The chemical mechanical polishing (CMP) process is widely used in semiconductor manufacturing process for planarization of various materials and structures. Point-of-use (POU) filters are used in most of the CMP processes in order to reduce the unwanted micro-scratches which may result in defects. The performance of the POU filter is depends on type and size of the abrasives used during cleaning process. For this reason, there is a need to evaluate POU filters for their filtration efficiency (FE) with different types of abrasives. In this study, we developed filter test system to evaluate the FE of POU using ceria and silica abrasives (slurry). The POU filter is roll type capsule filter with retention size of 0.2 ${\mu}m$. Two POU filters of different make are evaluated for FE. We observed that both POU filters show similar filtration efficiency for silica and ceria slurry. Results reveal that the ceria slurry and the colloidal silica particle are removed not only by mechanical way but also hydrodynamic and electrostatic interaction way.
목 적 : 소아 관찰병실(pediatric observation unit: POU)의 운영내역을 분석하여 국내에서도 그 적용이 가능한지를 평가하기 위함이다. 방 법 : 2006년 3월부터 2007년 2월까지 1년간 가톨릭대학교 성모자애병원 소아과 POU에 입원한 환아들을 대상으로 하여 의무기록을 분석하였고 평균재원일수와 병상회전율을 평가하기 위하여 연구기간 1년 전 자료와 비교하였다. 결 과 : 총 1,076명이 POU에 입원하였으며 환아들의 중앙 연령은 2.4세이었고 중앙 재원시간은 14시간 00분이었다. 질환별로는 장염(42.7%)이 가장 많았고 그 외 급성인후염(19.1%), 모세기관지염(7.8%), 폐렴(5.5%), 열성경련(5.2%) 순이었다. 전체 환아 중 7.5%(81/1,076명)는 일반입원으로 전환되어 입원이 연장되었다. 전환율이 낮은 질환들은 변비와 장염, 중이염과 인후염을 포함한 상기도 감염성 질환, 경련성 질환, 후두염이었고 전환율이 높은 질환들은 폐렴, 발열이 조절되지 않은 열성경련, 천식이었다. POU 시행 1년전 자료와 비교할 때, 전체 입원환자의 평균 재원일수는 4.69일에서 3.75일로 감소하였고 병상회전율은 1병상 당 78.8명에서 98.2명으로 증가하였다. 결 론 : POU는 국내에서도 효율적으로 운영될 수 있음을 확인하였다. 향후 POU는 외래와 응급실 진료의 제한점을 보완하며 불필요한 입원기간을 줄일 수 있는 소아과 영역의 새로운 진료 형태로 자리잡을 수 있을 것이라고 기대한다.
This study was carried out to investigate the association of POU1F1 (POU domain, class 1, transcription factor 1, Pit1, renamed as POU1F1) gene with backfat thickness (mm), carcass weight (kg), pH, and color values ($L^*$, $a^*$, $b^*$) in crossbred pigs (Landrace ${\times}$ Yorkshire ${\times}$ Duroc). Frequency of the AA genotype indel was at the highest level (66.67%). Frequency of A allele (0.81) was higher than that of b allele (0.19). This population followed Hardy-Weinberg equilibrium. Carcass weights and $a^*$ values of the three genotypes were all significantly different (p < 0.05), respectively. However, backfat thickness, $L^*$, $b^*$, visual color, and pH of the three genotypes were not significantly different (p > 0.05). Visual color was negatively correlated with $L^*$ (r = -0.521) and $b^*$ (r = -0.390) values, $L^*$ value was correlated with $b^*$ (r = 0.419) value, and $a^*$ value was positively correlated with $b^*$ (r = 0.612) value. These results indicate that the POU1F1 gene affected carcass weight and meat redness.
