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하고초 메탄올 추출물의 항산화 활성 (Antioxidant Activities of Methanol Extracts from Prunella vulgaris)

  • 이수정;성낙주;정혜광;신정혜;정영철;서종권
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제37권12호
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    • pp.1535-1541
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    • 2008
  • 하고초를 부위별(전초, 꽃대 및 줄기)로 메탄올 추출하여 항산화 활성을 비교하였다. 총 페놀화합물은 꽃대에서 77.1 mg/100 g으로 다른 부위에 비해 유의적인 차이를 보였으며, 전초와 줄기는 54.0 mg/100 g 이하였다. 플라보노이드는 줄기에서 36.1 mg/100 g으로 가장 높았다. 전자공여능은 시료의 농도에 의존적으로 증가하는 경향으로 $500{\mu}g/mL$ 첨가시에는 70% 이상의 전자공여능을 보였으며, $1000{\mu}g/mL$ 첨가 시 꽃대에서 92.1%로 유의적으로 높았다. 환원력은 전자공여능과 유사한 경향이었으며, 꽃대에서 $100{\sim}1,000{\mu}g/mL$ 첨가 시 $0.3{\sim}1.9$, 전초는 $0.2{\sim}1.6$, 줄기는 $0.2{\sim}1.5$의 범위로 꽃대>전초>줄기 순서로 높았다. Hydroxyl radical 소거능은 $100{\mu}g/mL$ 첨가 시 80% 이상이었으며, 부위별 유의 차가 없었다. $\beta$-carotene-linoleic acid계에서 지질과산화 억제능은 $1000{\mu}g/mL$ 첨가 시 $47.5{\sim}84.6%$로 꽃대에서 항산화능이 가장 높았다. ABTs 라디칼 소거능은 $250{\mu}g/mL$ 첨가 시 50% 이상의 소거능을 보였으며, $500{\sim}1,000{\mu}g/mL$ 첨가 시 $85.0{\sim}92.3%$로 농도 간에 유의차가 없었다. $1000{\mu}g/mL$ 첨가 시 nitric oxide 소거능은 꽃대에서 19.7%로 전초 및 줄기에 비해 유의적으로 높았고, 아질산염 소거능은 꽃대와 줄기에서 각각 30.7%와 32.5%로 전초에 비해 유의적으로 높았다. 이상의 항산화 활성 분석결과를 종합하여 볼때 하고초의 꽃대는 전초 및 줄기에 비해 항산화 활성이 높았는데 이는 페놀화합물의 함량에 의존적인 것으로 추정되며, 꽃대 부위를 선별하여 가공식품 소재로 활용할 경우 하고초의 항산화 활성을 보다 부각시킬 수 있을 것으로 기대된다.

흑마늘 추출액을 첨가한 식빵의 품질 특성 (Quality Characteristics of Bread with Added Black Garlic Extract)

