2.22-inch qVGA $(240{\times}320)$ amorphous silicon thin film transistor liquid active matrix crystal display (a-Si TFT-AMLCD) panel has been successfully demonstrated employing a 2.5 um fine-patterning technology by a wet etch process. Higher resolution 2.22-inch qVGA LCD panel with an aperture ratio of 58% can be fabricated as the 2.5 um fine pattern formation technique is integrated with high thermal photo-resist (PR) development. In addition, a novel concept of unique a-Si TFT process architecture, which is advantageous in terms of reliability, was proposed in the fabrication of 2.22-inch qVGA LCD panel. Overall results show that the 2.5 um fine-patterning is a considerably significant technology to obtain higher aperture ratio for higher resolution a-Si TFT-LCD panel realization.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제5권1호
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pp.34-37
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2004
Amorphous chalcogenide thin films, especially a-(Se, S) based films, exhibit a number of photo-induced phenomena. In this study, we make the As$\_$40/Ge$\_$10/Se$\_$15/S$\_$35//Ag thin film and then we measure the holographic diffraction efficiency according to thickness of Ag. And we form the two-dimensional holographic grating. At first, we formed one-dimensional grating and then we form two-dimensional grating by rotate the sample. We found out the most suitable thickness of Ag and in case of As$\_$40/Ge$\_$10/Se$\_$15/S$\_$35//Ag(600${\AA}$), the diffraction efficiency was more higher than other samples. The holographic grating was formed by He-Ne laser(λ=632.8nm). The intensity of incident beam was 2.5mW and incident angle was 20$^{\circ}$. We confirm. the two-dimensional holographic grating by the pattern of diffracted beam and AFM(Atomic Force Microscope) image. We perform the etching process using by 0.26N NaOH in order to confirm clearly two-dimensional grating.
실리콘 태양전지 셀을 제작하고 효율을 측정하는데 있어 texturing 효과에 대하여 상관성을 조사하였다. Texturing은 $HNO_3$, KOH, NaOH를 각각 사용한 IPA혼합 에칭용액을 만들어서 샘플을 제작하였다. 셀의 분석은 FTIR 과 XRD를 이용하였으며, 실리콘 태양전지 셀의 효율과 화학적인 특성 사이의 상관성을 조사하였다. FTIR 데이터의 950~1350 $cm^{-1}$ 영역에서 픽의 생김새와 셀 표면의 반사도 사이에는 상관성이 있으며, 픽의 쪼개짐이 많으면 표면에서 결합의 상호작용이 활발하지 않다는 것을 의미하며 이러한 표면에서 반사가 잘 일어나지 않으면서 효율이 증가하는 것을 확인하였다.
In-situ analyzation and detection of real-time chemical reactions can be a significant part in interpreting the underlying mechanism in very reactive chemical reactions. To do this, first we have designed a microfluidic device (MFD) pattern for observation of synthesis of hierarchical nanostructures based on graphene oxide (GO), conjugating the well-known coupling reaction by which the solution of 1-ethyl-3-(3-dimethylaminopropyl) carbodiimide (EDC)-mediated coupling is enhanced in the presence of n-hydroxysuccinimide (NHS) to make amide bonding, hereafter called as the EDC coupling. Then, we have manufactured microfluidic devices with multiple tens of micrometer-sized channels that can circulate those nanomaterials to be chemically reacted in the channels. These microfluidic devices were made by negative photo lithography and soft lithography. We showed the possibility of using Raman spectroscopy to reveal the basic mechanism of the energy storage applications.
본 논문은 현재 개인 휴대기기 및 대형 디스플레이 장비의 제어에서 폭넓게 사용되고 있는 터치스크린 패널 (TSP; Touch Screen Panel)의 정상 작동 유무를 확인하기 위한 micro bump 제작 기술에 관한 연구이다. 터치스크린 패널은 감압식, 정전식 등의 여러 가지 방식이 있으나 지금은 편리성에 의하여 정전식 방식이 주도하고 있다. 정전식의 경우 해당하는 좌표의 접촉에 따라 전기적 신호가 변화하게 되고, 이를 통하여 접촉 위치를 확인할 수 있으며 따라서 접촉 위치에 따른 전기 특성 검사가 필수적이다. 검사공정에서 TSP의 모델이 변경됨에 따라 새로운 micro bump를 제작이 및 검사 프로그램의 수정이 필수적이다. 본 논문에서는 새로운 micro bump 제작 시 mask를 사용하지 않아 보다 경제적이며 변화에 대응이 유연한 maskless lithography 시스템을 이용하여 micro bump 제작 가능성에 대하여 확인하였다. 이를 위하여 제작되는 bump의 pitch에 따른 전기장 간섭 시뮬레이션을 진행하였으며, maskless lithogrphy 공정을 적용하기 위한 패턴 이미지를 생성하였다. 이후 MEMS 기술에 해당하는 PR(Photo Resist) 패터닝 공정에서 노광(Lithography) 공정 및 현상(Developing) 공정을 통하여 PR 마스크를 제작한 후 electro-plating 공정을 통하여 micro bump를 제작하였다.
