Current Profiler)는 유수의 흐름을 방해하지 않으면서 수중에 발사된 음파의 도플러 효과를 이용하여 3차원 유속 측정이 가능한 초음파 유량측정장비이다. 2009년부터 다양한 하천에서 ADCP 사용량이 증가하면서 ADCP를 이용한 유량측정 기법과 현장 적용상의 문제, 자료처리 과정에서의 문제점들이 발생하고 있다. 이런 문제점들을 분석한 결과 다음과 같은 사례들이 나타났다. 첫 번째 하상이 매우 불규칙한 단면의 부적절한 측정 사례, 두 번째 하안 수직벽 존재에 따른 단면의 부적절한 측정 사례, 세 번째 수심 오측이 다수 발생한 측정 사례, 네 번째 유속 프로파일 결측이 다수 발생한 측정 사례, 다섯 번째 통신문제로 인한 주기적인 결측이 발생한 측정 사례, 여섯 번째 홍수기 고농도 유사로 인해 결측이 발생한 사례, 일곱 번째 수중식생의 영향으로 수심 및 유속 프로파일 오측이 발생한 측정 사례, 여덟 번째 이동상 조건이 발생한 측정 사례 등 많은 문제들이 발생하였다. 본 연구에서는 수중식생의 영향으로 수심 및 유속 프로파일 오측이 발생하는 사례에 대해 개선할 수 있는 방안을 연구하였다. ADCP에서 수중에 발사한 음파 중 식생에 부딪친 강한 반사파의 노이즈로 side-lobe현상에 의한 오측 및 결측이 발생한다. 현재 오측 및 결측 자료는 ADCP 제조사별 자료 취득 소프트웨어의 기능에 의존 하거나, USGS의 OSW(Office of Surface Water) Hydroacoustics의 QRev를 이용하여 후처리 과정을 거쳐 측정 자료로 정리하고 있다. 이에 본 연구에서는 노이즈로 인한 side-lobe 현상을 물리적인 방법으로 제거하기 위해 음향 녹음 과정에서 노이즈를 물리적인 방법으로 제거하는 윈드실드와 팝 필터를 고려한 ADCP필터를 개발하여 적용하였다. 이번 연구의 대상지점은 원주시(지정대교)수위관측소로 5월 이후 수중에 식생이 성장하는 지점이다. 먼저 ADCP필터를 제거한 상태에서 측정을 실시하고, 이후 ADCP필터를 장착하여 측정을 실시하였다. ADCP필터 적용의 측정성과에서는 노이즈에 의한 오측 및 결측이 다수 발생하는 것을 볼 수 있고, ADCP필터를 적용한 측정성과에서는 노이즈가 제거되어 오측 및 결측이 개선되는 결과를 볼 수 있었다. 본 연구에서는 수중식생 영향으로 강한 반사파에 의한 노이즈로 side-lobe현상에 의한 ADCP측 정성과의 오측 및 결측을 ADCP필터를 적용하여 물리적인 방법으로 노이즈를 제거 할 수 있다는 결과를 얻었다.

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Overlay And Side-lobe Suppression in AttPSM Lithography Process for An Metal Layer (AttPSM을 사용하는 Metal Layer 리토그라피공정의 Overlay와 Side-lobe현상 방지)

  • 이미영;이흥주
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.18-21
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    • 2002
  • As the mask design rules get smaller, the probability of the process failure becomes higher due to the narrow overlay margin between the contact and metal interconnect layers. To obtain the minimum process margin, a tabbing and cutting method is applied with the rule based optical proximity correction to the metal layer, so that the protection to bridge problems caused by the insufficient space margin between the metal layers can be accomplished. The side-lobe phenomenon from the attenuated phase shift mask with the tight design nile is analyzed through the aerial image simulation for test patterns with variation of the process parameters such as numerical aperture, transmission rate, and partial coherence. The corrected patterns are finally generated by the rules extracted from the side-lobe simulation.

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A Study on an Anti-ghost Television Receiving Antenna (반 고우스트 텔레비젼 수신 안테나 연구)

  • 기우황;육재임
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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    • v.13 no.2
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    • pp.14-22
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    • 1976
  • This research was started to develop a VHF television antenna which secures good pictures in spite of the disturbance from tile rear side. In a year of research, an antenna which front to banck ratio is gyrator than 30dB and whose side lobe level is smaller than -30dB alas been developed. This new antenna was designed log-periodically for the sake of wide frequency bandwidth which is necessary to cover all tile high channel. And it was found having characteristics of anti-interference against the disturbance wave from tole behind, and anti-ghosts from the reflected waves. Furthermore, the gain of this new antenna is reasonablly high, because of its low side lobe level. After all, the developed antenna is silpposcd to increace the service area considervably and to improve the TV receiving certainly.

