• 한국전기전자재료학회논문지
• /
• 제13권10호
• /
• pp.812-816
• /
• 2000

It is very important to understand the correlation of between inter dielectric(ILD) CMP process and various facility factors supplied to equipment to equipment system. In this paper, the correlation between the various facility factors supplied to CMP equipment system and ILD-CMP process was studied. To prevent the partial over-polishing(edge hot-spot) generated in the wafer edge area during polishing, we analyze various facilities supplied at supply system. With facility shortage of D.I water(DIW) pressure, we introduced an adding purified $N_2$(P$N_2$)gas in polishing head cleaning station for increasing a cleaning effect. DIW pressure and P$N_2$gas factors were not related with removal rate, but edge hot-spot of patterned wafer had a serious relation. We estimated two factors (DIW pressure and P$N_2$gas) for the improvement of CMP process. Especially, we obtained a uniform planarity in patterned wafer and prohibited more than 90% wafer edge over-polishing. In this study, we acknowledged that facility factors supplied to equipment system played an important role in ILD-CMP process.

• 대한치과교정학회지
• /
• 제36권1호
• /
• pp.14-29
• /
• 2006

치과교정영역에서 컴퓨터기술의 발달로 안면 경조직 및 연조직의 3차원적인 분석이 가능해졌으며 이에 따라 교정환자의 진단과 치료계획 및 치료 후에 연조직의 3차원적인 평가가 가능하게 되었다. 그러나 안면 연조직의 3차원적 분석을 위한 표준화된 기준이 없고 임상적용이 가능한 진단 프로그램은 아직 없는 실정이다. 이에 본 연구에서는 3차원 진단 시 유용한 안면 연조직 계측점들의 3차원 계측치(X, Y, Z)를 제시하고, 이를 이용하여 설정된 길이, 각도 및 비율의 정상치를 제시하고자 한다. 3차원 촬영 기구로 비접촉식 3차원 레이저 스캐너를 이용하였으며, 한국 성인 정상교합 자 남녀 각각 30명(남자평균 20.1세, 여자평균 21.7세)을 연구대상으로 하였다. Rapidform 2004 프로그램(Inus Technology Inc., Seoul, Korea)으로 3차원 영상을 만든 후 3차원 입체영상에 soft tissue nasion을 원점으로 하는 좌표계(X축-좌우, Y축-상하, Z축-전후)를 설정하고, 29개의 계측점을 지정한 후 거리계측 45개 항목, 각도 8개 항목, 거리비율 29개 항목을 분석하였다. 각각의 계측점의 3차원 좌표(X, Y, Z)를 구하였으며 이를 바탕으로 각각의 계측항목을 계산하여 표준화하였다. 특히, 각도항목에서 transverse upper lip prominence (Ch(Rt)-ULPm-Ch(Lt))는 남자 $107^{\circ}$, 여자 $106^{\circ}$였고, transverse mandibular prominence (Go'(Rt)-Pog'-Go'(Lt))는 남녀 모두 $76^{\circ}$였다. Naso frontal angle (G-N'-Pn)은 남자 $142^{\circ}$, 여자 $147^{\circ}$, transverse nasal prominence (Zy(Rt)-Pn-Zy(Lt))는 남자 $112^{\circ}$, 여자 $116^{\circ}$로 남녀 간에 통계학적으로 유의차가 있었다 (p<0.05). 하안면고경 하방 2/3 (Li-Me')와 하악체길이(Go'-Me'), 입술고경(ULPm-Li)과 폭경(Ch(Rt)-Ch(Lt))의 비율은 각각 2/5로 나타났다. 관상기준평면에서 안면의 윤곽을 나타내는 계측점인 FT, Zy, Pn, ULPm, Li, Me'까지의 거리의 비는 -1/-1/1/0.5/0.5/-0.6였다. 또한 얻어진 자료를 이용하여 한국 성인 정상교합자의 3차원 안면 모델을 제작하였으며 이는 교정진단 또는 치료결과 비교 시 template로 활용될 수 있으리라 사료된다.

