• 한국진공학회지
• /
• 제17권2호
• /
• pp.102-108
• /
• 2008

대향 타겟식 스퍼터링법 (Facing Targets Sputtering)을 이용하여 유리기판위에 증착한 Ag/ZnO 다층 박막의 특성을 연구하였다. Ag 박막의 높은 전도도와 투과율을 나타내는 공정조건을 찾기 위하여, 증착시간, 기판온도 변화에 따른 Ag박막의 특성을 살펴보았으며, ZnO 박막의 두께 변화에 따른 Ag/ZnO 다층박막의 특성을 살펴보았다, 10초간 증착한 Ag 박막은 연속된 막구조를 가지지 못하여, 30초간 증착된 막에 비해 전기적, 광학적 특성이 저하되는 것을 확인할 수 있었다. ZnO 박막의 AFM 측정 결과 박막의 거칠기(Rrms) 값의 변화에 따라 Ag/ZnO박막의 특성에 영향을 미쳤으며, 거칠지 않은 표면을 지닌 박막에서 Ag 박막 증착 시 좋은 특성을 나타냈다. 제작된 박막은 four point probe, UV/VIS spectrometer, AFM을 사용하여 전기적, 광학적, 구조적 특성을 조사하였다. 제작결과 Ag/ZnO 다층박막의 면저항은 9.25 $[\Omega/sq.]$을 나타내었으며, 가시광영역에서 광투과율은 80%이상을 나타내었다.

• 한국응용과학기술학회지
• /
• 제16권1호
• /
• pp.41-44
• /
• 1999

Recently, high luminance and efficiency were realize in organic thin film electroluminescence (EL) cells with multilayer structures including an emitting layer (EML), hole transporting layer (HTL), and an electron transporting layer (ETL). In this study, Bis(10-hydroxybenzo[h]quinolinato)beryllium (Bebq2) was synthesized. PL and EL characteristics of their thin film were investigated by fabricating the devices having a structure of ITO/PVK/Bebq2/Al, ITO/PVK dispersed with TPD/Bebq2/Al. The EL color of these device was greenish and the wavelength of their EL peaks was located, respectly, at 495nm, and 492.5nm.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
• /
• pp.542-545
• /
• 2002

High performance organic electroluminescnet(EL) devices which are composed of organic thin multilayer films are fabricated. The basic structure is ITO/Emitting layer/LiF/Al in which have a blended emitting layer. The emitting layer is consisted of a host material(N,N' diphenyl-N,N' (3-methyl phenyl)-l,l'-biphenyl-4,4'diamine)(TPD)) and a guest emitting material(poly(3-hexylthiophehe)(P3HT)). We think that the energy transfer in blending layer occurred from TPD to P3HT. Red emitting multilayer EL devices were fabricated using tris(8-hydroxyqunolinate) aluminum$(Alq_3)$ as electron transport material. The device structure of ITO/blending layer(TPD+P3HT)$/Alq_3$/LiF/Al was employed. In the Voltage-current-luminance characteristics of multilayer device, the device tum on at the 2V and the luminance of $10{\mu}W/cm^2$ obtain at l0V. Red emission peak at 640nm was observed with this device structure. We have presented evidence that the excitation energy migration between a polymeric host and guest has to be explained. And by using multilayer, the red light emitting EL device enhances not only Voltage-current-luminance characteristic but also stability of device.

• 한국결정성장학회지
• /
• 제17권4호
• /
• pp.145-150
• /
• 2007

다층간섭필터 제작을 위한 $SiO_2 & TiO_2$ 박막을 electron-beam을 이용하여 제작하였다. 이온빔 보조증착 장비를 이용한 경우, 아르곤 가스와 산소 가스의 비율에 따라 양극전류를 변화시키며 증착하였고, 전자빔만을 사용한 경우에는 $100{\sim}250^{\circ}C$까지 $50^{\circ}C$ 간격으로 온도를 조정하여 증착하였다 $SiO_2$ 박막의 경우 표면 거칠기는 $200^{\circ}C$와 양극전류 0.2A에서 가장 낮은 값을 보였으며, 굴절률은 이온빔 보조 장치를 사용한 박막이 전자빔만을 사용하여 증착한 박막보다 전체적으로 0.1 정도 낮았다. $TiO_2$의 경우 표면거칠기는 상온과 양극전류 0.2A에서 가장 낮으며, 굴절률은 이온빔 보조 증착장치를 사용한 박막이 전자빔만으로 증착한 경우보다 전체적으로 낮은 값을 나타내었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.95-95
• /
• 2014

An OLED(Organic Light-Emitting Diode) device based on the emissive electroluminescent layer a film of organic materials. OLED is used for many electronic devices such as TV, mobile phones, handheld games consoles. ULVAC's mass production systems are indispensable to the manufacturing of OLED device. ULVAC is a manufacturer and worldwide supplier of equipment and vacuum systems for the OLED, LCD, Semiconductor, Electronics, Optical device and related high technology industries. The SMD Series are single-substrate sputtering systems for deposition of films such as metal films and TCO (Transparent Conductive Oxide) films. ULVAC has delivered a large number of these systems not only Organic Evaporating systems but also LTPS CVD systems. The most important technology of thin-film encapsulation (TFE) is preventing moisture($H_2O$) and oxygen permeation into flexible OLED devices. As a polymer substrate does not offer the same barrier performance as glass substrate, the TFE should be developed on both the bottom and top side of the device layers for sufficient lifetimes. This report provides a review of promising thin-film barrier technologies as well as the WVTR(Water Vapor Transmission Rate) properties. Multilayer thin-film deposition technology of organic and inorganic layer is very effective method for increasing barrier performance of OLED device. Gases and water in the organic evaporating system is having a strong influence as impurities to OLED device. CRYO pump is one of the very useful vacuum components to reduce above impurities. There for CRYO pump is faster than conventional TMP exhaust velocity of gases and water. So, we suggest new method to make a good vacuum condition which is CRYO Trap addition on OLED evaporator. Alignment accuracy is one of the key technologies to perform high resolution OLED device. In order to reduce vibration characteristic of CRYO pump, ULVAC has developed low vibration CRYO pumps to achieve high resolution alignment performance between Metal mask and substrate. This report also includes ULVAC's approach for these issues.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제45권9호
• /
• pp.524-530
• /
• 2008

