• 제목/요약/키워드: Single-step process

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Fabrication Technology of the Focusing Grating Coupler using Single-step Electron Beam Lithography

  • Kim, Tae-Youb;Kim, Yark-Yeon;Han, Gee-Pyeong;Paek, Mun-Cheol;Kim, Hae-Sung;Lim, Byeong-Ok;Kim, Sung-Chan;Shin, Dong-Hoon;Rhee, Jin-Koo
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제3권1호
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    • pp.30-37
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    • 2002
  • A focusing grating coupler (FGC) was not fabricated by the 'Continuous Path Control'writing strategy but by an electron-beam lithography system of more general exposure mode, which matches not only the address grid with the grating period but also an integer multiple of the address grid resolution (5 nm). To more simplify the fabrication, we are able to reduce a process step without large decrease of pattern quality by excluding a conducting material or layer such as metal (Al, Cr, Au), which are deposited on top or bottom of an e-beam resist to prevent charge build-up during e-beam exposure. A grating pitch period and an aperture feature size of the FGC designed and fabricated by e-beam lithography and reactive ion etching were ranged over 384.3 nm to 448.2 nm, and 0.5 $\times$ 0.5 mm$^2$area, respectively. This fabrication method presented will reduce processing time and improve the grating quality by means of a consideration of the address grid resolution, grating direction, pitch size and shapes when exposing. Here our investigations concentrate on the design and efficient fabrication results of the FGC for coupling from slab waveguide to a spot in free space.

일메나이트 중 철의 선택적 염화와 선광된 TiO2의 추가 염화반응에 대한 글로벌 피팅함수 (Global Fitting Functions for Kinetics of Fe-Selective Chlorination in Ilmenite and Successive Chlorination of Beneficiated TiO2)

  • 정동규;원용선;김용하;정은진;송덕용
    • 한국재료학회지
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    • 제29권7호
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    • pp.412-424
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    • 2019
  • Global fitting functions for Fe-selective chlorination in ilmenite($FeTiO_2$) and successive chlorination of beneficiated $TiO_2$ are proposed and validated based on a comparison with experimental data collected from the literature. The Fe-selective chlorination reaction is expressed by the unreacted shrinking core model, which covers the diffusion-controlling step of chlorinated Fe gas that escapes through porous materials of beneficiated $TiO_2$ formed by Fe-selective chlorination, and the chemical reaction-controlling step of the surface reaction of unreacted solid ilmenite. The fitting function is applied for both chemical controlling steps of the unreacted shrinking core model. The validation shows that our fitting function is quite effective to fit with experimental data by minimum and maximum values of determination coefficients of $R^2$ as low as 0.9698 and 0.9988, respectively, for operating parameters such as temperature, $Cl_2$ pressure, carbon ratio and particle size that change comprehensively. The global fitting functions proposed in this study are expressed simply as exponential functions of chlorination rate(X) vs. time(t), and each of them are validated by a single equation for various reaction conditions. There is therefore a certain practical merit for the optimal process design and performance analysis for field engineers of chlorination reactions of ilmenite and $TiO_2$.

RFID 요킹증명을 위한 인접태그 정보 획득 기법 (A Tag Proximity Information Acquisition Scheme for RFID Yoking Proof)

  • 함형민
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제19권9호
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    • pp.476-484
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    • 2019
  • RFID 요킹증명은 한 쌍의 태그가 동시에 스캔 되었는지를 증명한다. 단일 리더에 의해 동시에 스캔 된 태그들은 서로 인접해 있기 때문에, 요킹증명은 태그가 부착된 객체들의 물리적 인접성을 검사해야 하는 응용에서 사용된다. 현재까지 제안된 대부분의 요킹증명 기법들은 인접한 태그에 관한 사전정보가 필수적이다. 만약 인접한 태그에 관한 정보를 수집하는 과정에서 오류가 발생하면, 이후의 증명들은 모두 검증에 실패하게 된다. 그러나 현재까지 인접한 태그에 관한 정보를 얻기 위한 구체적인 방법을 제시한 연구는 아직 없다. 이 연구에서 나는 요킹증명 기법을 위한 인접태그 정보 획득 기법인 TPIA을 제안한다. 제안기법은 스캐닝영역 결정과 스캐닝영역 검증의 두 단계로 구성된다. 스캐닝영역 결정 단계에서는 태그들의 위치와 전송범위를 고려하여 태그들을 스캔할 영역의 크기와 위치를 결정하며, 스캐닝영역 검증 단계에서는 고정된 위치의 참조태그를 사용하여 태그 스캐닝이 스캐닝영역 안에서 수행되었는지 여부를 검증한다. 나는 분석에서 제안하는 스캐닝영역이 정상적인 인접태그 정보의 획득을 보장하며, 스캐닝영역 검증이 스캐닝영역의 변형과 이탈을 감지하는 것을 보인다.

