In this study, residual stress distribution in multi-stacked film by MEMS (Micro-Electro Mechanical System) process is predicted using Finite Element method (FEM). We evelop a finite element program for residual stress analysis (RESA) in multi-stacked film. The RESA predicts the distribution of residual stress field in multi-stacked film. Curvatures of multistacked film and single layers which consist of the multi-stacked film are used as the input to the RESA. To measure those curvatures is easier than to measure a distribution of residual stress. To verify the RESA, mean stresses and stress gradients of single and multi layers are measured. The mean stresses are calculated from curvatures of deposited wafer by using Stoney's equation. The stress gradients are calculated from the vertical deflection at the end of cantilever beam. To measure the mean stress of each layer in multi-stacked film, we measure the curvature of wafer with the left film after etching layer by layer in multi-stacked film.
A system identification is to estimate the mathematical model on the base of input output data and to measure the output in the presence of adequate input for the controlled system. In the traditional system control field, most identification problems have been thought as estimating the unknown modeling parameters on the assumption that the model structures are fixed. In the system identification, it is possible to estimate the true parameter values by the adjusted least squares method in the input output case of no observed noise, and it is possible to estimate the true parameter values by the total least squares method in the input output case with the observed noise. We suggest the adjusted least squares method as a consistent estimation method in the system identification in the case where there is observed noise only in the output. In this paper the adjusted least squares method has been developed from the least squares method and the efficiency of the estimating results was confirmed by the generating data with the computer simulations.
International journal of advanced smart convergence
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v.1
no.1
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pp.6-13
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2012
An improved algorithm for image quality assessment is presented. First a simple model of human visual system, consisting of a nonlinear function and a 2-D filter, processes the input images. This filter has one user-defined parameter, whose value depends on the reference image. This way the algorithm can adapt to different scenarios. In the next step the average value of locally computed correlation coefficients between the two processed images is found. This criterion is closely related to the way in which human observer assesses image quality. Finally, image quality measure is computed as the average value of locally computed correlation coefficients, adjusted by the average correlation coefficient between the reference and error images. By this approach the proposed measure differentiates between the random and signal dependant distortions, which have different effects on human observer. Performance of the proposed quality measure is illustrated by examples involving images with different types of degradation.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.26
no.3
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pp.32-39
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2009
A new discrete time gain-scheduled control design is proposed to improve disturbance attenuation for systems with bounded control input under known disturbance maximum norm. The state feedback gains are scheduled according to the proximity of the state of the plant to the origin. The controllers are derived in the framework of linear matrix inequality(LMI) optimization. This procedure yields a linear time varying control structure that allows higher gain and hence higher performance controllers as the state moves closer to the origin. The main results give sufficient conditions for the satisfaction of a parameter-dependent performance measure, without violating the bounded control input condition under the given disturbance maximum norm.
In the control system $ \dot{x} = f(t,x(t)) + g(t,x(t))\dot{u}, x(0) = \bar{x}, t \in [0,T], $ this paper shows that the map from u with $L^1(m)$-topology to $x_u$ with $L^1(\mu)$-topology is Lipschitz continuous where f is $C^1$, $\mu$ is the Stieltjes measure derived from the function g which is not smooth in the variable t and $x_u$ is the solution of the above system corresponding to u under the assumption that $\dot{u}$ is bounded.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.23
no.6
s.183
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pp.81-87
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2006
A new gain-scheduled control design is proposed to improve disturbance attenuation for systems with bounded control input. The state feedback controller is scheduled according to the proximity to the origin of the state of the plant. The controllers is derived in the framework of linear matrix inequality(LMI) optimization. This procedure yields a linear time varying control structure that allows higher gain and hence higher performance controllers as the state move closer to the origin. The main results give sufficient conditions for the satisfaction of a parameter-dependent performance measure, without violating the bounded control input condition.