Anti-Reflective (AR) thin film coatings of $SiO_2$ (n= 1.48) and $TiO_2$ (n=2.17) were deposited by ion-beam assisted deposition (IBAD) with End-Hall ion source and conventional electron beam (e-beam) evaporation to investigate the effect of deposition method on the refractive indicies (n) of the fIlms. Green-light generation using a GaAs laser diode was achieved via excitation of the second harmonic. The latter resulted from the transmission of the fundamental guided-mode wave of 1064 nm through periodically poled $LiNbO_3$. Large differences in the refractive indicies of each of the layers in the multilayer coating may improve AR performance. IBAD of $SiO_2$ reduced its refractive index from 1.45 to 1.34 at 1064 nm. Conversely, e-beam evaporation of $TiO_2$ increased its refractive index from 1.80 to 2.11. In addition, no fluctuations in absorption at the wavelength of 1064 nm were found. The results suggest that films prepared by different deposition methods can increase the effectiveness of multilayer AR coatings.

• 한국자기학회지
• /
• 제4권4호
• /
• pp.313-318
• /
• 1994

전자빔 증착 Co/Pt 다층박막에서 증발원자의 입사방향이 자기 및 자기광학적 성질에 미치는 영향을 조사하였다. 조성변조 Co/Pt 다층박막을 증발원자의 입사방향이 $0^{\circ},\;15^{\circ},\;30^{\circ},\;45^{\circ},\;60^{\circ}$이 되도록 하여 전자빔 증착법으로 제조한 후 x-ray 회절실험, 주사전자현미경으로 구조분석을 하였고, VSM, torque magnetometer, Kerr loop tracer를 사용하여 자기 및 자기광학적 성질을 조사하였다. x-ray 회절실험을 통해 모든 시료가 조성변조 다층박막 구조로 만들어졌음을 확인하였고, 입사각이 증가함에 따라 주상구조의 성장방향은 기판 수직선에서 벗어나지만 <111> 결정방향은 기판 수직선 가까이에 존재함이 관찰되었다. 포화자화값 $M_{s}$, Kerr회전각 ${\theta}k$는 입사각이 증가하면 줄어들었는데 이는 박막의 밀도 감소 때문이다. 자기이방성 또한 입사각의 증가에 따라 줄어들었다.

• 한국광학회지
• /
• 제33권1호
• /
• pp.22-27
• /
• 2022

격자의 구조가 간단하고 격자의 대조비가 낮은 SBC 시스템 구성을 위한 무편광 유전체 다층박막 회절격자를 제작하였다. 제작된 박막의 굴절률과 두께 오차로 인하여, 제작된 회절격자의 회절 효율은 설계보다 낮은 값을 나타내었다. 오차를 발생시킨 원인을 분석하고, 제작된 회절격자 위에 추가의 코팅을 통하여 회절 효율 보정이 가능함을 시뮬레이션을 통하여 확인하였다. 시뮬레이션 결과를 확인하기 위하여 제작된 회절격자 위에 Ta₂O₅ 추가층을 제작하고 회절격자를 측정한 결과 회절 효율 보상이 이루어졌으며, 최고 91.7%의 무편광 회절 효율을 얻었다.

• 한국콘텐츠학회:학술대회논문집
• /
• 한국콘텐츠학회 2004년도 추계 종합학술대회 논문집
• /
• pp.554-557
• /
• 2004

수면 위의 지질 단분자는 박막 모델로서 많은 관심을 끌고 있으며, 많은 기술적인 응용법에 의해 다층의 박막 시스템을 연구하고 있다. 아조벤젠 혼합물인 아조벤젠 덴드리머의 단분자막에서 광이성화는 흡수스펙트럼과 멕스웰 변위전류법(MDC)에 의해 관찰할 수 있다. 덴드리머는 나뭇가지 모양을 닮은 고분자이며, 흡수스펙트럼에 의해 trans-to-cis 변환을 평가할 수 있다. 본 연구에서는 덴드리머의 광이성화특성에 관하여 연구하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 1998년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.315-318
• /
• 1998

Organic light-emitting diodes(OLEDs) or electroluminescent devices have attracted much attention because of their possible application as large-area light-emitting displays. Their structure was based on employing a multilayer device structure containing an emitting layer and a carrier transporting layer of suitable organic materials. In this study, several Tb complexes such as Tb(ACAC)$_3$(Phen), Tb(ACAC)$_3$(Phen-Cl) and Tb(TPB)$_3$(Phen) were synthesized and the photoluminescence(PL) and electroluminescence (EL) characteristics of their thin films were investigated by fabricating the devices having a structure of anode/HTL/terbium-oomplex/ETL/cathode, where TPD was used as an hole transporting and Alq$_3$ and TAZ-Si were used as an electron transporting materials. It was found that the photoluminescence(PL) and electroluminescence(EL) characteristics of these terbium complexes were dependent upon the ligands coordinated to terbium metal. Details on the explanation of electrical transport phenomena of the structure with I-V characteristics of the OLEDs using the trapped-charge-limited current(TCLC) model will be discussed.