Porous silicon nitride ceramics were prepared by SHS (Self-Propagating High Temperature Synthesis) from silicon powder, silicon nitride powder and pore-forming precursor. The microstructure, porosity and the flexural strength of the porous silicon nitride ceramics were varied according to the Si/Si3N4 ratio, size and amount of the pore-forming precursors. Some sample exhibited as high flexural strength as $162{\pm}24\;MPa$. The high strength is considered to result from the fine pore size and the strong bonding amoung the silicon nitride particles.
The effects of silane coupling agents on the injection molding process were investigated using silicone nitride mixtrues with a binder system containing polypropylene as a major binder (55vol% solid loading). The formation of bonding between silicon nitride powder and coupling agents was confirmed through the analyses of powder surface. The use of coupling agents improved mixing characteristics judged by the torque change during mixing process. the coupling agents also reduced molten viscosity of the mixture considerably, which is a main factor to determine the flow of the mixture. However, the bonding between coupling agents and polymers had a negative effect on the debinding process by retarding the thermal decomposition.
기존의 다공질 실리콘 제작 방법인 chemical etching 방법을 병행하면서 새로운 제 작 방법으로서 dry etching 기술을 적용하여 다공질 실리콘을 제작하였다. 또한, 비교를 위 해 E-beam lithography 기술로 실리콘 구조물을 제작하였는데 이 경우 기술상 문제로 약 0.3$\mu\textrm{m}$의 직경을 가진 구조물이 최소의 크기였다. 따라서 새로운 방법으로 4인치 wafer위에 mask 역할을 해주는 다이아몬드 분말을 spin coater로 입힌 후 Reactive Ion Etching(RIE) 방법으로 미세구조의 다공질 실리콘을 제작하였다. 다양한 조건으로 제작된 sample들의 morphology를 SEM과 AFM 등을 이용하여 분석하였고 이 morphology에 대응하는 PL스펙 트럼을 측정하였다. 그 결과, 다이아몬드 분말을 이용한 dry etching방법으로 제작된 다공질 실리콘의 PL peak의 위치가 chemical etching 방법의 다공질 실리콘의 PL peak 위치인 760nm에 비해 높은 에너지인 590nm로 나타났다.
The theoretical capacity of silicon-based anode materials is more than 10 times higher than the capacity of graphite, so silicon can be used as an alternative to graphite anode materials. However, silicon has a much higher contraction and expansion rate due to lithiation of the anode material during the charge and discharge processes, compared to graphite anode materials, resulting in the pulverization of silicon particles during repeated charge and discharge. To compensate for the above issues, there is a growing interest in SiOx materials with a silica or carbon coating to minimize the expansion of the silicon. In this study, spherical silica (SiO2) was synthesized using TEOS as a starting material for the fabrication of such SiOx through heating in a reduction atmosphere. SiOx powder was produced by adding PVA as a carbon source and inducing the reduction of silica by the carbothermal reduction method. The ratio of TEOS to distilled water, the stirring time, and the amount of PVA added were adjusted to induce size and morphology, resulting in uniform nanosized spherical silica particles. For the reduction of the spherical monodisperse silica particles, a nitrogen gas atmosphere mixed with 5 % hydrogen was applied, and oxygen atoms in the silica were selectively removed by the carbothermal reduction method. The produced SiOx powder was characterized by FE-SEM to examine the morphology and size changes of the particles, and XPS and FT-IR were used to examine the x value (O/Si ratio) of the synthesized SiOx.
In this study, we investigate the effect of the diffusion barrier and substrate temperature on the length of carbon nanotubes. For synthesizing vertically aligned carbon nanotubes, thermal chemical vapor deposition is used and a substrate with a catalytic layer and a buffer layer is prepared using an e-beam evaporator. The length of the carbon nanotubes synthesized on the catalytic layer/diffusion barrier on the silicon substrate is longer than that without a diffusion barrier because the diffusion barrier prevents generation of silicon carbide from the diffusion of carbon atoms into the silicon substrate. The deposition temperature of the catalyst and alumina are varied from room temperature to $150^{\circ}C$, $200^{\circ}C$, and $250^{\circ}C$. On increasing the substrate temperature on depositing the buffer layer on the silicon substrate, shorter carbon nanotubes are obtained owing to the increased bonding force between the buffer layer and silicon substrate. The reason why different lengths of carbon nanotubes are obtained is that the higher bonding force between the buffer layer and the substrate layer prevents uniformity of catalytic islands for synthesizing carbon nanotubes.
