RF Magnetron Sputtering을 이용한 ATO 박막의 산소 유량에 따른 특성 변화
(The effect of $O_2$ flow rate on die characteristics of ATO Thin Films by RF Magnetron Sputtering)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.336-337
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- 2007