RF Sputtering법에 의한 $SrBi_{2}Ta_{2}O_{9}$ 박막의 피로특성
(Fatigue Properties of $SrBi_{2}Ta_{2}O_{9}$ Thin Film by RF Sputtering Method)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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- pp.897-900
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- 2000