• 제목/요약/키워드: optical roughness measurement

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기판의 표면거칠기와 반사경 산란에 대한 연구 (Effect of surface roughness onto the scattering in low loss mirrors)

  • 조현주;신명진;이재철
    • 한국광학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.209-214
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    • 2002
  • 기판의 표면거칠기가 반사경의 산란에 미치는 영향을 조사하였다. 기판의 표면거칠기가 다른 다섯 종류의 기판에 이온빔 스퍼터링 방법과 전자총 증착 방법으로 각각 반사율이 1에 가까운 고반사율 박막을 증착하고 산란을 TIS 방법으로 측정하였다. 기판의 표면거칠기가 2$\AA$ 이상인 경우의 기판의 산란에 대한 반사경 산란 비율은 표면거칠기가 2$\AA$ 미만인 경우의 산란 비율에 비하여 급격한 증가를 나타냄을 알 수 있었으며, 기판의 표면거칠기가 낮은 경우 반사경의 산란은 기판의 표면거칠기보다 반사경을 구성하는 박막의 미세구조에 의존하는 것으로 판단되었다. 한편 반사경 중에서 가장 작은 산란은 2.1 ppm이었고, 이것은 표면거칠기 0.23$\AA$인 기판에 이온빔 스퍼터링 방법으로 제작되었다.

위상측정 간섭계를 이용한 sub-${\AA}$급 표면거칠기 측정 (Sub-${\AA}$ surface roughness measurement using phase-measuring interferometer)

  • 조민식;정태호;오문수;이수상;이재철
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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    • pp.176-177
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    • 2000
  • 고분해능 분광학, 레이저 주파수 안정화, 단원자 레이저, 레이저 자이로 등의 다양한 분야에서 널리 응용되는 저손실, 고반사율 반사경 제작은 고품질의 반사경 기판 사용을 전제로 하고 있다. 1$\AA$이하의 표면거칠기(surface roughness)를 요구하는 반사경 기판의 초연마(super-polishing) 기술과 저손실 반사경 박막코팅 기술은 최근 수 년 사이에 상당한 발전이 이루어졌으며, 이와 함께 초연마 반사경 기판의 표면거칠기 측정기술이 중요한 분야로 주목받고 있다. 표면거칠기 측정기법은 현재까지 여러 가지 방법이 연구, 발전되어 왔는데, 접촉식 측정방법으로 stylus 방법과 비접촉식 측정방법으로 광학 간섭계 방법, 스캔닝 전자현미경(SEM, Scanning Electron Microscopes) 등이 있다. 이들 중 광학 간섭계 방법은 표면형상을 직접 측정 가능하다는 점에서 유망한 비접촉 표면측정 기법으로 알려져 있다. (중략)

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인프로세스 측정을 통한 연삭 시뮬레이션 (Simulation of Ground Surface by In-process Measurement)

  • 홍민성;최우석
    • 한국정밀공학회지
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    • 제16권6호
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    • pp.160-165
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    • 1999
  • In surface grinding, the conditions of the grinding wheel give a significant effect on the ground workpieces comparing with other metal removal provesses. In this paper, to assist the development, a non-contacting optical method by the laser beam is introduced. The in-process measurement of scattering intensities has been made during surface grinding processes and the surface textures of wheel working surfaces are captured. Also, in order to determine the dressing time monitoring method of a grinding wheel, a three-dimensional computer simulation of the grinding operation has been attempted based on the contact mechanism and the surface-shaping system between the grinding wheel and the workpiece. The optimal dressing time is determined by the amount of the grain wear and work surface roughness.

