High-speed probe made to test single flux quantum(SFQ) circuits was comprised of semi-rigid coaxial cables and microstrip lines. The impedance was set at 50 $\Omega$to carry high-speed signals without much loss. To do performance test of high-speed probe, we have attempted to fabricate a test chip which has a coplanar waveguide(CPW) structure. Electromagnetic simulation was done to optimize the dimension of CPW so that the CPW structure has an impedance of 50$\Omega$, matching in impedance with the probe. We also used the simulation to investigate the effect of the width of signal line and the gap between signal line and ground plane to the characteristics of CPW structure. We fabricated the CPW structure with a gold film deposited on Si wafer whose resistivity was above $1.5\times$10$_4$$\Omega$.cm. The magnitudes of S/sub 21/ of CPW at 6 ㎓ in simulations and in the actual measurements done with a network analyzer were: -0.1 ㏈ and -0.33 ㏈ (type A),-0.2 ㏈ and -0.48 ㏈ (type B), respectively. Using the test chip, we have successfully tested the performance of high-speed probe made for SFQ circuits. The probe showed the good performance overthe bandwidth of 10 ㎓.
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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제4C권4호
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pp.149-154
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2004
This paper presents a silicon probe tip for vertical probe card application. The silicon probe tip was fabricated using MEMS technology such as porous silicon micromachining and deep- RIE (reactive ion etching). The thickness of the silicon epitaxial layers was 5 ${\mu}{\textrm}{m}$ and 7 ${\mu}{\textrm}{m}$, respectively. The width and length were 40 ${\mu}{\textrm}{m}$ and 600 ${\mu}{\textrm}{m}$, respectively. The probe structure was a multilayered structure and was composed of Au/Ni-Cr/Si$_3$N$_4$/n-epi layers. The height of the curled probe tip was measured as a function of the annealing temperature and time. Resistance characteristics of the probe tip were measured using a touchdown test.
Understanding the structure-property relationship in functional materials is crucial as microstructural features such as nano-precipitates, phase boundary, grain boundary segregation, and grain boundary phases play a key role in their functional properties. Atom probe tomography (APT) is an advanced analytical technique that allows for the three-dimensional (3D) mapping of atomic distributions and the precise determination of local chemical compositions in materials. Moreover, it offers sub-nanometer spatial resolution and chemical sensitivity at the tens of parts per million (ppm) level. Owing to its unique capabilities, this technique has been employed to uncover the 3D elemental distributions in a wide range of materials, including alloys, semiconductors, nanomaterials, and even biomaterials. In this paper, various kinds of examples are introduced for elucidating structure-property relationships on functional materials by utilizing the atom probe tomography.
The team mixed PbO, $ZrO_2$, $TiO_2$, $Nb_2O_5$ and $MnCO_3$, to make $Pb[(Zr_{0.54}\;Ti_{0.46})\;Nb_{0.005}]O_3+4%MnCO_3$. The electroded PZT ceramics were poled by 3 kV/mm at $110^{\circ}C$ for 600 s. We assembled the 0.4mm thick PZT slices into ultrasonic transducers. Central frequency of the probe is 5 MHz, which is proper to the thickness gauge for steel pipes and for flaw detector. The probe can detect a disk shape defect of 1mm diameter at 15cm deep in steel block. The new probe's Fresnel zone that the ultrasonic beam do not broaden is 13mm. Over the Fresnel zone, the ultrasonic beam spreads. Half of the beam spread angle of the probe is $4.3^{\circ}-4.6^{\circ}$. This probe can be used for the ultrasonic transducers for non-destructive testing of steel bridges.
Objective: This study aimed to investigate the reliability and validity of muscle thickness (MT) and pennation angle (PA) measurements of the ankle muscle, including the tibialis anterior (TA) and the medial gastrocnemius (MGCM), using a hands-free fixed probe and to compare it with the conventional linear probe. Design: Observational inter-rater reliability study. Methods: Thirty-three healthy subjects (20 male, 13 female) were included. In all subjects, ultrasound images were acquired from the TA and MGCM using a hands-free fixed probe and a conventional linear probe in random sequence by two examiners at two time-points within a 7-day interval. MT and PA were calculated on the taken images. Intra-class correlation coefficients (ICC), 95% confidence intervals, standard error of measurement and the Pearson's correlation coefficient were used to estimate reliability and validity. And also, Bland-Altman plots were generated for a visual representation of MT and PA at the TA and MGCM. Results: The ICC for all intra-rater reliability was 0.943 to 0.995 and that for all inter-rater reliability was 0.928 to 0.993, indicating excellent reliability. A significantly high correlation was observed between MT and PA at the TA and MGCM with use of the hands-free fixed probe and the conventional linear probe (r>0.938; p<0.001). Conclusions: The hands-free fixed probe provided excellent images for measurement of the MT and PA of the TA and MGCM and is a useful device for making clinical measurements of muscle structure without grasping of the probe.