• 공업화학
• /
• 제30권4호
• /
• pp.504-508
• /
• 2019

GaInP/AlGaInP 이종접합 구조를 제안하고 집광 조건에서 가장 높은 효율을 달성한 III-V 화합물 반도체 다중접합 태양전지의 맨 위 subcell에 주로 사용되는 GaInP 동종접합 구조를 대체해 이종접합 구조가 응용될 가능성에 대하여 조사하였다. $2^{\circ}$ off 된 웨이퍼와 $10^{\circ}$ off 된 서로 다른 off-cut 방향을 갖는 두 종류의 GaAs 기판 위에 성장된 태양전지의 특성을 집광 조건에서 측정하고 비교하였다. $10^{\circ}$ off 된 태양전지에서 더 높은 단락전류와 변환효율을 얻었다. 1 sun 조건에서 $10^{\circ}$ off 된 기판 위에 제작된 $2{\times}2mm^2$ 면적의 태양전지에서 $9.21mA/cm^2$의 단락전류밀도와 1.38 V의 개방 전압이 측정되었다. $10^{\circ}$ off 기판 위에 제작된 $5{\times}5mm^2$ 태양전지에서 집광도 증가에 따라 곡선인자(fiill factor)가 감소하여 변환효율은 6.03% (1 sun)에서 5.28% (20 sun)로 측정되었다.

• 지구물리와물리탐사
• /
• 제13권3호
• /
• pp.256-267
• /
• 2010

한반도의 지진들은 주로 중생대에 반도에서 발생한 격렬한 지각변동으로 생성된 단층 및 깨어진 주요 지질구조의 경계에서 발생한다. 이 지진들은 Eurasian plate와 충돌하는 인접한 Indian plate와 Pacific plate 및 Philippine plate에 의한 E-W 내지 ENE-SSW 방향의 압축력장에서 반도 내의 주로 NNE-SSW 방향의 활성단층들이 깨어지며 발생하며 주향성분이 우세한 역단층의 메커니즘을 갖는다. 한반도의 지진활동은 지난 20세기 동안 15~18세기의 이례적으로 높은 기간을 제외하고는 비교적 낮거나 중간수준이며 이는 판내부 지진활동의 전형적인 불규칙한 양상을 보여준다. 한반도의 지각구조는 상부지각과 하부지각을 뚜렷하게 구분하는 Conrad 면이 없는 대체로 균질한 지각이며 수평적 불균질성은 존재한다. 지각의 평균 두께는 33 km 정도이며 Airy 형의 지각균형을 이루고 있어 산악지방이 평야지역에 비하여 지각의 두께가 더 크다. P파의 속도는 지표 부근에서 Moho 면까지 점진적으로 증가하며 평균은 대략 6.3 km/sec이다. 상부맨틀의 P파(Pn)의 속도는 대략 7.8 km/sec이다.

• Perinatology
• /
• 제29권4호
• /
• pp.170-174
• /
• 2018

Objective: Progesterone is used to prevent recurrent preterm delivery, however the molecular mechanisms of its effect are incompletely understood. The objective of this study was to determine the effect of progesterone on tumor necrosis factor $(TNF)-{\alpha}$-induced matrix metalloproteinase (MMP)-9 activity in human choriodecidual (CD) membranes. Methods: We collected CD membranes from women with uncomplicated term pregnancies who were scheduled for elective cesarean delivery (n=10). CD membranes ($1{\times}1cm$) were incubated in tissue culture media at $37^{\circ}C$. We pre-treated the CD membranes with progesterone (P4), $17{\alpha}$-hydroxyprogesterone caproate (17P), promegestone (R5020), or vehicle (ethanol) for 24 hours. The CD membranes were subsequently treated with $TNF-{\alpha}$ (with continued progesterone treatment) for 48 hours, then media was harvested for measuring MMP-9 activity by zymography and total protein was isolated from CD membrane tissues for MMP-9 expression by western blot analysis. Results: P4, 17P, and R5020 significantly reduced $TNF-{\alpha}$-induced MMP-9 activity in fetal membrane tissue samples (P=0.0078, P=0.0156, and P=0.0391, respectively) by zymography. Western blot analysis also showed decreased expression of MMP-9 in progesterone pretreated groups (P=0.0313). Conclusion: Progesterone reduces $TNF-{\alpha}$-induced MMP-9 activity in human CD membranes. These findings may provide further support for the role of progesterone in preventing preterm birth.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
• /
• 한국신재생에너지학회 2010년도 추계학술대회 초록집
• /
• pp.50.2-50.2
• /
• 2010

