• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제11권12호
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• pp.1084-1090
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• 1998

As device sizes are scaled down to submicron dimensions, planarization technology becomes increasingly important for both device fabrication and formation of multilevel interconnects. Chemical mechanical polishing (CMP) has emerged recently as a new processing technique for achieving a high degree of planarization for submicron VLSI applications. The polishing process has many variables, and most of which are not well understood. The factors determine the planarization performance are slurry and pad type, insert material, conditioning technique, and choice of polishing tool. Circuit density, pattern size, and wiring layout also affect the performance of a CMP planarization process. This paper presents the results of studies on CMP process window characterization for 0.35 micron process with 5 metal layers.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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• pp.173-176
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• 1999

Continuing improvement of microprocessor performance involves in the devece size. This allow greater device speed, an increase in device packing density, and an increase in the number of functions that can reside on a single chip. However this has led to propagation delay, crosstalk noise, and power dissipation due to resistance-capacitance(RC) coupling become significant due to increased wiring capacitance, especially interline capacitance between the metal lines on the same metal level. Becase of pattering MSSQ (Methylsilsequioxane), we use RIE(Reactive ton Etching) which is a good anisotrgpy. In this study, according as we control a flow rate of CF$_4$/O$_2$ gas, RF power, we analysis by using ${\alpha}$ -step, SEM and AFM,

• 한국산학기술학회논문지
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• 제22권5호
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• pp.22-33
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• 2021

태양광전원이 설치된 배전선로의 단선 등으로 결상사고가 발생하는 경우, 연계용변압기의 철심형태 및 결선 방법에 따라 여러 가지 문제점이 발생할 가능성이 있다. 즉, 단선사고 발생 시 태양광전원 인버터의 단독운전 방지기능에 따라 결상을 감지하여 발전을 정지해야 하지만, 결상을 인지하지 못하고 계속 발전하는 사례가 보고되고 있으며, 연계용 변압기의 역조류 현상으로 인해 결상된 상으로 전원을 공급하여 계통에 악영향을 주는 문제점이 발생하고 있다. 하지만, 기존의 결상사고 보호계전기(Open Phase Relay, 47)는 태양광전원 연계용변압기의 결선방식과 철심형태에 따라 결상된 상에 전압이 유지될 수 있어서, 결상사고 검출이 어려워, 새로운 결상사고 검출 알고리즘이 요구되고 있다. 따라서, 본 논문에서는 전류비교방식의 개념을 이용하여, 연계용변압기 1, 2차측의 전류와 위상을 비교하여 결상사고를 검출하는 새로운 개념의 알고리즘을 제안한다. 또한, 전력계통 상용해석 프로그램인 PSCAD/EMTDC를 이용하여 수배전반, 저압배전선로, 부하, 연계용변압기, 태양광전원으로 구성된 배전계통과 결상사고 검출 보호장치의 모델링을 수행하고, 이를 바탕으로 결상사고 검출 보호장치를 구현한다. 상기의 모델링과 결상사고 검출 알고리즘을 바탕으로 태양광전원 연계용 변압기의 결선방식과 철심구조에 따라 결상사고 검출 보호장치의 특성을 분석한 결과, 결상 시 연계용변압기의 동작 기울기와 1차측 전류 불평형률이 보호장치의 정정 값(30[%])을 초과함에 따라 결상사고가 정확하게 검출되어, 제안한 알고리즘이 결상사고 보호방식에 유용함을 알 수 있었다.

• 한국컴퓨터정보학회논문지
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• 제22권8호
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• pp.1-7
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• 2017

In this paper, we proposed the test equipment that can perform separate performance tests to mass-produce the Automatic Test Equipment. Until now, the performance test of the ATE has been performed after it has been assembled perfectly. It is possible to perform the performance test only when the external device manufacturing and setting of measurement resources and the internal wiring work have been completed. So we have been studying test equipment that separately tested the switching devices that played a key role in the performance of the ATE. To build the test equipment, we reviewed the circuit card assemblies that make up the switching devices. We designed a test equipment that satisfies the performance test and apply the completed test equipment to the actual production process to analyze whether it was effective in improving the time and workability of the performance test. The test equipment has the advantage that it can be used universally in the mass production process of ATE with the same type of switching device.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
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• pp.2102-2103
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• 2008

The major causes of electrical fire are classified to short circuit fault, overload fault, electric leakage and electric contact failure. The occurrence factor of the fire is electric arc or spark accompanied with electrical faults. Residual Current Protective Device(RCD) of high sensitivity type used at low voltage wiring cuts off earth leakage and overload, but the RCD can't cut off electric arc or spark to be a major factor of electrical fire. As the RCDs which are applied low voltage distribution panel are prescribed to rated breaking time about 30[ms](KS C 4613), the RCDs can't perceive to the periodic electric arc or spark of more short wavelength level. To be improved on such problem, this paper is proposed to a electrical fire disaster prevention device(EFDPD) for a RCD trip or a self circuit-breaking function on electric arc or spark due to electrical fire. Some experimental results of the proposed apparatus is confirmed to the validity of the analytical results.

