In recent emerging industry, Display field becomes bigger and bigger, and also semiconductor technology becomes high density integration. In Flat Panel Display, there is an issue that electrostatic phenomenon results in fine dust adsorption as electrostatic capacity increases due to bigger size. Destruction of high integrated circuit and pattern deterioration occur in semiconductor and this causes the problem of weakening of thermal resistance. In order to solve this sort of electrostatic failure in this process, Soft X-ray ionizer is mainly used. Soft X-ray Ionizer does not only generate electrical noise and minute particle but also is efficient to remove electrostatic as it has a wide range of ionization. X-ray Generating efficiency has an effect on soft X-ray Ionizer affects neutralizing performance. There exist variable factors such as type of anode, thickness, tube voltage etc., and it takes a lot of time and financial resource to find optimal performance by manufacturing with actual X-ray tube source. MCNPX (Monte Carlo N-Particle Extended) is used for simulation to solve this kind of problem, and optimum efficiency of X-ray generation is anticipated. In this study, X-ray generation efficiency was measured according to target material thickness using MCNPX under the conditions that tube voltage is 5 keV, 10 keV, 15 keV and the target Material is Tungsten(W), Gold(Au), Silver(Ag). At the result, Gold(Au) shows optimum efficiency. In Tube voltage 5 keV, optimal target thickness is $0.05{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $2.22{\times}10^8$ x-ray flux. In Tube voltage 10 keV, optimal target Thickness is $0.18{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $1.97{\times}10^9$ x-ray flux. In Tube voltage 15 keV, optimal target Thickness is $0.29{\mu}m$ and Largest energy of Light flux appears $4.59{\times}10^9$ x-ray flux.
Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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v.52
no.3
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pp.199-205
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2015
This study is about ionic water generator filter Recently, a lot of people feel deep interest in health and drinking water. And there are various types of water. Ionic water generator is a system with special function, and can be classified as a medical device and should be manufactured after approval from the Food and Drug Administration. Basically ionized water is different from the packaged and stored water. When the tap water or ground water passes through the various filters of ionic water generator, it turns to the purified water of pH7 ~ 7.5 and we can electrolyze that water into anion and cation by diaphragm. And in negative electrode side, we can get alkaline water with calcium ($Ca^+$), potassium ($K^+$), magnesium ($Mg^+$), sodium ($Na^+$) for body. In general, we can change pH value from 5 to 9 of ionizer by controlling the level of electrolysis voltage in the ionizer. In general, 1stage (pH8), 2stage (pH8.5), 3stage (pH9), 4stage (pH9.5) are used as the alkaline ionized water, -1Stage (pH6.0), -2 stage (pH5.0) are used as the acidic water. But in early stage, the water that passed through filter was weakly alkaline water and that was problem. Therefore, when filter condition is stable, the pH and ORP value of water is different with the early one. the initial setting pH value of the ionizer was confirmed that changes significantly. In order to resolve this problem we need to wash filter for some period time and neutralize by acidification treatment of the filter.
Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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1997.11a
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pp.245-250
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1997
오늘날 정전기에 의한 미립자 오염은 반도체 공정의 미세화기술에 대해 큰 장해가 되는 것은 물론이거니와 약간의 미립자에 의한 오염이라 하더라도 제품의 특성에 악영향을 주는 원인이 된다. 정전기는 공기청정화 기술의 하나로써 응용되고 있는 반면 크린룸 중에서 대전물체가 존재하면 이것에 분진이 흡인되어 부착하기 때문에 오염의 원인이 되기도 한다. (중략)
It is a well known fact that the LCD and Semiconductor Devices are a central part of IT industry which is important in the present and the future. But the biggest problem of Semiconductor and LCD manufacturing is maintaining a cleaning room environment. For this reason, the soft X-ray type Ionizer was used as the electrostatic reducer device, which protects damage of the product against electrostatic discharge in the manufacturing process. Therefore it is a essential important factor during Semiconductor and LCD production process. But the soft X-ray has a intrinsic problem with harmful to human being in case of soft X-ray exposure. That's reason we have the research to solve above problem and made an apparatus that it was covered with shielding structure to protect X-ray radiation to outside. And besides, it has a possibility to eliminate the charged electrostatic in the narrow space through the slot for Ion emissions with dual soft X-ray sources on the both side. It is also not make the particles from itself when it has been operated.
