This paper shows a new precision actuator of MUTM(miniature universal testing machine) for the testing of compression and tensile load on the MEMS materials and structures. The MUTM consists of a sample holder, an ultraprecision precision actuator(tranlation stage) and load sensor. The precision actuator has been developed for generating displacements with nanometer accuracy and a dynamic range of 1mm simultaneously. In this paper, it can be made by using the displacement property of bi-morph type PZT, which is able to extend the long range(stroke) according to cantilever size. However, it is not enough to be generated for compression and tensile load in miniature universal testing machine. Therefore, three dozen bi-morph type PZTs are used for generating the load. The load and displacement of the precision actuator are 35g and 0.4mm respectively.
오늘날까지 적층 마이크로 외팔보의 고유진동수에 대하여 연구가 진행되었다. 마이크로 보는 실리콘 재질로 만들어 지지만, 그것의 상하 표면은 얇은 금 박막층(~30nm)이 증착되어 있다. 초음파 검사를 위해 초음파 테스트 플랫폼을 사용했으며, 시간영역 신호는 광학적으로 측정되었다. 고유진동수는 파형을 고속 Fourier 변환을 통해 정량화하였으며, 결과적으로 고전적인 보 이론과 일치하는 결과를 보여 주었다. 본 연구는 마이크로/나노스케일 재료와 마이크로 구조에 대한 동적평가기법을 제공할 것으로 기대된다.
In this paper, we present the results of a preliminary study on the piezoelectric energy harvesting performance of a Zr-doped $PbMg_{1/3}Nb_{2/3}O_3-PbTiO_3$ (PMN-PZT) single crystal beam. A novel piezoelectric beam cantilever structure is used to demonstrate the feasibility of generating AC voltage during a state of vibration. The energy-harvesting capability of a PMN-PZT beam is calculated and tested. The frequency response of the cantilever device shows that the first mode resonance frequency of the excitation model exists in the neighborhood of several hundreds of hertz, which is similar to the calculated value. These tests show that several significantly open AC voltages and sub-mW power are achieved. To test the possibility of a small scale power source for a ubiquitous sensor network service, energy conversion and the testing of storage experiment are also carried out.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제14권2호
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pp.63-66
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2013
This paper describes the highly productive process technologies of microprobe arrays, which were used for a probe card to test a Dynamic Random Access Memory (DRAM) chip with fine pitch pads. Cantilever-type microprobe arrays were fabricated using conventional micro-electro-mechanical system (MEMS) process technologies. Bonding material, gold-tin (Au-Sn) paste, was used to bond the Ni-Co alloy microprobes to the ceramic space transformer. The electrical and mechanical characteristics of a probe card with fabricated microprobes were measured by a conventional probe card tester. A probe card assembled with the fabricated microprobes showed good x-y alignment and planarity errors within ${\pm}5{\mu}m$ and ${\pm}10{\mu}m$, respectively. In addition, the average leakage current and contact resistance were approximately 1.04 nA and 0.054 ohm, respectively. The proposed highly productive microprobes can be applied to a MEMS probe card, to test a DRAM chip with fine pitch pads.
Some researchers pointed out that the nonlocal cantilever models do not predict the dynamic softening behavior for nanostructures (including nanobeams) with clamped-free (CF) ends. In contrast, some indicate that the nonlocal cantilever models can capture the stiffness softening characteristics. There are substantial differences on this issue between them. The vibration analysis of porosity-dependent functionally graded nanoscale tubes with variable boundary conditions is investigated in this study. Using a modified power-law model, the tube's porosity-dependent material coefficients are graded in the radial direction. The theory of nonlocal strain gradients is used. Hamilton's principle is used to derive the size-dependent governing equations for simply-supported (S), clamped (C) and clamped-simply supported (CS). Following the solution of these equations by the extended differential quadrature technique, the effect of various factors on vibration issues was investigated further. It can be shown that these factors have a considerable effect on the vibration characteristics. It also can be found that our numerical results can capture the unexpected softening phenomena for cantilever tubes.
It is well recognized that the ultrasonic method is one of the most common and reliable nondestructive testing (NDT) methods for the quantitative estimation of defects in welded structures. However, NDT techniques applying for adhesively bonded joints have not been clearly established yet. In this paper, the detection of interface crack by the ultrasonic method was applied for the measurement of interfacial crack length in the adhesively bonded joints of double-cantilever beam (DCB). An optimal condition of transmission coefficients and experimental accuracy by the ultrasonic method in the adhesively bonded joints have been investigated and discussed. The experimental values are in good agreement with the computed results by boundary element method (BEM) and Ripling's equation.
In is well recognized that the ultrasonic method is one of the most common and reliable nondestructive testing(NDT) methods for the quantitative estimation of defects in welded structures. However, NDT techniques applying for adhesively bonded joints have not been clearly established yet. In this paper, the detection of interface crack by the ultrasonic method was applied for the measurement of interface crack length in the adhesively bonded joints of double-cantilever beam(DCB). The optimum condition of transmission coefficients and experimental accuracy by the ultrasonic method in the adhesively bonded joints have been investigated. The experimental values are in good agreement with the computed results by boundary element method(BEM) and Riplings equation.
It is well recognized that the ultrasonic methods is one of the most common and reliable nondestructive testing(NDT) methods for the quantitative estimation of defects in welded structures. However, NDT techniques applying for adhesively bonded joints have not been clearly established yet. In this paper, the detection of interface crack by the ultrasonic method was applied for the measurement of interfacial crack length in the adhesively bonded joints of double-cantilever beam(DCB). The optimum condition of transmission coefficients in the adhesively bonded joints and it's experimental accuracy by the ultrasonic method have been investigated. The experimental values are in good agreement with the computed results by boundary element method(BEM) and Ripling's equation.
This paper examines the crack growth behavior of 7075-T651 aluminum alloy for small tensile overload under high-low block loading condition. The cantilever beam type specimen with a chevron notch is used in this study. The crack growth and closure are investigated by compliance method. The applied initial stress ratios are R=-0.5 R=0.0 and R=0.25 Crack length, effective stress intensity factor range, ratio of effective stress intensity factor range and crack growth rate etc, are inspected with fracture mechanics estimate.
A strain modal testing method has been applied to a cantilever beam to investigate the characteristics of the method. By applying the method to an analytical and an experimental system, it was shown that accurate modal parameters can be estimated from strain frequency response functions using a current modal parameter extraction algorithm. The modal parameters estimated by the method are more accurate than those by the conventional method which uses accelerometers when the tested system is of light weight. The method can be used to predict strain responses and excitation forces for given excitation forces and responses, respectively. Cracks on a structure can be detected by measuring strian FRFs and comparing them with the original ones.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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