RF 스퍼터링법에 의한 (SrCa)Ti $O_3$ 세라믹 박막의 제초 및 미세구조
(Fabrication and microstructure of (Sr .Ca)Ti $O_3$ Ceramic Thin Films by RF Sputtering Method-)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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- pp.189-193
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- 1997