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Rule-based OPC and ORC Approach for Metal and Contact Layer Patterning (Metal과 Contact Layer Patterning을 위한 규칙기반 OPC 및 ORC Approach)

  • 이미영;이우희;이준하;이흥주
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2003.06a
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    • pp.239-242
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    • 2003
  • Scale down으로 인해 부족해진 overlay margin을 통해 충분히 확보해주고, 이와 동시에 attPSM(attenuated phase shift)의 사용으로 발생하는 side-lobe 현상을 억제하기 위한 방법으로 rule-based OPC(optical proximity correction)룰 사용하여 side-lobe만을 효과적으로 추출한 후, 그 자리에 scattering bar를 삽입하였다. 그리고 ORC(optical rule checking)를 통해 original layout과 aerial image의 EPEs(edge placement errors)를 검사하여 검증에 걸리는 시간을 감소시켰다.

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A Study on FIR Digital filter using Window Function (Window 함수를 이용한 FIR 디지털필터에 관한 연구)

  • 구본석;배상범;김남호
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2004.05b
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    • pp.68-74
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    • 2004
  • The use of digital filters in the signal processing field is increasing rapidly with development of the modem industrial society, and generally digital filter is classified into FIR (infinite impulse response) fillers and FIR (finite impulse response) filters. The FIR digital filter has the phase linearity and the easiness of creation. In the design of the FIR digital filter, the window function is used to alleviate ripples caused by Gibbs Phenomenon around the cut-off frequency of the passband. In this paper, we designed a new window function and compared with existing Manning, Hamming and Blackman window functions. And we used peak side-lobe and transient characteristics as standard of judgement.

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Optical True-Time Delay for High-Directivity Phased Array Antennas (고 지향성 위상 배열 안테나를 위한 실시간 지연선로)

  • 배덕희;신종덕;김부균
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.02a
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    • pp.318-319
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    • 2003
  • 이동통신 시스템에서 데이터, 음성, 영상신호를 효율적으로 전송하기 위해 위상 배열 안테나(Phased-Array Antenna: PAA)에 관한 연구가 최근 국내외적으로 활발히 진행되고 있다. 광통신 기술을 이용한 PAA용 실시간 지연선로 (True Time-Delay: TTD)는 넓은 대역폭, 저 손실, 전자파 간섭에 무관, 소형화, 특히 ‘beam squintr´ 현상이 없는 장점이 있기 때문에 각광을 받고 있다. 특히, 신호의 간섭을 줄이기 위해 안테나 방사 패턴의 부엽 (side lobe)의 크기를 감소시킬 수 있는 안테나 설계기술이 필요하다. (중략)

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A Study on the FIR Digital Filter using Modified Window Function (변형된 창함수를 사용한 FIR 디지털 필터에 관한 연구)

  • 강경덕;배상범;김남호;류지구
    • Journal of the Institute of Convergence Signal Processing
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    • v.4 no.1
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    • pp.49-55
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    • 2003
  • The use of digital filters in the signal process field is increasing rapidly with development of the modern industrial society. Especially, detail processors, Y/C separators, ghost removing filters, standard converters (NTSC to PAL or PAL to NTSC) and noise reducers, all of which use digital filters, tend to be used in digital video and audio processing, CATV and various communication fields. Generally, there are two different digital filters, the Rf (infinite impulse response) filter and the FIR (finite impulse response) filter in digital filter. In this paper, we have designed FIR filter which has the phase linearity and the easiness of creation. In the design of the FIR digital filter, the window function is used to alleviate the ripples caused by Gibbs Phenomenon around the cut off frequency of the band pass. But there're some problems to choose proper window function for the design destination due to its fixed values. Therefore, in this paper, we designed a modified Hanning window with new parameter which is adaptively chosen corresponding to design objectives. The digital filter was simulated to prove the validity of the model and it was compared with the Hamming, the Manning, the Blacknan and the Kaiser window function. And we have used peak side-lobe and transient characteristics as standard of judgement.

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A Design Method for Direction Selective Structural-acoustic Coupled Radiator (구조-음향 연성현상을 갖는 방사 방향을 가질 수 있는 방사체 설계방법)

  • Seo, Hee-Seon;Kim, Yang-Hann
    • Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering
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    • v.15 no.2 s.95
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    • pp.225-231
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    • 2005
  • This paper presents a design method for the structural-acoustic coupled radiator that can emit sound in the desired direction. A coupled system that has a finite space and a semi-infinite space separated by two flexible walls and an opening is considered. An objective function is selected to maximize radiation power on a main axis and minimize a side lobe level. To get initial values, prediction of a pressure distribution on field points and radiation pattern of the structural-acoustic coupling system is shown at a coupled-resonant frequency. Three different optimization methods are adapted to design the coupled radiator. Pressure and intensity distribution of the designed radiator is presented.

Directional Radiation Pattern Design Using Structural-Acoustic Coupling (구조-음향 연성현상을 이용한 지향성 방사패턴 설계)

  • Seo, Hee-Seon;Kim, Yang-Hann
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2004.11a
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    • pp.751-754
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    • 2004
  • This paper presents a design of the directional radiation pattern by using the structural-acoustic interaction. For this purpose, prediction of the pressure distribution of the field points and radiation pattern of the structural-acoustic coupling system is shown. In order to get a strong coupling, coupled system that has a finite space and a semi-infinite space separated by two flexible walls and an opening is selected. A volume interaction can be occurred in structure boundary and a pressure interaction can be happened in the opening boundary. The coupled system is maximized the radiation power on the main axis and minimized the side lobe level.

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