Semiconductor Wet Station has a very important place in semiconductor process. It is important that to discharge chemical with fit concentration and temperature using chemical supply system for clean process. The chemical supply system which is used currently is not only difficult to make a fit mixing rate of chemical which is need in clean' process, but also difficult to make fit concentration and temperature. Moreover, it has high stability but it is inefficient spatially because its volume is great. We propose In-line System to improve system with implement analysis of fluid and thermal transfer on chemical supply system and understand problem of system.
The wafer's size has been increased up to 300mm according as the devices have been integrated sophisticatedly. For this process to make 300mm-wafer, it is required strict level which removes the particulates on the surface of wafer. Therefore we need new type wet-station which can reduce DI water and chemical in the cleaning process. Moreover, it is very important to control the temperature and the concentration of chemical wet-stat ion. The chemical supply system which is used currently is not only difficult to make a fit mixing rate of chemical in cleaning process, but also it is difficult to make fit quantity and temperature. We propose new chemical supply system, which overcomes the problems via analysis of fluid and thermal transfer on chemical supply system,
With an increase in the use of low rank coals in power plants, various operational issues were raised in the fuel storage and supply, combustion, boiler and flue gas treatment systems. In the fuel storage and supply system, the main issue is the self-heating propensity of low rank coals leading to spontaneous combustion in yard storage, transport and pulverization. This study evaluated the reactivity of various sub-bituminous and bituminous coals with oxygen at low temperatures by analyzing the temperature increase characteristics of coals under a constant flow rate of oxygen supply. The results were quantified to a self-heating index and the relation with the fuel properties were evaluated.
Various thermostatic valves have been used widely in Korea for conservation of heating energy and enhancement of thermal comfort in residential buildings. But heating control performances of thermostatic valves extensively vary with the design and operational conditions of the heating system, climate condition and others. An experimental method was carried out in this study to analyze heating control characteristics by temperature sensing methods of thermostatic valves for various parameters, such as supply temperatures and flow rate of hot water, the position of room thermostats and outdoor air temperatures. As a result, the heat flow rate per day of S-Valve($34^{\circ}C$-Type) of water temperature sensing method was liked that of C-Valve of indoor air temperature sensing method with stage 3.3 of room thermostat in case supply temperature of hot water was $45^{\circ}C$, flow rate was 1.3 L/min and outdoor air temperature was $7.8^{\circ}C$.
To improve the performance of diesel automobile engine, we designed new fuel supply system named ultrasonic fuel supply system. The performance test of diesel automobile engine carried out to examine possibility of practical use of ultrasonic fuel supply system to test engine. This paper deals with the comparative results of performance test of diesel automobile engine in terms of smoke, HC, SFC, PS, thermal, efficiency, torque. Following are obtained result. 1) In naturally aspirated diesel engine, when we use ultrasonic fuel supply system output, fuel consumptions are improved and exhaust gas reduced significantly. 2) In turbo-charging diesel engine both using of ultrasonic fuel supply system and using of conventional injector, engine performance and exhaust gas temperature are almost constant. 3) In turbo-charging diesel engine, when we use ultrasonic fuel supply system, NOx are emitted approximately 3.5% higher than total average. 4) In turbo-charging diesel engine, when we use ultrasonic fuel supply system, smoke and CO are 17% and 11.8% improved respectively.
태양열 에너지의 효율적인 이용과 자동화 장치의 개발을 목표로 지중가온의 온도변화 특성을 실험. 분석한 결과는 다음과 같다. 1) 10월 13일의 1일 하우스 내기온이 주야간에 24$^{\circ}C$의 차이가 있으며, 무가온시 지온변화는 지중 10 m 부근에서 6$^{\circ}C$, 지중 20 cm 부근에서는 3$^{\circ}C$정도의 차이를 보이고 있다. 2) 20시경에 내기온과 지온차가 가장 작은 것으로 나타났으며, 지중 20 cm 부근의 온도변화는 내기온이 가장 낮은 오전 7시부터 약 3시간이 경과된 오전 10시에 최저가 되었다 3) 가온수의 온도를 4$0^{\circ}C$, 5$0^{\circ}C$, 6$0^{\circ}C$로 변화하였을 때 지중 10 cm의 최저은도는 약 2$0^{\circ}C$ 지중 20 cm의 최저온도는 약 23$^{\circ}C$로 나타나 가온온도가 4$0^{\circ}C$ 이상일 경우 가온온도에 따른 지중 10~20 cm사이의 온도차는 매우 작았다. 4) 지중 15~20 cm의 지온이 2$0^{\circ}C$가 되기 위해서는 가온수의 온도를 4$0^{\circ}C$ 이하가 되도록 설정하여야한다. 5) 가온수의 온도가 4$0^{\circ}C$, 5$0^{\circ}C$, 6$0^{\circ}C$이고 파이프 매설 깊이가 12 m일 경우 유입구와 유출구의 1일 평균온도차는 4$0^{\circ}C$일 경우 3.5$^{\circ}C$ 5$0^{\circ}C$일 경우 4.4$^{\circ}C$, 6$0^{\circ}C$일 경우 5.4$^{\circ}C$정도로 이 구간에서 온도변화식은 T = 0.09591T+2.5451($R^2$= 0.9966)로 거의 선형적으로 변화하였다. 6) 가온수 온도가 4$0^{\circ}C$의 경우 지중 15~20 cm, 5$0^{\circ}C$의 경우는 지중 13~19 cm, 6$0^{\circ}C$의 경우는 12~17 cm 부근이 경계영역으로 판단되었다. 7) 재배기간중 하우스 내기온을 11$^{\circ}C$ 이상으로 유지하고, 가온수의 온도를 28$^{\circ}C$로 순환 결과 지중 15 cm 이하에서 최저지온를 2$0^{\circ}C$ 이상의 온도를 유지할 수 있어 저온수공급에 의한 온도상승효과가 뚜렷이 나타났다. 8) 가온수의 온도를 28$^{\circ}C$로 하여 지중가온 한 결과 지중 15~20 cm사이에 온도변화는 무가온구에 비하여 공히 4$^{\circ}C$~7$^{\circ}C$가 상승되었다.