  • 양승미;신정혜;강민정;김성현;성낙주
    • 한국식품조리과학회지
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    • 제26권5호
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    • pp.503-510
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    • 2010
  • 흑마늘 추출액을 총 재료 중량에 대해 0, 1, 3, 6, 9 및 12%(W/W) 첨가하여 제조한 식빵의 품질 특성을 분석하였다. 반죽의 pH는 흑마늘 추출액 첨가에 따라 유의적으로 낮아져, 흑마늘 추출액을 12% 첨가한 시료에서 $5.46{\pm}0.02$로 가장 낮았으며, 반죽의 밀도도 유사한 경향을 보여 12% 첨가시 $0.95{\pm}0.03\;g/mL$로 가장 낮았다. 반죽의 발효 팽창력은 흑마늘 추출액 첨가군에서 $143.08{\pm}0.61{\sim}143.63{\pm}0.25%$의 범위로 대조군과 유의차가 없었다. 소성 후 식빵의 pH는 $6.87{\pm}0.01{\sim}7.75{\pm}0.02$로 흑마늘 추출액의 첨가량이 증가함에 따라 유의적으로 감소하였으며, 식빵의 비용적은 $2.33{\pm}0.27{\sim}2.74{\pm}0.51\;mL/g$의 범위로 대조구와 실험구간에 유의적인 차이를 보이지 않았다. 식빵 겉껍질과 내부색 모두 명도값은 흑마늘 추출액을 첨가량이 증가함에 따라 대조구에 비해 감소하는 경향을 나타내었으며, 적색도와 황색도는 증가하는 경향을 보였다. 텍스쳐를 측정한 결과 견고성은 흑마늘 추출액 1% 첨가구에서 가장 높은 $277.82{\pm}32.55$였으며, 씹힘성과 검성은 흑마늘 추출액의 첨가량이 증가함에 따라 점차 감소하는 경향이었다. 응집성은 흑마늘 추출액 12% 첨가구에서 가장 높아 $0.33{\pm}0.07$ 이였고, 복원성은 흑마늘 추출액 3% 이상 첨가시 $0.12{\pm}0.04{\sim}0.16{\pm}0.04$의 범위로 대조구 및 1% 첨가구보다 유의적으로 낮았다. 관능검사 결과 색과 전체적인 기호도는 대조구와 실험구간에 유의차가 없었으나, 맛은 흑마늘 추출액 6% 첨가구에서 가장 높았다. 이상의 결과들을 종합하여 볼 때 흑마늘 추출액을 첨가하여 식빵을 제조할 경우 제빵 적성, 빵의 품질 개선 및 기호성과 기능성이 향상된 식빵을 제조 할 수 있을 것으로 생각된다.

의료서비스의 결합판매와 경쟁제한성의 판단 - Cascade Health 사건을 중심으로 - (Bundled Discounting of Healthcare Services and Restraint of Competition)

  • 정재훈
    • 의료법학
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    • 제20권3호
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    • pp.175-209
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    • 2019
  • 시장지배적 사업자의 결합판매는 경쟁법 적용에 있어 어려운 문제 중 하나이다. 결합판매는 통상 할인을 수반하는데, 소비자 입장에서는 더 낮은 가격에 더 많은 상품을 구매할 수 있는 혜택을 보게 된다. 공급자도 별개로 판매할 경우에 소요되는 판매비용보다 더 낮은 비용으로 판매할 수 있게 된다. 이와 같이 소비자 입장에서는 가격인하의 혜택을, 공급자 입장에서는 판매비용 인하의 혜택을 보는 효율적인 측면이 있다. 대상판결은 결합판매 자체는 경쟁촉진적일 수도 있고, 경쟁제한적일 수도 있으며, 시장지배적 사업자가 아니더라도 거래관행상 광범위하게 이루어지고 있으므로 중립적이고 객관적으로 경쟁제한성 평가를 할 필요가 있음을 전제로 하고 있다. 대상판결은 동등 효율 경쟁자를 배제할 위험이 있는지를 심사해야 한다는 입장을 취함으로써 제1심이 선례로 고려한 LePage 판결을 따르지 않고 비용 기반 분석(cost based approach)이 필요하다고 봄으로써, 결합판매에서 비용기반 분석의 대표적인 판결로 평가받고 있다. 이 판결의 가장 돋보이는 점은 결합판매에서 경쟁제한성 평가의 방법론에 있어, 할인귀속 기준을 채택하여 결합판매에 따른 할인분을 전체 상품이 아니라 경합하는 상품에 적용한 후, 비용보다 가격이 낮은지를 심리해야 한다는 점을 지적한 점이다. 동등효율 경쟁자의 배제 문제는 결국 행위자 자신이 스스로 위반여부를 판단할 수 있어야 하므로, 이때 문제되는 비용은 경쟁자의 비용이 아니라 행위자의 비용임을 명시하였다. 결합판매를 통한 할인은 소비자가 별개로 구입할 수 있는 선택권을 침해받지 않으면서도 저가에 상품을 구입할 수 있는 긍정적인 효과가 있다. 따라서 결합판매를 경쟁법 차원에서 규제할 수 있는 근거로는, 가격할인에도 불구하고 동등효율 경쟁자를 배제한다는 점이 합리적인 사유가 될 것이다. 그 점에서 대상판결이 제시한 동등효율 경쟁자의 배제 위험 문제를 가격비용 테스트와 할인귀속기준을 통하여 적용한 점은 설득력이 있다. 반면, 결합판매의 기본적인 구조는 끼워팔기의 강제성 요건과 유사한 측면이 있다는 지적도 경청할 필요가 있다. 한국은 공적 건강보험 체계가 당연지정 요양기관 제도와 결합하면서 의료서비스에 대한 가격 경쟁은 요양급여에서는 불허되며 비급여 부분을 중심으로 존재한다. 이러한 비급여 부분을 중심으로 의료가 발달한 분야에서도 가격에 관한 의료공급자들의 시장지배적 지위의 남용이 가능하다. 진료비에 대한 가격결정과 공적 건강보험 제도와 민간의료보험의 관계를 검토해보면, 의료공급자 중 시장지배적 사업자의 결합판매를 통한 경쟁사업자의 배제는 비급여 부분에 대하여 국민건강보험공단이 아닌 민간보험회사와 관계에서 결합판매를 통한 할인계약을 통하여 가능할 것이다.

