근접장 마이크로파 현미경을 이용한 ITO 박막 면저항의 비파괴 관측 특성 연구 (Nondestructive measurement of sheet resistance of indium tin oxide(ITO) thin films by using a near-field scanning microwave microscope)
-
- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
- /
- pp.1042-1045
- /
- 2004