The purpose of this paper is to measure the productive efficiency and competitive strength of Regional Maritime Affairs and Fisheries Office using the DEA. Using EMS(Efficiency Measurement System) which is LP solver, quantifies in one way or another a "distance" to the efficient frontier of the technology. An input oriented measure quantifies the input reduction which is necessary to become efficient holding the output constant. Symmetrically, an output oriented measure quantifies the necessary to become efficient holding the inputs constant. A non-oriented measure quantifies necessary improvements when both inputs and outputs can be improved simultaneously. According to the analysis result of the DEA method, inefficient Regional Maritime Affairs and Fisheries Office should recommend benchmarking reference Regional Maritime Affairs and Fisheries Office in order to enhance the productive efficiency of port administration and a public institution. Besides data on productive efficiency serves as a tool for policy-makers at all levels of activity and is essential for improving the efficiency with which the various systems operate.
Spool displacement of a direction control valve is the standard signal to measure the bandwidth frequency of the direction control valve. When the spool displacement signal is not available, it is suggested in this study to use the metering hydraulic line as an alternative way to measure - 90 degree phase bandwidth frequency of the hydraulic direction control valve. Dynamics of the hydraulic line is composed of inertia, capacitance, and friction effects. The effect of oil inertia is dominant in common hydraulic line dynamics and the line dynamics is close to a derivative action in a range of high frequency; such as a range of bandwidth frequency of common directional control valves. Phase difference between spool displacement and line load pressure is nearly constant as a valve close to 90 degree. If phase difference is compensated from the phase between valve input and pressure, compensated phase may be almost same as the phase of spool displacement that is a standard signal to measure phase bandwidth frequency of the directional control valve. A series of experiments were conducted to examine the possibility of using line pressure in to measure phase bandwidth frequency of a directional control valve. Phase bandwidth frequency could be measured with relatively high precision based on metering hydraulic line technique and it reveals consistent results even when valve input, oil temperature, and supply pressure change.
Kim, Woo-Chan;Chang, Jin-Wook;Kwon, Hoon;Lee, Won Joo;Kwak, Ho-Young
Journal of the Korea Society of Computer and Information
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v.27
no.11
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pp.191-198
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2022
The most basic thing to measure the condition of a companion animal is to check the breathing and pulse. There are several methods to measure the breathing and pulse of a companion animal, and the PPG method is generally used to measure the oxygen saturation (SpO2) in a companion animal. However, since the input PPG signal is inputted with various information as well as oxygen saturation, it is necessary to separate and extract oxygen saturation information from the PPG signal in order to measure the oxygen saturation. Therefore, in this paper, a wearable measuring device for companion animals that can be measured by applying the PPG method was designed and implemented, and an algorithm for separating oxygen saturation information from the PPG signal input through the wearable measuring device was proposed.
International Journal of Control, Automation, and Systems
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v.4
no.4
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pp.438-447
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2006
Fuzzy controller's design depends mainly on the rule base and membership functions over the controller's input and output ranges. This paper presents two different approaches to deal with these design issues. A simple and efficient approach; namely, Fuzzy Subtractive Clustering is used to identify the rule base needed to realize Fuzzy PI and PD type controllers. This technique provides a mechanism to obtain the reduced rule set covering the whole input/output space as well as membership functions for each input variable. But it is found that some membership functions projected from different clusters have high degree of similarity. The number of membership functions of each input variable is then reduced using a similarity measure. In this paper, the fuzzy subtractive clustering approach is shown to reduce 49 rules to 8 rules and number of membership functions to 4 and 6 for input variables (error and change in error) maintaining almost the same level of performance. Simulation on a wide range of linear and nonlinear processes is carried out and results are compared with fuzzy PI and PD type controllers without clustering in terms of several performance measures such as peak overshoot, settling time, rise time, integral absolute error (IAE) and integral-of-time multiplied absolute error (ITAE) and in each case the proposed schemes shows an identical performance.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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