양측 슬괵건을 이용한 후방 십자 인대 및 후외측 지대 재건술 (Posterior Cruciate Ligament and Posterolateral Structure Reconstruction using Bilateral Hamstring Tendons)

  • 인용;김석중;이규영
    • 대한관절경학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.167-173
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    • 2005
  • 목적: 저자들은 후방 십자 인대 손상과 후외측 회전 불안정성이 동반된 환자에서 양 측 슬괵건을 채취하여 각각 후방 십자 인대 및 후외측 지대 재건술을 시행하고 그 결과를 보고하고자 한다. 대상 및 방법: 2002년 10월부터 2004년 3월까지 후방 및 후외측 회전 불안정성으로 양 측 슬괵건을 이용한 후방십자 인대 및 후외측 지대 재건술을 시행한 10명의 환자를 대상으로 하였다. 남자가 9명 여자가 1명이었고 평균 연령은 36.8세였다. 평균 추시 기간은 17개월(12개월-2년 4개월)이었다. 후방 십자 인대는 환측 슬괵건을 이용하여 횡고정 핀과 Intrafix (Mitek, Norwood, MA) 로 고정하였고 후외측 지대는 비골두에 터널을 뚫어 건측 슬괵건을 통과 시킨 후 대퇴골 외과의 등장점에 흡수성 나사로 고정하였다. 후방 전위 정도는 후방 부하 방사선 사진으로 계측하였고 이학적 검사상 회전 불안정성의 정도를 Noyes와 Barber-Westin의 분류에 따라 평가하였다. 슬관절 기능 평가는 Lysholm 점수와 International Knee Documentation Committee (IKDC) 평가 기준을 이용하였으며 건측 공여부의 평가는 IKDC 평가기준 공여부 항목과 슬관절 굴곡력으로 평가하였다. 결과: 후방 부하 방사선 사진상 술 전 13.3 mm에서 술 후 3.7mm로 호전되었으며 $30^{\circ}$$90^{\circ}$ 경골 외회전 검사상 기능적 소견을 보인 예가 7예, 부분 기능적 소견을 보인 예가 2예, 실패의 소견을 보인 예가 1예였다. Lysholm 점수는 술 전 54점에서 술 후 86점으로 호전되었다. IKDC 평가 기준상 거의 정상 이상이 8예, 비정상이 2예 이었으며 심한 비정상의 소견을 보인 예는 없었다. 건측 하지 공여부 평가상 2예에서 감각 저하를 호소하였으나 슬관절 굴곡력의 약화 소견은 없었다. 결론: 후방 십자 인대 손상과 후외측 회전 불안정성이 동반된 환자에서 양 측 슬괵건을 이용한 후방 십자 인대 및 후외측 지대 재건술은 양호한 임상 결과와 건측 채취부의 합병증이 적은 좋은 치료 방법으로 사료된다.

