• 전기전자학회논문지
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• 제26권3호
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• pp.333-340
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• 2022

고전압용 정전기 보호소자인 DDDNMOS(double diffused drain N-type MOSFET) 소자의 더블 스냅백 방지를 위한 최적의 이온주입 조건을 결정하기 위해 공정 및 소자 시뮬레이션이 수행되었다. HP-Well, N^- 드리프트 및 N⁺ 드레인 이온주입량의 변화가 더블 스냅백 및 애발란치 브레이크다운 전압에 미치는 영향을 고찰함으로써 더블 스냅백을 방지하여 정전기 보호 성능 개선할 수 있었다. HP-Well 영역보다는 N^- 드리프트 영역의 이온주입 농도를 최적으로 설계할 경우, 1차 on 상태에서 2차 on 상태로 전이하는 것을 막아주므로 비교적 양호한 정전기 보호 성능을 얻을 수 있었다. 또한 드리프트 이온주입 농도는 누설전류 및 애발란치 브레이크다운 전압에도 영향을 미치므로 동작전압이 30V보다 큰 공정기술에서는 DPS와 같은 새로운 구조를 적용하거나, 대안으로 여러 공정 변수들을 종합(colligation)하여 적용할 경우 향상된 정전기 보호 성능을 실현할 수 있을 것이다.

• 정보과학회 논문지
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• 제43권6호
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• pp.718-723
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• 2016

스트리밍 데이터 분석에서 개념 변화가 일어나는 시점을 정확히 탐지하는 것은 분류 모델의 성능을 유지하는 데 있어서 매우 중요한 작업이다. 오류율은 스트리밍 데이터에서 개념 변화 탐지를 위해 많이 사용되는 척도이다. 그러나 0과 1로 이루어진 이진 값만으로 예측 결과를 묘사하는 것은 분류 모델의 행동 패턴을 나타내는 유용한 정보의 손실을 초래할 수 있다. 이 논문에서는 오류율을 이용하는 대신에 확률 예측치를 사용하여 분류기의 성능 패턴을 묘사하고 급격한 변화를 탐지하는 효과적인 개념 변화 탐지 방법을 제안한다. 합성데이터와 실제 스트리밍 데이터를 이용한 실험 결과는 제안한 방법이 개념 변화 시점을 탐지하는데 뛰어난 성능을 가짐을 보여준다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.179-179
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• 2011

관통전극(TSV, Trough Silicon Via) 기술은 전자부품의 소형화, 고성능화, 생산성 향상을 이룰 수 있는 기술이다. Cu는 현재 배선 기술에 적용되고 있고 전기적 저항이 낮아서 TSV filling 재료로 사용된다. 하지만 확산 방지막에 의해 완벽히 감싸지지 않는다면, Cu+은 빠르게 절연막을 통과하여 Si 웨이퍼로 확산된다. 이런 현상은 절연막의 누설과 소자의 오동작 등의 신뢰성 문제를 일으킬 수 있다. 현재 TSV의 제조와 열 및 기계적 응력에 관한 연구는 활발히 진행되고 있으나 Biased-Thermal Stress(BTS) 조건하의 Cu 확산에 관한 연구는 활발하지 않는 것이 실정이다. 이를 위해 본 연구에서는 TSV용 Cu 확산 방지막 Ti에 대해 Cu+의 drift 억제 특성을 조사하였다. 실험을 위해 Cu/확산 방지막/Thermal oxide/n-type Si의 평판 구조를 제작하였고 확산 방지막의 두께에 따른 영향을 조사하기 위해 Ti의 두께를 10 nm에서 100 nm까지 변화하였으며 기존 Cu 배선 공정에서 사용되는 확산 방지막 Ta와 비교하였다. 그리고 Cu+의 drift 측정을 위해 Biased-Thermal Stress 조건(Thermal stress: $275^{\circ}C$, Bias stress: +2MV/cm)에서 Capacitance 및 Timedependent dielectric breakdown(TDDB)를 측정하였다. 그 결과 Time-To Failure(TTF)를 이용하여 Cu+의 drift를 측정할 수 있었으며, 확산 방지막의 두께가 증가할수록 TTF가 증가하였고 물질에 따라 TTF가 변화하였다. 따라서 평판 구조를 이용한 본 실험의 Cu+의 drift 측정 방법은 향후 TSV 구조에서도 적용 가능한 방법으로 생각된다.

• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제2권1호
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• pp.7-11
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• 2001

We measured the electron transport coefficients, the electron drift velocity, W, and the longitudinal diffusion coefficient, $D_{L}$, over the E/N range from 0.03 to 100 Td and gas pressure range from 0.133 to 122 kPa in the 0.526% and 5.05% $C_{3}F_{8}$-Ar mixtures by the double shutter drift tube with variable drift distance. And we calculated these electron transport coefficients by using multi-term approximation of Boltzmann equation analysis. We determined the electron collision cross sections set for $C_{3}F_{8}$ molecule by the comparison of measurement and calculation. Our special attention in the present study was focused upon the inelastic collision cross sections of the $C_{3}F_{8}$ molecule.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제19권3호
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• pp.301-306
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• 2006

The electron drift velocity W and the product of the longitudinal diffusion coefficient and the gas number density $ND_{L}$ in the $0.525\;\%$ and $5.05\;\%$ $C_{3}F_8-Ar$ mixtures were measured by using the double shutter drift tube with variable drift distance over the E/N range from 0.03 to 100 Td and gas pressure range from 1 to 915 torr. And we determined the electron collision cross sections set for the $C_{3}F_8$ molecule by STEP 1 of electron swarm method using a multi-term Boltzmann equation analysis. Our special attention in the present study was focused upon the vibrational excitation and new excitations cross sections of the $C_{3}F_8$ molecule.