Indium Tin Oxide (ITO)는 투과도가 높고, 전기 전도도가 뛰어나 TFT, 태양전지 등 여러 가지 산업에서 전극의 재료로 널리 사용되고 있다. 전극의 재료로써 가장 중요하게 고려되어야 할 사항 중의 하나는 전극과 접촉하는 물질과의 접촉 저항이다. 특히, 태양전지에서 높은 접촉 저항은 셀을 직렬저항 요소를 증가시켜 태양전지의 효율 저하를 가져 온다. 본 연구에서는 ITO를 실리콘 태양전지에 적용하기 위하여, ITO - n-type emitter간, ITO - Ag 간의 접촉 특성을 Transfer Length Method(TLM)을 통하여 분석하였다. p-type 실리콘의 전면을 도핑하여 pn접합을 형성한 후, 그 위에 ITO 패턴을 형성하여 ITO-emitter 간의 접촉 특성을 측정하였고, 두껍게 증착한 SiNx 박막 전면에 ITO를 증착한 후, Ag 패턴을 형성하여 ITO-Ag간의 접촉 특성을 측정 하였다. 측정 결과, ITO와 emitter 간의 접촉 비저항은 $0.9{\Omega}-cm^2 $을 나타내었고, ITO와 Ag와의 접촉 비저항은 $0.096{\Omega}-cm^2 $을 나타내었다.

• ETRI Journal
• /
• 제7권4호
• /
• pp.11-14
• /
• 1985

바이폴라 소자로 구성된 회로가 양호한 특성을 갖기 위해서는 개별 소자의 동작 속도, 집적도 및 전력 소비 특성이 좋아야 한다. 그런데 지금까지 주로 사용해온 기존의 SBC 바이폴라 트랜지스터로는 이들 특성을 개선하는 데는 한계가 있었다. 일반적으로 바이폴라 트랜지스터는 면적이 줄어듦에 따라 이들 특성이 개선되므로 본 연구에서는 SBC 방법과는 다른 PSA 공정 방법을 개발하였다. 즉, 소자 격리에서의 종래의 PN 접합에 의한 방법과 다른 산화막에 의한 방법을 도입하였고 또한 에미터, 베이스 사이의 거리를 최소로 줄이기 위하여 다결정 실리콘에 의한 polysilicon self-align 방법으로 에미터 및 베이스를 형성시켰다.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
• /
• 제34권1호
• /
• pp.133-140
• /
• 2010

NMEA2000 protocol known as IEC61162-3 of Multi-talker, Multi-listener, PnP communication is adopted as standard network for SOLAS ship by ISO in 2008 for e-navigation ages. NMEA2000 network uses well known CAN in physical layer. In this paper, address claim function is implemented for protocol converter device which can be used easily in combination with CPU of non network device. We are going to implement full function of NMEA2000 protocol and provide guideline to develop ship equipment to be networked easily.

• 품질경영학회지
• /
• 제20권1호
• /
• pp.80-90
• /
• 1992

In industries, the capability indices $C_p$ and $C_{pk}$ can be used to provide measures of process potential capability and performance, respectively. The new approach advocated by Taguchi in quality control overcomes some problems in other approaches preventive management activities. Taguchi introduces the emphasis on loss function to improve quality of products on the side of customer. The proceeding concept of capability indices is not rational for the measurement of quality if the process mean is not equal to target value. The Taguchi approach is said to be more reasonable than the others in quality evaluation because of his loss function. However, the capability indices $C_{pm}{^+}$ and $C_{pn}$ using Taguchi's loss function only consider, acceptance cost for deviation from target value within specification limits. In other words, they do not include rejection cost for nonconformings that are failed to fall on the specification limits.

• 로봇학회논문지
• /
• 제6권1호
• /
• pp.69-77
• /
• 2011

In a large scale robot system, one of important problems is software integration, which involves three elements: modularity, reusability and stability. By these issues, the degree of convenience of system integration, its required time and the performance of the system stability can be determined. In addition, the convenience of system management can be determined by the degree of completion of service components. This paper explains the template based service component (TBSC) for the integration of service components in networked robot. The important characteristics of TBSC are automatical execution and recovery process by a PnP supporting robot framework, which helps a system operator to manage a robot system comfortably. For easy implementation and system stability, we provide a service component creator and a verification tool to developers.