열처리시 Si 기판과 zirconate 박막 사이에 형성되는 다층 구조 분석 (Interfacial multi-layer formation between a thin zirconate film and a silicon substrate during thermal treatment)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- pp.261-261
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- 2005