상관 함수의 기울기 차에 기반한 GNSS의 부호 추적 기법 (A GNSS Code Tracking Scheme Based in Slope Difference of Correlation Outputs)

  • 유승수;유승환;정다해;안상호;윤석호;김선용
    • 한국통신학회논문지
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    • 제33권6C호
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    • pp.505-511
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    • 2008
  • 위성 항법 시스템은 (global navigation satellite system, GNSS) 통신 물리계층으로 직접 수열 확산 대역 (direct sequence/spread spectrum, DS/SS) 시스템을 사용하고 있다. DS/SS 시스템은 확산된 정보를 복원하기 위해 한 칩 (chip) 또는 그 이하로 동기를 맞추는 획득 단계와 정확한 동기를 결정하고 유지하는 추적 단계를 수행한다. 가장 널리 알려진 추적 기법은 상관 값의 대칭성을 이용해 부호를 추적하는 $\Delta$-DLL이다 (single delta delay lock loop). 여기서, $\Delta$는 이른-늦은 상관 값의 상관 시간 옵셋 간격을 뜻한다. $\Delta$-DLL은 이상적인 환경에서 최적 부호 추적 기법이다. 그러나 이 기법은 다중경로 환경에서 상관 함수의 대칭성이 깨짐으로 인해 판별기 출력이 비대칭으로 나타나기 때문에 큰 추적 편이를 갖는다. 추적 편이는 정착한 동기 시점과 추적이 완료되어 결정한 동기 시점의 차이를 의미한다. 이러한 추적 편이를 감소시키기 위한 기법으로 작은 $\Delta$를 사용한 $\Delta$-DLL과 두 개의 $\Delta$-DLL을 조합한 ${\Delta}^{(2)}$-DLL이 (double delta DLL) 제안되었다. 그러나 두 기법 모두 여전히 추적 편이가 존재하며, 작은 $\Delta$를 사용하기 때문에 추적 단계의 동적 영역이 줄어들어 정확한 획득 단계가 요구되는 단점을 갖고 있다. 본 논문에서는 추적 편이를 효과적으로 줄이면서도 정확한 획득 단계가 요구되지 않는 상관 값의 최대 기울기 변화에 기반한 추적 편이 감소 기법을 제안한다.

점진적 EM 알고리즘에 의한 잠재토픽모델의 학습 속도 향상 (Accelerated Loarning of Latent Topic Models by Incremental EM Algorithm)

  • 장정호;이종우;엄재홍
    • 한국정보과학회논문지:소프트웨어및응용
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    • 제34권12호
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    • pp.1045-1055
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    • 2007
  • 잠재토픽모델(latent topic model)은 데이타에 내재된 특징적 패턴이나 데이타 정의 자질들 간의 상호 관련성을 확률적으로 모델링하고 자동 추출하는 모델로서 최근 텍스트 문서로부터의 의미 자질 자동 추출, 이미지를 비롯한 멀티미디어 데이타 분석, 생물정보학 분야 등에서 많이 응용되고 있다. 이러한 잠재토픽모델의 대규모 데이타에 대한 적용 시 그 효과 증대를 위한 중요한 이슈 중의 하나는 모델의 효율적 학습에 관한 것이다. 본 논문에서는 대표적 잠재토픽모델 중의 하나인 PLSA (probabilistic latent semantic analysis) 기법을 대상으로 점진적 EM 알고리즘을 활용한, 기본 EM 알고리즘 기반의 기존 학습에 대한 학습속도 증진 기법을 제안한다. 점진적 EM 알고리즘은 토픽 추론 시 전체 데이타에 대한 일괄적 E-step 대신에 일부 데이타에 대한 일련의 부분적 E-step을 수행하는 특징이 있으며 이전 데이터 일부에 대한 학습 결과를 바로 다음 데이타 학습에 반영함으로써 모델 학습의 가속화를 기대할 수 있다. 또한 이론적인 측면에서 지역해로의 수렴성이 보장되고 기존 알고리즘의 큰 수정 없이 구현이 용이하다는 장점이 있다. 논문에서는 해당 알고리즘의 기본적인 응용과 더불어 실제 적용과정 상에서의 가능한 데이터 분할법들을 제시하고 모델 학습 속도 개선 면에서의 성능을 실험적으로 비교 분석한다. 실세계 뉴스 문서 데이타에 대한 실험을 통해, 제안하는 기법이 기존 PLSA 학습 기법에 비해 유의미한 수준에서 학습 속도 증진을 달성할 수 있음을 보이며 추가적으로 모델의 병렬 학습 기법과의 조합을 통한 실험 결과를 간략히 제시한다.