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사업계획서의 구성요소와 기업성과와의 관계에 관한 연구 (A Study on the Relationship between Business Plan Components and Corporate Performance)

  • 고인곤;이상석;김대호
    • 한국벤처창업학회:학술대회논문집
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    • 한국벤처창업학회 2006년 춘계학술발표회
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    • pp.45-75
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    • 2006
  • 지금까지 이론적, 개념적으로만 제시되었던 사업계획서의 구성요소들을 문헌 연구와 예비조사를 통하여 선정하였다. 본 연구에서는 요인분석을 통하여 이들 구성요소들을 생산관련 요인, 실행관련 요인, 운영방향 관련 요인, 제품/서비스 관련 요인, 관련 요인의 5개 요인으로 축소하였다. 한편 기업 성과를 어떤 항목으로 측정할 것인가의 문제도 중요한 이슈가 된다. 평가 항목에 따라서 기업의 활동이 달라지기 때문이다. 본 연구에서는 기업성과를 효과성, 적응성 및 효율성으로 구분하여 각각에 미치는 사업계획서 구성요소들의 영향을 살펴보았다. 연구 결과 사업계획서 구성요소들은 효과성, 적응성 기업 성과에 정(+)의 영향을 미치는 것을 발견하였다. 특히 효과성에 있어서는 다른 성과지표에 비해서 상대적으로 회귀모형의 설명력이 양호하게 나타났다. 그러나 효율성 기업 성과에는 영향력의 방향이 일치하지 않았다. 전반적인 모형의 설명력을 나타내는 $R^2$$0.132^{\sim}0.213$으로서 회귀모형의 설명력이 낮게 나타나고 있는 것은 계획수립뿐만 아니라 실행에 있어서 그 중요성을 보여주는 것으로 해석할 수 있다. 즉, 기업성과는 훌륭한 계획 하에서 훌륭한 실행이 뒷받침되어야 양호하게 산출될 수 있는 것이다. 본 연구는 그동안 개념적인 수준에 머무르고 있던 사업계획서의 구성요소와 기업성과와의 관계에 대한 실증적 연구라는 점에서 의의가 있다.

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오염수계 내 세슘 제거를 위한 대나무 활성탄의 흡착효율 규명 (Sorption Efficiency of the Bamboo Charcoal to Remove the Cesium in the Contaminated Water System)

  • 안정필;이민희
    • 자원환경지질
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    • 제51권2호
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    • pp.87-97
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    • 2018
  • 세슘은 물속에서 고상보다는 이온이나 착염 등 용존 형태로 존재하는 특성이 강하여, 오염 수계로부터 세슘 제거가 어려운 것으로 알려져 있다. 최근 많은 연구들이 수계 내에서 세슘의 제거효율이 높은 흡착제를 개발하는데 집중하고 있다. 본 연구에서는 대나무 활성탄을 흡착제로 사용하여 수계 내에 존재하는 세슘을 효과적으로 제거하는 실내실험을 실시하였다. 수용액으로부터 대나무 활성탄의 세슘 제거효율을 측정하고, 최적의 세슘 제거능을 가지는 흡착 조건을 도출하고자 다양한 조건에서 흡착 배치실험을 수행하였다. 국내에서 유통되고 있는 5 종류의 대나무 활성탄의 표면 특성을 SEM-EDS와 XRD 분석으로 규명하였으며, 이 중에서 비표면적이 큰 3 종류의 대나무 활성탄을 대상으로 세슘 제거 배치실험을 실시하였다. 다양한 초기 세슘 농도를 가지는 인공수(0.01~10 mg/L 범위)를 대상으로 대나무 활성탄에 의한 수용액 내 세슘 제거량을 측정하여 제거효율을 계산하였고, 두 종류의 흡착 등온식들을 흡착 배치실험 결과에 대응시켜 흡착 상수값을 결정함으로서, 대나무 활성탄의 세슘 흡착 특성을 규명하였다. FE-SEM 분석 결과, 대나무 활성탄은 표면이 다수의 기공을 포함하는 대나무의 섬유질 조직을 그대로 유지하는 입자들로 구성되어, 이들 섬유질 조직 내 다양한 형태의 기공들과 엽상조직 표면들이 주요 세슘 흡착공간인 것으로 밝혀졌다. 흡착 배치실험 결과, C type 대나무 활성탄의 세슘 제거효율이 가장 높았는데, 특히 수용액의 세슘 초기 농도가 1.0 mg/L 이하인 경우에도 75 % 이상(최고 82 %)을 나타내어, 원전사고 등에 의해 오염된 현장 지하수나 지표수(해수 포함)의 세슘농도가 대부분 1.0 mg/L 이하임을 고려하면, 실제 오염수 정화 가능성이 높을 것으로 밝혀졌다. 수용액의 온도는 $5-15^{\circ}C$ 범위, pH는 3-11 범위에서 높은 세슘 제거효율이 일정하게 유지되는 것으로 나타나 다양한 오염수에 적용할 수 있을 것으로 판단되었다. 흡착 배치실험 결과는 Langmuir 흡착모델과 유사하였으며, C type 대나무 활성탄의 최대흡착농도($q_m:mg/g$)값은 63.4 mg/g으로 기존의 상용화된 흡착제 값보다 높았고, 수용액의 초기 세슘 농도가 1.0 mg/L이하인 경우 표면흡착률(surface coverage) 값도 낮게 유지되어, 적은 양의 세슘으로 오염된 수계를 효과적으로 정화할 수 있음을 입증하였다.

