• 한국전자파학회논문지
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• 제27권8호
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• pp.693-700
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• 2016

본 논문에서는 구성 안테나의 수신 영역을 빔 폭 내로 한정하고, 각도 측정 모호성이 없는 선형간섭계 안테나 설계를 위한 수식을 제안하였다. 수식을 이용하여 구성 안테나 간격과 각도 모호성과의 관계를 설명하고, 선형간섭계 설계를 위한 운용주파수, 각도 정확도, 빔폭, 측정 확률을 계산하여 고각과 방위각 측정을 위한 총 5개의 구성 안테나로 이루어진 선형간섭계 안테나를 설계, 제작, 측정한 결과를 제시하였다. 각도 측정 정확도는 방위각, 고각 각각 $0.01^{\circ}$, $0.016^{\circ}$ 이며, 계측 값의 99 % 이상이 모호성 없이 정확히 측정되었다. 이로써 제안한 수식과 설계 과정이 유효함을 확인할 수 있었다.

• 한국공작기계학회논문집
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• 제11권1호
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• pp.17-25
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• 2002

This system is composed of fine and coarse apparatus, measurement system and control system. Piezoelectric actuator is designed far fee positioning. We make a study of precision apparatus that is used in the various industrial machine. The study was carried out to develope a precision positioning apparatus, consisting of servo motor and piezoelectric actuator Coarse positioning using lead screw is thrived by servo motor. Control system output a signal from laser interferometer to amplifier of servo motor and piezoelectric actuator after digital signal processing (DSP). Resolution of this apparatus measure with laser interferometer. In this study, design method and control system with ultra precision position apparatus are researched. As the first step, we have estimated for control performance and system stability before an actual apparatus is manufactured by MATLAB with SIMUUNK including various frictions those are composed of pre-design and system modeling.

• 한국광학회지
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• 제15권4호
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• pp.313-320
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• 2004

위상편이 회절격자 간섭계와 이진 컴퓨터 형성 홀로그램을 제작하여 널 시스템을 구성하고 비구면형상 측정 시스템을 구축하였다. 제안하는 시스템은 비구면형상에 맞게 제작된 이진 컴퓨터 형상 홀로그램과 가시도가 조정된 위상편이 회절격자간섭계로 이루어져있다. 위상편이 회절격자간섭계는 회절격자의 홈 형상이나 간섭을 일으킬 측정광과 기준광을 바꿈으로써 가시도를 쉽게 조절할 수 있고, 높은 수준의 측정 정확도를 가지는 장점을 가지고 있다. 이진 컴퓨터 형성 홀로그램은 비구면의 정보를 통하여 컴퓨터로 수치모사한 후 전자-빔 리토그래피 장비로 제작할 수 있고, 위상편이 회절격자 간섭계, 비구면과 함께 자동곡률측정 방식으로 설치된다. 간섭계와 홀로그램을 제작한 후 비구면을 측정, 실험을 수행하고 시스템을 평가하였다.

• 한국광학회지
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• 제15권3호
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• pp.248-253
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• 2004

광섬유 탐침의 끝 단에서 반사하는 광을 이용하는 근접장 주사 광간섭계를 제안하고 제안한 근접장 주사 광간섭계를 이용하여 초점의 위치와 집광 초점면에서의 파면을 분석하였다. 파면의 분석은 광섬유 탐침의 끝 단에서 반사된 빛과 시료표면에서 반사된 빛을 간섭시키고, 탐침의 끝 단을 λ/4씩 위상천이 시키면서 4장의 간섭무늬를 얻은 후, 위상천이 알고리즘을 통하여 광학 수차를 구하는 방법을 이용하였다. 실험 결과 근접 주사시의 초점의 위치를 파장의 3분의 1 이하로 제어할 수 있음을 알 수 있었으며, 제안한 근접장 주사 광간섭계를 이용하여 구한 집광 초점면에서의 파면 수차 값이 트와이만-그린 간섭계를 이용하여 구한 파면 수차값과 잘 일치함을 확인할 수 있었다.

• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제4권1호
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• pp.7-10
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• 2000

The soft x-ray(10nm-100nm) interferometer is a modified Mach-Zehnder type interferometer and it consists of two beam-splitters and four totally reflecting mirrors. The beam-splitters used here are 50% transmission and 50% reflection grating type. The diffraction patterns of beam splitters(1st B.S.) were investigated with a He-Ne laser. The diffraction patterns produced by the soft x-ray interferometer (2nd B.S.) were also investigated in intensities positions. The diffraction patterns of 20 degree grazing incidence on the beam splitters(1st B.S.) show a circular array of spots. Both the reflected and the transmitted beams show the same patterns but symmetric circles on the screen. The maximum intensity appears roughly when n is in the zeroth and odd orders and the suppressed peak(missing order) appears when n is in even orders. Intensities of 3 center fringes(n = 0, $\pm$1) are stronger than others. These results confirm the reduced grating equation and make agree with the intensity distribution function. It was found that the final patterns produced by the soft x-ray interferometer (2nd B.S.) consisted of fine fringes which were caused by two of three diffraction beams that were arrived at the second beam-splitter.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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• pp.651-653
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• 2000

In this study, a distance-measurement system was proposed by using principle of the Michelson Interferometer and a fundamental research was carried out. In case of the rnichelson interferometer, relativity distance was measured by relativity-difference of two course of light. But wavelength of light source were changed in this system in order to use interference phenomenon of michelson interferometer in measuring absolutely distance. Wavelength of input signal were changed periodically and were interfered electrically. So absolute distance can be calculated by using $\Delta\lambda$ and measuring $\eta\Delta$ in electric interference. Nose by a external factor was small in this system because a absolutely distance was measured by phase difference. And a dispersion of noise was small in pulse-echo response because a error was occurred in range of phase difference of signal. Also very wide range can be measured by only single system because informations of distance were acquisited in wavelength level.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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• pp.926-929
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• 2005

Recently, laser interferometer is widely used as a measuring system in many fields because of its high resolution and its ability to measure a board area in real-time ail at once. In conventional laser interferometer, for examples Out of plane ESPI, In plane ESPI, Shearography and Holography, it uses PZT or other components as a phase shift instrumentation to extract 3-D deformation data, vibration mode and others. However, in most cases PZT has some disadvantages, which include noli-linear errors and limited time of use. In present study, a new type of laser interferometer using a laser diode(LD) is proposed. Using Laser Diode Sinusoidal Phase Modulating(LD-SPM) interferometer, the phase modulation can be directly modulated by controlling the LD injection current thereby eliminating the need for PZT components.

• 한국지능시스템학회논문지
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• 제22권6호
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• pp.694-699
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• 2012

반도체 검사 공정에 적용하기 위한 대시야 백색광간섭계(WSI ; White Light Scanning Interferometer)를 사용한 반도체 검사 결과를 본 논문에서 제시한다. 각 서브스트레이트에 있는 동일한 여러 범프에 대한 3D 데이터 반복성 측정 실험 결과를 제시한다. 각 서브스트레이트의 모든 범프에 대한 3D 데이터 반복성 측정 실험 결과를 제시한다. 반도체 검사 공정에서 3D 데이터 검사를 고속으로 달성하기 위해 대시야 백색광간섭계를 사용한 반도체 검사는 매우 중요한 의미를 갖는다. 인라인 고속 3D 데이터 검사기 개발에 본 논문이 크게 기여할 수 있다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 1990년도 제5회 파동 및 레이저 학술발표회 5th Conference on Waves and lasers 논문집 - 한국광학회
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• pp.177-181
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• 1990

Digital Tolansky interferometer which is Tolansky interferometer interfaced to the computer through CCD TV-camera, is developed and applied to the surface topography. First, resolution of this system is determined by minimum measurable thickness of thin film. Theoretical analysis and experimenatal results are compared. Second, surface topographic picture of thin is obtained by two orthogonal fringes. Using linear fitting method, height distribution of specimen is obtained and 3-dim. picture is plotted.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제22권3호
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• pp.353-361
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• 1998

The study on the vibration characteristics of annular sector plates is important for structural engineers. In this study the vibration modes and their natural frequencies of annular sector plates clamped along the inner circumferential edge are obtained by the time average holographic interferometer according to the varying sector angle. The experimental results agree well with those obtained by the numerical analysis. The vibration characteristics of annular sector plates shows great dependence on the sector angle. The radial nodal lines converge to the center of annular sector plate.