Journal of Korean Society for Atmospheric Environment
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v.23
no.6
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pp.752-759
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2007
For an accurate measurement of aerosol particle size distribution using a differential mobility analyser (DMA), a new calculation process, capable of predicting the masses for the various kinds of water cluster ions generated from a bipolar ionizer, was prepared by improving the previous process. The masses for the 5 kinds of positive and negative water cluster ions produced from a SMAC ionizer were predicted by the improved calculation process. The aerosol particle charging ratios calculated by applying the predicted ion masses to particle charging equations were in good accordance with the experimentally measured ones, indicating that the improved calculation process are more reasonable than the previous one in a mass prediction of bipolar water cluster ions.
Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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v.28
no.1
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pp.114-122
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2014
This paper describes a study of the design conditions of a planar surface dielectric barrier discharge (DBD) reactors for generating negative air ions. The capacity of negative air ion generated by the surface DBD reactor is affected by the shape, area ratio and the location of the discharge and induction electrodes of it. To study the optimal design conditions of DBD reactors, the electrodes printed on the substrate of a PCB board is utilized to conduct kind of experiments: the distance of the each electrode along with the X-Y axis, the area ratio of the discharge electrode to induction electrode, and the symmetrical and asymmetrical location of two electrodes. The ion generation capacity is inverse proportional to the gap increases along with X-Y axis. And the optimum ion concentration generated by the ionizer was inspected when the electrodes area ratio was 3 and 5 times of the symmetrical and asymmetrical experimental condition respectively.
이오나이저는 에어컨이나 공기청정기와 같은 전자기기에서의 공기 정화기능이나 반도체 장비에서 웨이퍼에 먼지가 부착 되는 문제를 해결하기 위한 정전기 제거 기능 등의 용도로 활용되고 있다. 이오나이저의 동작을 위해서는 교류나 직류 형태를 가지는 수 kV의 고전압을 발생시킬 수 있는 높은 전압 변환비를 가지는 전원장치가 필요하다. 본 논문에서는 5 V 전원을 입력으로 하고, 5 kV 전원을 출력으로 하는 직류 형태의 이오나이저용 전력변환회로의 소형화 및 저가격화를 목표로 설계하고 검증한 내용에 대하여 논의하고자 한다.
Recently, there are widely needs of small scale electrostatic precipitator(ESP) in machine shop and other factories. Since the space of such factories is limited, the improvement of collection efficiency is predominant subject. In this study, we examine the influence of distribution of wind velocity and oil mist concentration inside the ESP in order to improve the performance of the ESP. The distribution of wind velocity and mist concentration is measured respectively in a cross-sectional plane of the ESP. The former is controlled by using a louver which is placed in front of an ionizer and the latter is controlled by lengthening the pipe of entrance of the ESP in order to have plenty of time that mist is dispersed evenly. It is shown that the uniformity of distribution of wind velocity and mist concentration inside the ESP can be getting by adopting a louver with proper shape and lengthening the pipe of entrance and is also contributed to collection efficiency considerably.
A charged droplet scrubber was introduced to remove visible smokes generated in many industrial facilities. Lab-scale and field tests were conducted in this study. The system consists of a corona discharger to effectively charge the fine particles, fellowed by an electrostatic chamber to promote coagulation between charged fine particles and oppositely charged droplets and a demister to remove resultant particles. Overall collection efficiency, 98.4% was obtained from a lab-scale test, when a high voltage was applied to an ionizer and a charged droplet scrubber. Field tests also show the high collection efficiencies, 93.5% with one stage and 99.4% with two stage system. This system can be used to increase the collection efficiency of the conventional air pollution control devices to satisfy the national emission standard.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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