비산재로 제조한 비료가 논토양 질과 벼 생육에 미치는 영향 (Effect of Fly Ash Fertilizer on Paddy Soil Quality and Rice Growth)

  • 오세진;윤현수;오승민;김성철;김록영;서영호;이기석;옥용식;양재의
    • Journal of Applied Biological Chemistry
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    • 제56권4호
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    • pp.229-234
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    • 2013
  • 석탄회는 B, Ca 등의 식물영양소를 함유하고 토양과 유사한 성분함량을 갖고 있어 농경지 토양의 비옥도 증가 및 개량을 위한 물질로 농업적으로 활용 가능성이 클 것으로 판단된다. 본 연구는 비산재를 과립형태로 제조하여 개량제로 시비하였을 때 논토양과 벼의 생육에 미치는 영향을 평가하였다. 시험구의 처리는 무처리구, 화학비료 처리구, 석탄회 시비구 2종으로 구성하였으며, 실제 농경지에 적용하였고, 벼 재배 후 토양의 특성 변화와 농작물의 수량 및 품질을 분석하였다. 벼 재배 후 개량제를 처리한 토양의 화학적 특성은 pH, EC 및 유기물 함량이 대조구와 큰 차이를 나타내지 않았다. 하지만 유효인산, 유효규산과 치환성 칼슘, 마그네슘의 함량은 대조구(127, $23mg\;kg^{-1}$; 1.18, $0.08cmol_+kg^{-1}$)보다 증가하여 유효인산과 유효규산은 최대 149와 $27mg\;kg^{-1}$, 치환성 양이온은 1.28과 $011cmol_+kg^{-1}$으로 관행시비와 비슷한 효율성을 나타냈다. 벼의 생육 측면에서 초장, 엽색도 분얼수는 개량제를 처리한 처리구에서 가장 높은 것으로 나타났고, 생산량 측면에서 통계적으로 유의성은 없지만 등숙률, 백미중이 개량제 처리에 따라 무비구에 비해 7% 수준 증가하였다. 또한 연구에서 사용한 화학적 첨가물을 함유한 개량제의 처리는 백미 중의 성분함량 중 T-N, $K_2O$$P_2O_5$ 함량을 증가시켰으며, 질소의 공급은 체내 단백질함량을 증가시키는데 도움을 준 것으로 나타났다. 토양 및 쌀 분석결과 유해중금속의 함량은 대조구와 비슷한 수준으로 나타나 안전성이 검증되었다. 본 연구의 결과를 토대로 석탄회를 농업 측면에서 재활용할 경우 토양과 작물에 유익한 환경을 제공할 수 있고, 자원의 재활용 측면에서 연구가치가 높을 것으로 판단된다.