• 수산해양기술연구
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• 제48권1호
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• pp.10-19
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• 2012

The mesh selectivity of a drift net for yellow croaker (Larimichthys polyactis) was examined in field experiments with six different net mesh size (40, 45, 50, 55, 60 and 65mm) from April to December, 2008 in the coastal areas of Jeollanam-do in Korea. The total catch of 6,748 consisted of yellow croaker (n=6,310; 89.1% of total catch), common mackerel (n=158; 5.6%) and other species (n=280; 9.6%). The selectivity curve for yellow croaker was fit by the models of selectivity curve in SELECT method. The optimal mesh size for 50% retention for minimum landing size (191mm) of yellow croaker was estimated as 49.6mm-51mm by selectivity curves. And the bi-normal model for the selectivity curve was found to fit the data best.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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• pp.844-847
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• 2001

In this work, transient characteristics of the Non-Punch Through(NPT) Insulated Gate Bipolar Transistor(IGBT) has been studied. we has analyzed with lifetimes excess minority carrier injected into N-dirft, base region of IGBT's BJT part and accumulated charge of on-state which affected swiching characteristic. In this paper, excess minority carrier and charge distribution in active base region is expressed analytically. This analysis proposed optical trade-off between lifetimes and accumulated charge for decreasing switching losses because charge result in switching loss when device was tuned off.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제42권10호
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• pp.9-18
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• 2005

Si, GaAs, InP 및 $In_{0.53}Ga_{0.47}AS$ 계단형 $p^{+}n$ 접합에서의 항복전압을 위한 해석적 표현식을 유도하였다. 해석적 항복전압을 위해 각 물질에 대한 Marsland의 lucky drift 파라미터를 이용하여 유효이온화계수를 각각 추출하였고, 이의 이온화 적분을 통해 얻은 해석적 항복전압 결과는 $10^{14}cm\;^{-3}\~5\times10\;^{17}cm\;^{-3}$도핑 농도 범위에서 실험 결과와 $10\%$ 오차 범위 이내로 잘 일치하였다.

• 천문학회지
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• 제45권5호
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• pp.127-138
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• 2012

We explore how wave-particle interactions affect diffusive shock acceleration (DSA) at astrophysical shocks by performing time-dependent kinetic simulations, in which phenomenological models for magnetic field amplification (MFA), Alfv$\acute{e}$nic drift, thermal leakage injection, Bohm-like diffusion, and a free escape boundary are implemented. If the injection fraction of cosmic-ray (CR) particles is ${\xi}$ > $2{\times}10^{-4}$, for the shock parameters relevant for young supernova remnants, DSA is efficient enough to develop a significant shock precursor due to CR feedback, and magnetic field can be amplified up to a factor of 20 via CR streaming instability in the upstream region. If scattering centers drift with Alfv$\acute{e}$n speed in the amplified magnetic field, the CR energy spectrum can be steepened significantly and the acceleration efficiency is reduced. Nonlinear DSA with self-consistent MFA and Alfv$\acute{e}$nic drift predicts that the postshock CR pressure saturates roughly at ~10 % of the shock ram pressure for strong shocks with a sonic Mach number ranging $20{\leq}M_s{\leq}100$. Since the amplified magnetic field follows the flow modification in the precursor, the low energy end of the particle spectrum is softened much more than the high energy end. As a result, the concave curvature in the energy spectra does not disappear entirely even with the help of Alfv$\acute{e}$nic drift. For shocks with a moderate Alfv$\acute{e}$n Mach number ($M_A$ < 10), the accelerated CR spectrum can become as steep as $E^{-2.1}$ - $E^{-2.3}$, which is more consistent with the observed CR spectrum and gamma-ray photon spectrum of several young supernova remnants.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제31권1호
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• pp.116-119
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• 2010

Adsorption structures of the self-assembled thin films of $\alpha$-cyano-4-hydroxycinnamic acid (CHCA) anchoring on $TiO_2$ surfaces have been studied by using temperature-dependent diffuse reflectance infrared Fourier-transform (DRIFT) spectroscopy. From the presence of the strong $\nu(COO^-)$ band at ~1390 $cm^{-1}$ along with the disappearance of the OH bands in the carboxylic acid group in the DRIFT spectra at room temperature, CHCA appeared to adsorb onto $TiO_2$ surfaces as a carboxylate form. The absence of the out-of-plane benzene ring modes of CHCA in the DRIFT spectra suggests a rather vertical orientation of CHCA on $TiO_2$. Above ~220$ ^{\circ}C$, CHCA seemed to start to thermally degrade on $TiO_2$ surfaces referring from the disappearance of most vibrational modes in the DRIFT spectra, whereas the $\nu$(C ≡ N) bands were found to remain relatively conspicuous as the temperature increased even up to ~460$^{\circ}C$.