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표면 요철 측정을 위한 광학적 거리 측정기 개발 (Development of an Optical Range Finder for Surface Roughness Measurements)

  • 엄정현;박현희;서동선;허웅;김준범;김용곤
    • 전기전자학회논문지
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    • 제2권1호
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    • pp.53-60
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    • 1998
  • 고속도로 등의 대형 구조물의 표면 요철을 측정하기 위한 높은 반복율의 광학적 근 거리 측정기를 개발하였다. 삼각 측정법의 원리에 의한 거리 계측을 위해, 광원으로는 발광 다이오드를 사용하였으며 물체에서 반사된 광의 각도 검출기로는 1차원 위치 감응 광 검출기를 사용하였다. 개발된 거리 측정기는 물체의 반사율 변화를 극복하기 위한 자동 전력 조절 기능과 일정한 배경 광잡음은 물론 시간에 대해 변하는 배경 광잡음까지도 제거할 수 있는 전기적 배경잡음 제거기능을 갖고 있다. 거리 측정기의 장착 및 요철의 깊이를 고려하여 설정된 $22{\sim}38cm$의 측정거리에 대한 실험결과, 물체의 반사율에 관계없이 ${\pm}1.5mm$ 이내의 측정오차를 보였다.

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Low-e용 산화물 다층박막 IGZO/Ag/IGZO의 구조적, 광학적 특성 분석 (Structural and Optical Properties of Multilayer Films of IGZO / Ag / IGZO for Low Emissivity Applications)

  • 왕홍래;김홍배;이상렬
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제26권4호
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    • pp.321-324
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    • 2013
  • In this study, The RF magnetron sputter and evaporator was on glass substrates 30 mm ${\times}$ 30 mm OMO multilayer thin film structure is applied to the low-e. Structural and optical properties, a thin film was produced, the variable was placed into a variable deposition time of the oxide layer. According to the XRD measurement results there is no peak that satisfies the Bragg's law ($2dsin{\theta}=n{\lambda}$) which confirmed that it is an amorphous structure. RMS value of the results of the AFM measurement, has a roughness of less than 2 nm. transmittance measurements results, visible light region an average 80%, IR region 40% showed.

Sentinel-2를 활용한 하천의 식생 및 토양 영향 분석을 통한 통수능 검정 (Conveyance Verification through Analysis of River Vegetation and Soil Impact using Sentinel-2)

  • 방영준;최병준;이승오
    • 한국방재안전학회논문집
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    • 제14권4호
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    • pp.37-45
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    • 2021
  • 여름철 예상치 못한 급격한 강우량의 증가로 침수 피해가 발생할 수 있으며 이 때, 하천 내 식생에 의해 통수능이 감소할 경우 제방 월류와 같은 침수의 위험성이 증가하게 된다. 기존에는 현장실측을 통해 통수능의 주요인자인 조도계수를 산정하고 있지만, 현장 실측의 경우 식생의 변화를 정확하게 파악하는데 많은 한계가 존재한다. 본 연구는 Sentinel-2 광학 이미지를 활용하여 식생지수(NDVI)를 산정하고 식생의 밀도와 분포면적을 통해 세분화된 조도계수를 산출하였다. 산출한 조도계수를 HEC-RAS 1D모의에 적용하여 소양강 댐 직하류를 대상으로 수위 관측소 수위와 결과를 비교하여 타당성을 검증하였다. 분석 결과 기존 조도계수 적용 결과보다 위성영상을 통해 산정한 세분화된 조도계수 적용 수위가 오차율이 약 14% 감소하였다. 이를 통해 계절에 따른 홍수량 특성을 고려한 하천의 홍수위의 정교화와 특정 구간에 효율적인 하천 정비가 가능할 것으로 기대한다.

Determination of the Optical Functions of Various Liquids by Rotating Compensator Multichannel Spectroscopic Ellipsometry

  • Bang, Kyung-Yoon;Lee, Seung-Hyun;Oh, Hye-Keun;An, Il-Sin;Lee, Hai-Won
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제26권6호
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    • pp.947-951
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    • 2005
  • Rotating compensator multichannel spectroscopic ellipsometry has been employed to determine the optical functions of various liquids used in chemistry. We attempted three different measurement configurations: (1) air-liquid interface, (2) prism-liquid interface, and (3) liquid-sample interface. In prism-liquid interface, we found that the prism surface had roughness and it should be considered in analysis for accurate results. In liquidsample interface, we had much higher reflection, better sensitivity, and less limitation compared to the other two configurations when crystalline silicon was used as reference sample. We discuss the merit of each configuration and present the optical functions of various liquids. Also we demonstrate Bruggeman effective medium theory to determine the optical properties of mixed liquid.