Manjula, Prabuddha;Choi, Nuri;Seo, Dongwon;Lee, Jun Heon
Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
/
제31권5호
/
pp.643-649
/
2018
Objective: POU class 1 homeobox 1 (POU1F1) mediates growth hormone expression and activity by altering transcription, eventually resulting in growth rate variations. Therefore, we aimed to identify chicken POU1F1 polymorphisms and evaluate the association between single nucleotide polymorphisms (SNPs) and growth-related traits, and logistic growth curve parameter traits (${\alpha}$, ${\beta}$, and ${\gamma}$). Methods: Three SNPs (M_1 to M_3) were used to genotype 585 $F_1$ and 88 $F_0$ birds from five Korean native chicken lines using a polymerase chain reaction-restriction fragment length polymorphism method. Results: Single marker analyses and traits association analyses showed that M_2 was significantly associated with body weight at two weeks, weight gain from hatch to 2 weeks, and weight gain from 16 to 18 weeks (p<0.05). M_3 was significantly associated with weight gain from 14 to 16 weeks and from 16 to 18 weeks, and asymptotic body weight (${\alpha}$) (p<0.05). No traits were associated with M_1. The POU1F1 haplogroups were significantly associated with weight gain from 14 to 16 weeks (p = 0.020). Linkage disequilibrium test and Haploview analysis shown one main haploblock between M_2 and M_3 SNP. Conclusion: Thus, POU1F1 significantly affects the growth of Korean native chickens and their growth curve traits.
During the chemical mechanical planarization (CMP) process, slurry that comprises abrasive particles can directly affect the CMP performance and quality. Mainly, the large particles in the slurry can generate the defects on the wafer. Thus, many kinds of filters have been used in the CMP process to remove unwanted over-sized particles. Among these filters, the point-of-use (POU) filter is used just before the slurry is supplied onto the CMP pad. In the CMP research field, analysis of the POU filter has been relatively exceptional, and previous studies have not focused on the standardized filtration efficiency (FE) or filter performance. Furthermore, conventional evaluation methods of filter performance are not appropriate for POU filters, as the POU filter is not a membrane type, but is instead a depth type roll filter. In order to accurately evaluate the POU filter, slurry FE according to particle size was measured in this study. Additionally, a CMP experiment was conducted with filtered slurry to demonstrate the effects of filtered slurry on CMP performance. Depending on the flow rate and the filter retention size, the FE according to particle size was different. When the small and large particles have different FEs, the total filtration efficiency (TFE) can still have a similar value. For this reason, there is a need to measure the FE with respect to the particle size to verify the effects of the POU filter on the CMP process.
본 연구는 비육돈 268두를 대상으로 13번 염색체 중 POU1F1 intron 3영역의 유전자 Single Nucleotide Polymorphism(SNP)은 Msp I 제한효소에 의해서 구분된다. 직접 제작한 Primer로 POU1F1 유전자 중 intron 3영역을 증폭할 수 있도록 제작하였고, 823bp의 증폭산물을 기대할 수 있었다. 그 SNP 유전자형을 3개 군으로 분류하여 빈도 추정과 함께 육질관련 형질과의 연관성을 분석한 결과는 다음과 같다. POU1F1 SNP의 DD 유전자형은 84.33%로 가장 높은 출현율을 보인 반면에 CC 유전자형은 0.75%로 매우 낮게 나타났다. 대립유전자 D 빈도는 0.918로 매우 높게 출현하였으나, C 빈도는 0.082로 매우 낮게 출현하였다. Hardy-Weinberg 법칙에 따른 적합도 검정에서는 유의성 없이(p>0.05) 유전적 평형을 이루고 있는 집단임을 알 수 있었다. CD와 DD 유전자형 집단에서 등지방두께, 도체중, Hunter a 및 b값, 그리고 pH에서는 모두 유의한 차이를 보이지 않았으나, Hunter $L^*$값은 CD(37.26) 보다 DD(40.15) 유전자형 개체군에서 짙게 나타났고(p<0.05), 육색도판에 의한 육색은 DD(3.91) 보다 CD(5.09) 유전자형 개체에서 짙게 나타났다((p<0.001). 따라서 이러한 POU1F1 유전자의 SNP 유전자형은 돼지의 성장이나 도체관련 형질과의 연관성을 더욱 깊이 있게 탐색하여 명확한 구명으로 우량 돈육 생산을 위한 DNA marker로 활용되어야 할 것으로 사료된다.