이산화탄소 해양지중저장 처리를 위한 공정 설계: I. 수치계산을 통한 열역학 상태방정식의 비교 분석 (Process Design of Carbon Dioxide Storage in the Marine Geological Structure: I. Comparative Analysis of Thermodynamic Equations of State using Numerical Calculation)

  • 허철;강성길
    • 한국해양환경ㆍ에너지학회지
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    • 제11권4호
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    • pp.181-190
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    • 2008
  • 기후변화 및 교토의정서상의 온실가스 의무감축요구에 대응하기 위하여 발전소 및 제철소 등 대규모 발생원에서부터 포집한 $CO_2$를 파이프라인이나 선박 등을 통해 수송하고, 이를 해저 지질구조내 대규모로 수백-수천년 이상 장기간 저장 및 관리하는 $CO_2$ 해양지중저장기술이 국내외적으로 주목 받고 있다. $CO_2$ 해양지중저장 처리 시스템 설계를 수행하는데 있어 전산모사를 통한 공정 설계는 필수적이다. 즉, 수치 모델링을 통하여 $CO_2$ 해양지중저장 처리에 필요한 일련의 공정을 열역학 상태방정식 등을 이용하여 모사하는 것이다. 본 논문에서는 $CO_2$ 해양지중저장 처리를 위한 공정 설계에 사용되는 열역학 상태방정식들을 비교 분석하였다. 또한, 상태방정식 계산결과의 정확성을 평가하기 위하여 실험으로부터 구해진 데이터와 비교를 수행하였다. 이상기체 상태방정식과 SRK식은 $29.85^{\circ}C$, 60 bar 이상에서 밀도를 전혀 예측하지 못하였으며, 고온 고압의 초임계 상태에서 100% 내외의 오차를 보였다. BWRS 식은 임계온도 근처인 $29.55^{\circ}C$, 임계압력 근처인 $60{\sim}80\;bar$ 사이의 영역에서 실험값을 전혀 예측하지 못하고 최대 100%의 차이를 보였다. $CO_2$ 해양지중저장 처리의 저장지 조건인 온도 $31.1^{\circ}C$ 이상, 압력 73.9 bar 이상의 초임계 상태에서 PR 식과 PRBM 식은 실험값을 비교적 잘 예측하였다. 따라서 $CO_2$ 해양지중저장처리 공정 중 고온, 고압 영역에서는 상기 상태방정식을 이용한 공정 설계가 유용하다고 판단된다.

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해저 지질구조내 $CO_2$ 저장기술의 연구개발 동향 및 향후 국내 실용화 방안 (The Latest Progress on the Development of Technologies for $CO_2$ Storage in Marine Geological Structure and its Application in Republic of Korea)

  • 강성길;허철
    • 한국해양환경ㆍ에너지학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.24-34
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    • 2008
  • 지구 온난화를 완화하기 위한 온실가스 대량 감축 기술의 하나로써 이산화탄소 포집 및 저장기술(Carbon dioxide Capture and Storage; CCS)이 최근 국제적으로 주목받고 있다. 본 논문에서는 CCS 기술 중 대규모의 $CO_2$를 해양의 퇴적층에 저장하고자 하는 $CO_2$ 해양지중저장기술을 중점으로 하여 국내외 관련 연구개발동향을 분석하고 이를 토대로 향후 국내 실용화 방안을 제안하고자 한다. '해저 지질구조내 $CO_2$ 저장기술은 $CO_2$ 해양지중저장기술)'은 지구 온난화 주범인 $CO_2$의 40% 가량이 배출되는 대규모 발생원 (발전소 등)에서 포집된 $CO_2$를 초임계상태나 액체 상태로 가압하여 파이프라인이나 선박 등을 통해 수송한 후, 최종적으로 해양의 퇴적층에 대규모로 수백-수천년 이상 장기간 저장 및 관리하는 기술을 말한다. $CO_2$ 해양지중저장 기술개발을 위해서는 저장후보지 탐색 및 저장공간내 $CO_2$ 거동 모니터링과 관련한 $CO_2$ 해양지중저장 기반기술, 포집된 $CO_2$를 선박 또는 파이프라인으로 수송하여 저장지에 주입시키는데 요구되는 제반 플랜트 및 설비구축과 관련한 $CO_2$ 해양플랜트 설비기술, 그리고 주입과정 또는 사후에 발생할 수 있는 $CO_2$노출 가능성과 환경에의 잠재적 영향을 평가하여 환경안정성이 담보된 $CO_2$저장이 되도록 하는 $CO_2$해양환경평가기술 등 3개 세부분야에 대한 연구가 요구된다. 국내에서 $CO_2$ 저장기술은 2005년부터 해양수산부 연구사업으로 한국해양연구원이 본격적으로 연구개발을 추진하였으며, 본 사업에서는 2005년부터 2009년까지 핵심 기반기술을 개발하고, 2010년부터 2014년까지 1만톤급 파일롯 저장을 통한 개발기술의 실증을 목표로 하고 있다. 이를 토대로 2015년부터 발전소 또는 제철소 $CO_2$ 포집기술과 연계하여 민간주도로 동해가스전 등을 대상으로 하여 보급형 100만톤급 $CO_2$ 저장을 추진할 필요가 있다. 이를 통해 향후 2050년까지 연간 1억톤 $CO_2$를 처리하여 매년 2조원 이상의 환경비용을 절감하는 국내 실용화 방안을 모색하고 있다.

