Fabrication of Hydrogel and Gas Permeable Membranes for FET Type Dissolved $CO_{2}$ Sensor by Photolithographic Method
(사진식각법을 이용한 FET형 용존 $CO_{2}$ 센서의 수화젤막 및 가스 투과막 제작)
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- Journal of Sensor Science and Technology
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- v.6 no.3
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- pp.207-213
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- 1997