• 전기학회논문지
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• 제56권11호
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• pp.1925-1929
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• 2007

This paper is studied on a novel Electric Safety Protection Device (ESPD) of high speed for incapable operation of Earth Leakage Circuit Breaker (ELB) and Molded_case Circuit Breaker (MCCB) using the low voltage distribution line. The major causes of electrical fire are classified to short circuit fault, overload fault, electric leakage and electric contact failure. The occurrence factor of the fire is electric arc or spark accompanied with electrical faults. Residual Current Protective Device (RCD), that is ELB and MCCB, of high sensitivity type used at low voltage wiring cuts off earth leakage and overload, but the RCD can't cut off electric arc or spark to be a major factor of electrical fire. As the RCDs which are applied low voltage distribution panel are prescribed to rated breaking time about 30[ms] (KS C 4613), the RCDs can't perceive to the periodic electric arc or spark of more short wavelength level. To be improved on such problem, this research development is proposed to a novel ESPD of high speed to trip of distribution line on electric arc or spark due to electrical fire. Some experimental results of the proposed ESPD are confirmed to the validity of the analytical results.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제18권2호
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• pp.90-99
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• 2004

고도 정보화 사회의 발달과 함께 정보통신 설비는 빠른 전송속도를 필요로 하며, 지능형 산업설비와 행정, 금융, 교통시스템과 같은 사회시스템은 집적회로와 초소형 반도체로 구성되므로 원격감시, 조작에 의해 점차적으로 자동화 되어가고 있다. 이와 같은 현대의 초소형 전자회로는 뇌 서지에 의해 흔히 손상을 입을 수 있으며, 뇌 과전압으로부터 전자회로의 보호에 관심이 집중되고 있다. 본 논문은 일반주택에서 뇌 서지로부터 초소형 컴퓨터와 같은 전자기기의 효과적인 보호방법을 제안하기 위하여 전원계통의 접지방식에 따른 서지보호기의 보호효과를 실험적으로 분석하였다. 또한 서지보호기의 효과적인 설치방법을 조사하고 제안하였다. 기존의 설비에 추가적으로 서지보호기를 설치하는 것은 서지보호기까지의 긴 접속선으로 인한 인덕턴스 때문에 높은 잔류전압이 나타난다. 서지보호기의 설치에 있어 두 접속선을 꼬는 방법이 급격하게 상승하는 과도과전압에 매우 효과적이다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제21권1호
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• pp.35-41
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• 2007

최근 고품질의 정보통신서비스와 안정한 전력공급에 대한 사회적 요구가 증가하고 있다. 본 연구에서는 뇌서지로부터 정보통신설비를 효과적으로 보호하는 대책을 제안하기 위해서 실규모 실험회로를 적용하여 여러 가지 설치조건에 따른 서지보호기의 보호효과를 실험적으로 조사하였다. 그 결과 전원계통의 접지방식, 분기회로의 수, 접지선의 배선방법 등에 따라 서지보호기의 보호효과는 크게 다른 것으로 밝혀졌다. 정보화 기기용 서지보호기를 설치하는 경우, 전원선과 통신선을 포함하는 공통접지방식과 접지선을 전원선과 일괄하여 금속관 내에 배선하는 것이 서지보호기의 서지차단성능의 향상에 가장 효과적이었다.

• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 제어로봇시스템학회 2004년도 ICCAS
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• pp.753-757
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• 2004

This paper describes a PC-based distributed multi-rate realtime control system using USB protocol, which is developed as a general motion controller. The control system consists of two control programs: one running at 1 kHz sampling rate on a PC with Linux and another running at 10 kHz sampling rate on a remotely located motion control card called RASID (remote axis serial interface device). Two programs communicates through USB at every 1 msec. A USB communication driver is developed to ensured the 1 msec desired communication time. The main program running on the PC generates reference trajectory at 1 kHz and send it to the RASID through USB and RASIDs located near the motors gather the sensor information and execute the low-level control at 10 kHz. The USB-based connectivity reduces the wiring harness and eventually the manufacturing cost of the machine. The multi-rate nature of the developed system improves the control capability. The effect of sampling rate is analyzed and simulated.

• 한국전자통신학회논문지
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• 제8권8호
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• pp.1143-1148
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• 2013

본 논문에서는 가정용 계량기의 데이터를 PC로 모니터링할 수 있도록, 전력선 통신(PLC : Power Line Communication) 모뎀과 데이터 수집 장치 (DCU : Data Concentrator Unit)를 적용한 시스템을 구현하였다. 전력선 통신 모뎀은 기존의 전력선에 데이터를 실어 보내는 기술로 별도의 신호선 설치에 대한 부담을 개선한다. 본 시스템은 가정용 계량기의 데이터를 수집하여, 각 가정의 전, 현 월 사용 전력량을 서버용 PC로 확인하여 요금 관리, 고장 관리를 편리하도록 한다.