Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference (한국산업안전학회:학술대회논문집)

The Korean Society of Safety (한국안전학회)
권호 표지

연X선 Ionizer에 의한 대전물체의 제전특성에 관한 연구

  • 신중현 (부경대학교 산업대학원) ;
  • 류상민 (부경대학교 산업대학원) ;
  • 이동훈 (부경대학교 안전공학과)
  • Published : 1997.11.01
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Abstract

오늘날 정전기에 의한 미립자 오염은 반도체 공정의 미세화기술에 대해 큰 장해가 되는 것은 물론이거니와 약간의 미립자에 의한 오염이라 하더라도 제품의 특성에 악영향을 주는 원인이 된다. 정전기는 공기청정화 기술의 하나로써 응용되고 있는 반면 크린룸 중에서 대전물체가 존재하면 이것에 분진이 흡인되어 부착하기 때문에 오염의 원인이 되기도 한다. (중략)

Keywords