사파이어 의료용 나이프의 연삭가공에서 지그의 탄성계수가 날 부 형상에 미치는 영향 (Effect of the Elasticity Modulus of Jig Material on Blade Edge Shape in Grinding Process of Sapphire Medical Knife)

  • 신건휘;이득우;곽태수
    • 한국기계가공학회지
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    • 제16권2호
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    • pp.102-107
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    • 2017
  • This study focuses on the effect of the elasticity modulus of jig material on blade edge shape in the grinding process of a sapphire medical knife. The ELID grinding process was applied as the edge-grinding method for sapphire material. Carbon steel and copper have been selected as the hard and soft jig materials, respectively. The blade edge created by ELID grinding was measured by a surface roughness tester and optical microscope. The shape of the ground edge and surface roughness were compared using the measurement results. As a result, it was found that chipping in the blade edge of the sapphire knife occurred more than in the case of jig material with a high-elasticity modulus because of the high normal force in the grinding process. Moreover, the maximum height surface roughness, $R_{max}$,of the ground surface was higher in the case of the jig material with a high-elasticity modulus due to the difference in elasticelongation. It was considered to lead to chipping from the notch effect.

Radio Frequency Plasma Power변화에 따른 ITO 특성 및 OLED의 광학적 특성 (Optical Properties of Organic Light Emitting Diode and Characteristics of ITO by Variation of Radio Frequency Plasma Power)

  • 기현철;김회종;홍경진;김은미;구할본
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제22권1호
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    • pp.81-85
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    • 2009
  • We has been analysed optical properties of OLED(organic light emitting diode) and characteristics of ITO(Indium Tin Oxide) in terms of $O_2$ plasma treatment for manufacturing high efficiency OLED, RF power of $O_2$ plasma was changed 25, 50, 100, 200 W. $O_2$ gas flow, gas pressure and treatment time were fixed. Sheet resistance and surface roughness of ITO were measured by Hall-effect measurement system and AFM, respectively. The ranges of sheet resistance and surface roughness were $5.5{\sim}6,06\;{\Omega}$ and $2.438{\sim}3.506\;nm$ changing of RF power, respectively, PM(Passive Matrix)OLED was fabricated with the structure of ITO(plasm treatment)/TPD($400\;{\AA}$)/$Alq_3(600\;{\AA})$/LiF($5\;{\AA}$)/Al($1200\;{\AA}$). Turn-on voltage of PMOLED was 7 V and luminance was $7,371\;cd/m^2$ at the RF power of 25 W, $O_2$ plasma treatment of ITO surface was result in lowering the operating voltage and improving luminance of PMOLED.

레이저 산란광을 이용한 미소표면 결합의 측정평가법에 관한 연구 (A Study on the Measurement of Fine Scratches by Scattering of Laser Light)

  • 강영준
    • 한국정밀공학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.22-28
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    • 1992
  • This paper is studied about the method to measure the fine scratches on the mirror surfaces, such as the silicon wafer and magnetic memory disk by the optical measuring method. The theoretical background of this analysis is based upon the light scattering theory developed by Beckmann. In this analysis, the roughness in fine scratches is not considered because the aberage roughness is very small compared with the size of fine scratches. Empasis is on quantilaive method of fine scratches by non-contact method. Experiments are followed by the image processing system attached to the CCD Camera. As a results, I propose the new method to measure the size of the fine scratches from the parameters obtained by the computer simulation and experiments.

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