Geothermal effects on the underground water conveyance pipe system have been investigated through the multiregional water supply system from Paldang water intake station. To make an investigation of raw water thermal energy, temperature sensors are installed the surface of the pipes of metropolitan area water supply system. In 2009 winter and early spring seasons, the monthly averaged temperatures at Paldang 2 intake stations are $1.94^{\circ}C$ in February, $4.96^{\circ}C$ in March, and $10.56^{\circ}C$ in April. After the transfer in 26.0 km distance of tunnel and buried pipe, the raw water temperatures are raised to $3.13^{\circ}C$, $6.04^{\circ}C$, and $11.39^{\circ}C$ respectively. As the temperature difference between the raw water and the air reduces, the temperature increasement is reduced by $1.19^{\circ}C$ in Feb., $1.08^{\circ}C$ in Mar., and $0.83^{\circ}C$ in Apr. Since the flowrate is over 1,150,000 $m^3$/day, it is estimated that the water exchanges a huge amount of heat over 1.0 Tcal a day with the ground.
Anodic bonding process has been quantitatively evaluated based on the Taguchi analysis of the interfacial fracture toughness, measured at the interface of anodically bonded silicon-glass bimorphs. A new test specimen with a pre-inserted blade has been devised for interfacial fracture toughness measurement. A set of 81 different anodic bonding conditions has been generated based on the three different conditions for four different process parameters of bonding load, bonding temperature, anodic voltage and voltage supply time. Taguchi method has been used to reduce the number of experiments required for the bonding strength evaluation, thus obtaining nine independent cases out of the 81 possible combinations. The interfacial fracture toughness has been measured for the nine cases in the range of 0.03∼6.12 J/㎡. Among the four process parameters, the bonding temperature causes the most dominant influence to the bonding strength with the influence factor of 67.7%. The influence factors of other process parameters, such as anodic voltage and voltage supply time, bonding load, are evaluated as 18%, 12% and 2.3%, respectively. The maximum bonding strength of 7.23 J/㎡ has been achieved at the bonding temperature of 460$\^{C}$ with the bonding load of 45gf/㎠, the applied voltage of 600v and the voltage supply time of 25minites.
This study investigated the symptoms of the a reduction in output while driving on the road, or increasing of fumer out exhaust gas on inclined road while working air-conditioner in summer. Notice how the experiment in 2010, the Ministry of Environment(Chapter No. 2010-46), and how the vehicle emissions inspection was carried out. 2500cc Diesel cars used in the study were used and compare to output of engine, exhaust gas, inhalation temperature measurement Inhalation of cold air has not been supplied to all agencies when comparing the results when cold air intake temperature of the supply air-conditioning switch range control from 1 to 4, the temperature drops $98^{\circ}C$ to $78^{\circ}C$. At the momentum of switch level 4, output from 63ps to 66ps after the connection has increased 9.6 percent, the highest concentration of exhaust emissions were reduced by 42.8%. This research can contribute in part to the reduction of exhaust directly supply into the cooling air intake line, doing the output of diesel cars in the summer. In addition, construction equipment and machinery that are currently being used excluding the engine's intercooler cooling of the supply line via a separate output in the summer and help reduce exhaust emissions is expected.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제16권4호
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pp.528-533
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2016
A low voltage high PSRR CMOS Bandgap circuit capable of generating a stable voltage of less than 1 V (0.8 V and 0.5 V) robust to Process, Voltage and Temperature (PVT) variations is proposed. The high PSRR of the circuit is guaranteed by a low-voltage current mode regulator at the central aspect of the bandgap circuitry, which isolates the bandgap voltage from power supply variations and noise. The isolating current mirrors create an internal regulated voltage $V_{reg}$ for the BG core and Op-Amp rather than the VDD. These current mirrors reduce the impact of supply voltage variations. The proposed circuit is implemented in a $0.35{\mu}m$ CMOS technology. The BGR circuit occupies $0.024mm^2$ of the die area and consumes $200{\mu}W$ from a 5 V supply voltage at room temperature. Experimental results demonstrate that the PSRR of the voltage reference achieved -118 dB at frequencies up to 1 kHz and -55 dB at 1 MHz without additional circuits for the curvature compensation. A temperature coefficient of $60 ppm/^{\circ}C$ is obtained in the range of -40 to $120^{\circ}C$.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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