최근 정보 보호가 이슈화됨에 따라 지문인식센서의 활용이 점차 증가하고 있으며, 센서 인식률 오차를 최소화 할 수 있는 품질평가를 요구한다. 지문인식센서 전극과 검사부 프로브 팁이 접촉 시 발생하는 저항 값의 변화에 의해 센서의 품질이 평가되며, 품질평가의 재현성을 확보하기 위해서는 센서 전극의 변형 유발을 최소화할 수 있는 프로브 소재의 적합성과 구조 최적화 연구가 필요하다. 프로브 팁의 적합성 평가를 위한 소재로 니켈(Ni), 스틸(SK4), 베릴륨동(Beryllium copper), 인청동(Phosphor bronze)을 비교하였으며, 프로브 팁 접촉 후 전극의 압흔 크기와 접촉저항을 고려할 때 베릴륨동이 프로브 소재로 적합하다. 검사부 프로브는 지문인식센서 전극의 물리적 손상 방지와 다수의 지문인식센서 동시 검사가 가능한 구조를 위해 일체형 프로브 방식으로 제작하였다. 검사부의 재현성은 특정 전류 값을 인가하여 지문인식센서의 전압 변화로 판단하였으며, 베릴륨동 프로브 소재와 일체형 구조를 통해 센서 전극에 프로브가 300회 접촉하는 동안 센서의 전압 변화는 ${\pm}0.003V$ 이내의 우수한 재현성을 확인하였다.
Membrane proteins in highly oriented lipid bilayer samples are useful for membrane protein structure determination. We used in the past planar lipid bilayers which were aligned and supported on the glass slide. These samples were mechanically aligned in a magnetic field. However, these stacks of glass slides with planar lipid bilayers are not well suited for use with a commercial solid-state NMR probe with a round coil. Therefore, a homebuilt solid-state NMR probe was built and used with a stack of thin glass plates wherein the RF coil was wrapped directly around the flat square sample. Recently, we began to use magnetically aligned bicelles that are suitable for the structure determination of membrane proteins by solid-state NMR spectroscopy without any effort to build a flat square coil probe. These bicelle samples are well suited for use with a commercial solidstate NMR probe with a round coil, are very easy to prepare and are very stable, so that they can be kept for more than a year. In this paper, we present the solid-state NMR spectra of optimized and magnetically oriented bicelle samples of membrane proteins.
본 논문에서는 중심주파수가 5.8㎓에서 동작하는 마이크로스트립 라인-프로브 급전구조를 갖는 마이크로스트립 패치 배열 안테나를 설계 및 제작하였다. 마이크로스트립 라인-프로브 급전구조는 안테나의 광대역 특성과 배열 구조를 가능하게 하여 이득을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 대역폭은 17.6%(VSWR<2)이며, 안테나 이득은 8㏈i 를 얻었다.
Recently the electrostatic 2-axis MEMS stages have been fabricated for the purpose of an application to PSD (Probe-based Storage Device). However, all of the components(platform, comb electrodes, springs, anchors, etc.) in those stages are placed in-plane so that they have low areal efficienceis, which is undesirable as data storage devices. In this paper, we present a novel structure of an electrostatic 2-axis MEMS stage that is characterized by having large area platform. for obtaining large area efficiency, the actuator part consisting of mainly comb electrodes and springs is placed right below the platform. The structure and operational principle of the MEMS stage are described, followed by a design procedure, structural and modal analyses using FEM(Finite Element Method). The areal efficiency of the MEMS stage was designed to be about 25%, which is very large compared with the conventional ones having a few percentage.
본 논문은 테스트 프로브의 플런저 접점 위치와 구조에 따른 신호 전달 특성 변화를 분석하였다. 플런저 접점 위치는 실제 동작 상황을 고려하였으며, 플런저 내부 접점과 바렐 입구 접점으로 나누어 테스트 프로브의 고주파 성능 변화를 조사하였다. 또한 테스트 프로브는 더블, 싱글, 아웃스프링의 3 가지 구조로 나누고 구조 차이에 따른 신호 전달 특성 변화를 분석하였다. 고주파 전자기 해석 툴 HFSS를 사용하여 삽입손실과 반사손실을 계산하고, Q3D 시뮬레이션을 이용하여 테스트 프로브의 임피던스를 분석한다. 접점 위치에 따른 계산 결과, 바렐 입구 접점의 삽입손실이 플런저 내부 접점보다 감소하였다. 이를 통해 테스트 프로브의 접점 위치에 따라 테스트 프로브의 고주파 성능이 달라질 수 있음을 확인하였다. 구조에 따른 신호 전달 특성의 비교 분석에서는 아웃스프링 프로브가 보다 우수한 삽입손실과 반사손실 주파수 특성을 보여주었다. 테스트 프로브 구조별로 특성 임피던스를 계산하였으며 더블 프로브와 싱글 프로브는 $30.8{\Omega}$으로 동일한 결과를 보여주었다. 반면에 아웃스프링 프로브는 $47.1{\Omega}$의 결과가 나타났다. 아웃스프링 프로브의 특성 임피던스가 $50{\Omega}$에 보다 근접하여 높은 신호 전달 특성을 보인 것으로 분석된다. 아웃스프링 프로브가 높은 삽입손실과 반사손실 특성을 보여 고속 동작 제품의 성능 검사에 적합한 것으로 예상한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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