A.J. Toynbee의 문명론과 도서관의 역사 -Renaissance 관과 도서편집 활동을 중심으로-

  • 손연옥
    • 한국도서관정보학회지
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    • 제9권
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    • pp.115-144
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    • 1982
  • In ordinary modern wester expression 'the Renaissance' was used to denote the impact made by dead Hellenism civilization in western Christendom, particularly Italian literary and artistic movement at Northern and central Italy in the late medieval period. However, A.J. Toynbee examined the renaissance from the different aspect of view. In his great work "A Study of History" in vol. IX, he succeeded in establishing the theory of historic civilization encounters in space and in time; and in time, civilization of the present and the past or between dead and infant successor contacts on the analogy of parenthood and sonship in the relation of A n.0, pparentation-and-Affiliation. The distinguished his view of 'Renaissance' was illustrated in the sense of encounters between a grown-up civilization and the 'ghost' of its long-dead predecessor. The renaissances (by the process of evocation of ghost of its parent society) has not only one single aspect of literary and artistic field but also in politics, law, science and philosophy, languages and literatures and visual arts, and religion. The main theme of this study is to examine the development of libraries and its historical meaning through Toynbee's literary renaissance. His renaissance of Languages and Literatures has three typical steps: They are: 1st step-to restive the dead literature's remains: 2nd step-to remaster their meaning: 3rd step-to reproduce them in counterfeits... Through its first and second steps, collecting and editing, annotating by compiling an anthology, thesaurus, lexicon or encyclopedia, and in its third step publishing mostly imitation of classics took place. Toynbee depicted the five outstanding eminent representatives of literary renaissance who had a n.0, ppeared on the state of history down to the time of writing. They are: Assurbanipal, Constantine prophyrogenitus, Yung Lo, K'ang Hsi, and Ch'ien Lung and the last four had all been emperors of imperia rediviva. As the result of the examination of these five emperors with three steps of literary renaissance, the common result may be summarized as follows: 1. Those emperors of imperia rediviva interested in intellectual work and study, they also were deeply involved in collecting classics in an ostensible reason. 2. There were strong political intention of collecting materials as an a n.0, ppeasement policy of civilization by transferring scholars energies to an intellectual field. 3. Under the rulers of a resuscitated universal state, the literary renaissance were a product of political plane and that the total size of collection and work were huge. 4. Since there were strong exercise of sovereign power, an active censorship by distortion and elimination was inevitable. 5. There existed newly developed strained atmosphere between grown-up and long-dead parent civilization, whenever the book collection movement had occurred. 6. Over adhesion to the parent civilization caused imitation of classic work and the creative activities were stagnated.stagnated.

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클러스터링 환경에 대한 IP 스푸핑 공격 발생시 라우팅 패턴에 기반한 단계별 서비스 암호화 모델 (A step-by-step service encryption model based on routing pattern in case of IP spoofing attacks on clustering environment)

  • 백용진;정원창;홍석원;박재흥
    • 한국정보전자통신기술학회논문지
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    • 제10권6호
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    • pp.580-586
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    • 2017
  • 빅데이터 서비스 환경 구축과 서비스에는 클라우드 기반의 네트워크 기슬과 정보 접근의 효율성 개선을 위한 클러스터링 기술이 함께 요구된다. 이러한 클라우드 기반의 네트워크와 클러스터링 환경은 다양하고 가치있는 정보를 실시간으로 제공 할 수 있기 때문에, 불법적인 접근을 시도하는 공격자들의 집중적이 표적이 될 수 있다. 특히 IP 스푸핑을 시도하는 공격자들은 클러스터링을 구성하고 있는 상호 신뢰 호스트들의 정보를 분석하여, 클러스터 내에 존재하는 시스템으로 직접 공격을 시도할 수 있다. 그러므로 불법적인 공격에 대한 빠른 탐지와 대응이 필요하며, 기존의 단일 시스템에서 구축하여 운용하는 보안시스템 보다 강화된 보안정책이 요구된다고 할 것이다. 본 논문은 이러한 네트워크 환경에서의 불법적인 공격 발생에 능동적인 대응 및 효율적인 정보 서비스가 가능 할 수 있도록 라우팅 패턴 변화를 추적하여 탐지 정보로 활용하였다. 아울러 탐지 과정에서 발생하는 라우팅 정보에 기반한 단계별 암호화를 통하여 재설정을 위한 잦은 정보 서비스의 단절이 발생하지 않으면서 안정적인 서비스 정보의 관리가 가능하도록 하였다.