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스퍼터링 증확 CdTe 박막의 두께 불균일 현상 개선을 위한 화학적기계적연마 공정 적용 및 광특성 향상 (Application of CMP Process to Improving Thickness-Uniformity of Sputtering-deposited CdTe Thin Film for Improvement of Optical Properties)

  • 박주선;임채현;류승한;명국도;김남훈;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.375-375
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    • 2010
  • CdTe as an absorber material is widely used in thin film solar cells with the heterostructure due to its almost ideal band gap energy of 1.45 eV, high photovoltaic conversion efficiency, low cost and stable performance. The deposition methods and preparation conditions for the fabrication of CdTe are very important for the achievement of high solar cell conversion efficiency. There are some rearranged reports about the deposition methods available for the preparation of CdTe thin films such as close spaced sublimation (CSS), physical vapor deposition (PVD), vacuum evaporation, vapor transport deposition (VTD), closed space vapor transport, electrodeposition, screen printing, spray pyrolysis, metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD), and RF sputtering. The RF sputtering method for the preparation of CdTe thin films has important advantages in that the thin films can be prepared at low growth temperatures with large-area deposition suitable for mass-production. The authors reported that the optical and electrical properties of CdTe thin film were closely connected by the thickness-uniformity of the film in the previous study [1], which means that the better optical absorbance and the higher carrier concentration could be obtained in the better condition of thickness-uniformity for CdTe thin film. The thickness-uniformity could be controlled and improved by the some process parameters such as vacuum level and RF power in the sputtering process of CdTe thin films. However, there is a limitation to improve the thickness-uniformity only in the preparation process [1]. So it is necessary to introduce the external or additional method for improving the thickness-uniformity of CdTe thin film because the cell size of thin film solar cell will be enlarged. Therefore, the authors firstly applied the chemical mechanical polishing (CMP) process to improving the thickness-uniformity of CdTe thin films with a G&P POLI-450 CMP polisher [2]. CMP process is the most important process in semiconductor manufacturing processes in order to planarize the surface of the wafer even over 300 mm and to form the copper interconnects with damascene process. Some important CMP characteristics for CdTe were obtained including removal rate (RR), WIWNU%, RMS roughness, and peak-to-valley roughness [2]. With these important results, the CMP process for CdTe thin films was performed to improve the thickness-uniformity of the sputtering-deposited CdTe thin film which had the worst two thickness-uniformities of them. Some optical properties including optical transmittance and absorbance of the CdTe thin films were measured by using a UV-Visible spectrophotometer (Varian Techtron, Cary500scan) in the range of 400 - 800 nm. After CMP process, the thickness-uniformities became better than that of the best condition in the previous sputtering process of CdTe thin films. Consequently, the optical properties were directly affected by the thickness-uniformity of CdTe thin film. The absorbance of CdTe thin films was improved although the thickness of CdTe thin film was not changed.

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