Reaction-bonded $Si_3N_4$ has cost-reduction merit because inexpensive silicon powder was used as a start material. But its density was not so high enough to be used for structural materials. So the sintered reaction-bonded $Si_3N_4$techniques were developed to solve the low density problem. In this study the sintered reaction-bonded $Si_3N_4$ manufacturing method by using polymer precursor which recently attained significant interest owing to the good shaping and processing ability was proposed. The formations, properties of reaction-bonded $Si_3N_4$ from silicon and polysilazane mixture were investigated. High density reaction-bonded $Si_3N_4$ was manufactured from silicon and silicon-containing preceramic polymers and post-sintering technique. The mixtures of silicon powder and polysilazane were prepared and reaction sintered in $N_2$ atmosphere at $1350^{\circ}C$ and post-sintered at 1600~$1950^{\circ}C$. Density and phase were analyzed and correlated to the resulting material properties.
To develop Gastrodia elata (GE)-loaded particles for herbal extract dosage forms, various GE-loaded particles containing dextrin, isomalt, maltodextrin, and silicon dioxide as solidifying carriers in the GE water extract are prepared using the spray drying method. Their physical properties are evaluated using the repose angle, Hausner ratio, Carr's index, weight increase rate at 40℃/75% RH condition, and scanning electron microscopy (SEM). Particles made of dextrin improve the fluidity, compressibility, and water stability. In addition, 2% silicon dioxide increases the fluidity and moisture stability. The best flowability and compressibility of GE-loaded particles are observed with TP, dextrin, and silicon dioxide amounts in the ratio of 6/4/0.2 (34.29 ± 2.86°, 1.48 ± 0.03, and 38.29 ± 2.39%, repose angle, Hausner Ratio, and Carr's index, respectively) and moisture stability with a 2% weight increase rate for 14 h at 40℃/75% RH condition. Therefore, our results suggest that the particles prepared by the spray drying method with dextrin and 2% silicon dioxide can be used as powerful particles to improve the flowability, compressibility, and moisture stability of GE.
To develop Taraxacum platycarpum extract (TP)-loaded particles for tablet dosage form, various TP-loaded particles composed of TP, dextrin, microcrystalline cellulose (MCC), silicon dioxide, ethanol, and water are prepared using a spray-drying method and fluid-bed-drying method. Their physical properties are evaluated using angle of repose, Hausner ratio, Carr's index, hardness, disintegrant time, and scanning electron microscopy. Optimal TP-loaded particles improve flowability and compressibility. Furthermore, 2% silicon dioxide gives increased flowability and compressibility. The formula of TP-loaded fluid-bed-drying particles at a TP/MCC/silicon-dioxide amount of 5/5/0.2 improves the angle of repose, Hausner ratio, Carr's index, hardness, and disintegrant time as compared with the TP-loaded spray-drying particles. The TP-loaded fluid-bed-drying particles considerably improve flowability and compressibility ($35.10^{\circ}$ vs. $40.3^{\circ}$, 0.97 vs. 1.17, and 18.97% vs. 28.97% for the angle of repose, Hausner ratio, and Carr's index, respectively), hardness (11.34 vs. 4.7 KP), and disintegrant time (7.4 vs. 10.4 min) as compared with the TP-loaded spray-drying particles. Thus, the results suggest that these fluid-bed-drying particles with MCC and silicon dioxide can be used as powerful particles to improve the flowability and compressibility of the TP.
This study was carried out experimentally on the production and properties of silicon nanopowders characteristics using a transferred type arc plasma apparatus. To investigate the properties of silicon nanopowder, the purity of argon gas(99.999%, 99.9%) and the partial pressure ratio of nitrogen gas(0~90%) were varied. The total pressure in chamber is 400Torr and the silicon chunk amount used as raw material is 300g. The power supplied to the cathode to generate arc plasma was 9~12kW/h, and the electrode was made of tungsten and graphite with a diameter of 13mm. The particle size, impurity elements and powder evaporation rate of the silicon powder were analyzed using the XRD, FE-SEM, TEM and electronic scale. According to the purity of argon gas, the silicon evaporation rate and the particle size were similar, and impurities were generated more in the case of 99.9% purity than 99.999%. When argon gas and nitrogen gas were mixed in the chamber, the silicon evaporation rate and particle size increased as the partial pressure ratio of nitrogen gas increased. In particular, when the partial pressure ratio of nitrogen gas was 80%, the silicon evaporation rate 80g/h, and the particle size was about 80~100nm.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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