반도체 및 디스플레이 제조공정 중에 화학기상증착(CVD), 식각(etching), 세정(cleaning) 공정에서 배출되는 과불화합물(PFCs)를 포함한 폐 가스 처리를 위해서 POU (point of use) 가스 스크러버 시스템을 도입하여 사용하고 있다. 과불화합물은 지구온난화 지수(GWP, global warming potential)와 대기 중 자연분해되는 기간(lifetime)이 $CO_2$에 비해 수천 배 높은 온실가스로 분류되어 있으며, 과불화합물의 열분해를 위해서는 3,000 K 이상의 고온이 요구되는 것이 일반적이다. 이러한 특징 때문에 과불화합물을 효과적으로 제어하기 위한 방법으로 열플라즈마 기술을 도입하고자 하는 노력들이 진행되어 왔으며, POU 가스 스크러버 기술을 개발하여 산업적으로 이용하고자 하였다. 열플라즈마 기술은 플라즈마 토치 기술, 전원공급장치 기술 및 플라즈마 토치-전원공급장치 매칭 기술 최적화를 통해 안정적으로 플라즈마 발생원을 유지시키는 것이 중요하다. 또한, 과불화합물 고효율 처리를 위한 고온의 플라즈마와 폐 가스의 효과적인 혼합이 주요 기술요인으로 확인되었다. 본 논문에서는 반도체 및 디스플레이 공정 폐 가스 처리를 위한 후처리 공정에 대한 기술적 정보를 제공함과 동시에 POU 플라즈마 가스 스크러버에 대한 기술개발 동향을 파악함으로써 향후 연구개발이 요구되는 핵심사항에 대해 논의하고자 한다.
As the integrated circuit device shrinks to smaller dimensions, chemical mechanical polishing (CMP) process was requirdfo the global planarization of inter-metal dielectric (IMD) layer with free-defect. However, as the IMD layer gest thinner, micro-scratches are becoming as major defects. However, as the IMD layer gets thinner, micro-scratches are becoming as major defects. Micro-scratches are generated by agglomerated slurry, solidified and attached slurry in pipe line of slurry supply system. To prevent agglomerated slurry particle from inflow, we installed 0.5${\mu}{\textrm}{m}$ point of use (POU) filter, which is depth-type filter and has 80% filtering efficiency for the 1.0${\mu}{\textrm}{m}$ size particle. In this paper, we studied the relationship between defect generation and polished wafer counts to understand the exact efficiency fo the slurry filteration, and to find out the appropriate pad usage. Our experimental results showed that it sis impossible to prevent defect-causing particles perfectly through the depth-type filter. Thus, we suggest that it is necessary to optimize the slurry flow rate, and to install the high spray bar of de-ionized water (DIW) with high pressure, to overcome the weak-point of depth type filter.
POU1F1 is a positive regulator for GH, PRL and TSH${\beta}$ and its mutations associate with production traits in ruminant animals. We described a DdeI PCR-RFLP method for detecting a silent allele in the goat POU1F1 gene: TCT (241Ser)>TCG (241Ser). Frequencies of $D_1$ allele varied from 0.600 to 1.000 in Chinese 801 goats. Significant associations of DdeI polymorphism with production traits were found in milk yield (*p<0.05), litter size (*p<0.05) and one-year-old weight (*p<0.05) between different genotypes. Individuals with genotype $D_1D_1$ had a superior performances when compared to those with genotype $D_1D_2$ (*p<0.05). Hence, the POU1F1 gene was suggested to the potential candidate gene for superior milk performance, reproduction trait and weight trait. Genotype $D_1D_1$, characterized by a DdeI PCR-RFLP detection, was recommended to geneticists and breeders as a molecular marker for better performance in the goat industry.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.