Effects of Deposition Conditions on Properties of CuNi thin Films Fabricated by Co-Sputtering of Dual Targets (이중 타겟의 동시 스퍼터링을 이용한 CuNi 박막 제작시 증착변수가 박막의 물성에 미치는 영향)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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- v.50 no.1
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- pp.11-16
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- 2001