원자력 시설 주변 환경 감시를 위한 토양 중 우라늄 동위원소 신속 분석법 확립 (Establishing of a rapid analytical method on uranium isotopic ratios for the environmental monitoring around nuclear facilities)

  • 박지영;임종명;이현우;이완로
    • 분석과학
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    • 제31권3호
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    • pp.134-142
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    • 2018
  • The uranium isotopic ratio in environmental samples around nuclear facilities is important because it reveals information regarding illegal activities or anthropogenic pollution. Determination of uranium isotopes, however, is a challenging task requiring much labor and time because of the complex separation procedures and lengthy process. In this study, a rapid determination method for uranium isotopes in environmental samples was developed using. The sample was completely decomposed using the alkali fusion method. The separation procedure using extraction chromatography (UTEVA) was simplified in a single step without any further removal process for Si and major matrix elements. The established method can be completed within 3 h from sample dissolution to ICP-MS measurement. Most matrix elements and uranium isotopes in the soil samples were well separated and purified. Five types of were used to assess the method's accuracy and precision for a rapid uranium analysis method. The analytical accuracy for all CRM samples ranged from 95.1 % to 97.8 %, and the relative standard deviation was below 3.9 %. From the analytical results, one may draw conclusions that the evaluated method for uranium isotopes using alkali-fusion, the extraction chromatography process, and ICP-MS measurements is fast and fairly reliable owing to its recovering efficiencies. Thus, it is expected that the evaluated method can contribute to the improvement of environmental monitoring ability.

미세전극 패터닝 기술을 이용한 바이오센서 패턴 구현 (Implementation of Biosensor Pattern Using Micro Patterning Technique)

  • 고정범;김형찬;양영진;김현범;양성욱;오승호;도양회;최경현
    • 한국기계가공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.122-128
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    • 2016
  • The Biosensor biosensor pattern was developed by via an EHD (electro-hydro-dynamics (EHD) patterning process that was performed under atmospheric pressure at room temperature in a single step. The drop diameter was smaller than nozzle diameter and applied high viscosity conductive ink was applied in the EHD patterning method to provide a clear advantage over the piezo and thermal inkjet printing techniques. The Biosensor's biosensor's micro electrode pattern was printed by via a continuous EHD patterning method using 3three- type types of control parameters parameter (input voltage, patterning speed, nozzle pressure). High viscosity (1000 cps) conductive ink with 75 wt% of silver nanoparticles was used for experimentation. The incremental result of impedance of biosensor impedance was measured between the antibody ($10ug{\mu}g/ml$) to spore (0.1 ng/ml, 10 ng/ml, and $1ug{\mu}g./ml$) reaction at frequency 493 MHz frequency.

Nb Trilayer를 사용한 단자속양자 논리연산자의 제작공정 (Fabrication Process of Single Flux Quantum ALU by using Nb Trilayer)

  • 강준희;홍희송;김진영;정구락;임해용;박종헉;한택상
    • Progress in Superconductivity
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    • 제8권2호
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    • pp.181-185
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    • 2007
  • For more than two decades Nb trilayer ($Nb/Al_2O_3/Nb$) process has been serving as the most stable fabrication process of the Josephson junction integrated circuits. Fast development of semiconductor fabrication technology has been possible with the recent advancement of the fabrication equipments. In this work, we took an advantage of advanced fabrication equipments in developing a superconducting Arithmetic Logic Unit (ALU) by using Nb trilayers. The ALU is a core element of a computer processor that performs arithmetic and logic operations on the operands in computer instruction words. We used DC magnetron sputtering technique for metal depositions and RF sputtering technique for $SiO_2$ depositions. Various dry etching techniques were used to define the Josephson junction areas and film pattering processes. Our Nb films were stress free and showed the $T{_c}'s$ of about 9 K. To enhance the step coverage of Nb films we used reverse bias powered DC magnetron sputtering technique. The fabricated 1-bit, 2-bit, and 4-bit ALU circuits were tested at a few kilo-hertz clock frequency as well as a few tens giga-hertz clock frequency, respectively. Our 1-bit ALU operated correctly at up to 40 GHz clock frequency, and the 4-bit ALU operated at up to 5 GHz clock frequency.

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