액정표시소자의 광배향막으로 적용하기 위하여 올리고머 신나메이트와 폴리(비닐 신나메이트) (PVCi)의 블렌드를 이용하여 그루브 패턴을 형성하고 광배향 특성을 관찰하였다. UV-vis 스펙트럼 분광계를 이용하여 자외선 조사 시간에 따른 광반응 속도를 평가한 결과 올리고머 신나메이트는 폴리(비닐 신나메이트)에 비해 빠른 반응속도를 나타내었다. 폴리(비닐 신나메이트)를 주성분으로 하여 올리고머 신나메이트를 블렌드한 경우 반응속도가 약간 향상되는 특성을 확인하였다. 올리고머 신나메이트는 높은 결정성으로 인해 표면 그루브 패턴을 단독으로 형성할 수 없었지만 폴리(비닐 신나메이트)와의 블렌드를 통하여 그루브 패턴을 형성할 수 있었으며 그루브 패턴에서도 polar plot에 의해 분자 배향성을 나타냄을 확인하였다. 올리고머 신나메이트와 고분자계 신나메이트의 블렌드를 통하여 반응속도의 향상과 박막 구조의 패턴을 형성하기에 적합함의 확인을 통해 새로운 광배향막 재료로 적용 가능함을 알 수 있었다.
웹의 출현이후 웹은 우리 일상의 정보검색 및 오프라인에서 이루어졌던 많은 영역들을 잠식해 가며 우리의 일상으로 다가왔다. 텍스트 기반의 검색에서 시작된 웹은 미디어의 발달에 따라 이미지${\cdot}$음악${\cdot}$영화 등의 멀티미디어 컨텐츠가 웹상에 범람하면서 기존의 텍스트 위주의 패턴매칭 검색방법이 아닌 해당 미디어에 최적화된 검색방법을 요구하게 되었다. 본 논문에서는 멀티미디어 자원에 대한 정보(메타데이터)를 RDF로 변환한 후 실제 멀티미디어 자원과 RDF로 변환된 해당 메타데이터를 각각의 서버에 분리${\cdot}$관리하여 그 자원들이 효율적으로 시맨틱 웹상에서 공유될 수 있도록 하는 모델을 제시하고 구현하였다. 제안된 모델은 모든 멀티미디어 자원에 적용될 수 있지만 설명과 구현의 편의를 위하여 디지털 사진을 예로 적용하였다.
두유에는 기름의 양이나 입도를 분석하는데 장해를 주는 대두단백질, 미세한 대두입자들이 공존하고 있어서 기존의 microscopic image analysis, coulter counter, 또는 Photo-analysis 등의 사용이 많은 문제점을 노출했다. 본 실험에서 Stokes 법칙을 응용하여, 중력장과 원심력장하에서 homogeneous suspension과 cumulative method를 이용하여 입도분포를 분석했다. 선정된 두유에서 기하학적 평균지름은 중력장하에서는 $0.33{\mu}m$ 표준편차 $1.73{\mu}m$이고, 원심력 장에서는 평균지름은 $0.31{\mu}m$, 표준편차는 $1.81{\mu}m$으로, 매우 유사한 결과를 얻었다. 균질압이 유화안정성에 크게 영향을 주는 인자이기 때문에 균질압을 변화했을 때, 균질압이 높을수록 평균입도는 작은 쪽으로 이동하였으며, 입자의 분산 형태는 평균지름을 중심으로 밀도 있게 분포하는 쪽으로 변화하여, 균질압이 기름 입도분포에 영향을 미쳐 유화 안정과 깊은 관계가 있는 것을 확인하였다.
충격에 의한 복합재 튜브의 내부 박리 현상은 항공 우주 및 자동차 산업 등에서 흔히 발생되어져 왔다. 이러한 복합재 구조물의 안전성을 평가하기 위해서는 적외선열화상기법(IRT)과 같은 복합재 구조물의 내부 결함을 검출할 수 있는 비파피검사가 필요하다. 적외선 열화상 이미지 패턴 분석에 의해서 내부 결함이 발생한 복합재 튜브의 내 외부 결함 부위를 확인할 수 있다. 본 연구에서는 적외선열화상기법을 이용하여 충격 하중에 따른 복합재 튜브 표면에서 방출하는 적외선 에너지를 감지하여 열 분배로부터 복합재 튜브의 내부 결함을 검출하는 연구를 수행하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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