Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1998.11a
- /
- Pages.13-13
- /
- 1998
Study on the reative ion etching for via opening in multi-layer MCM-D substrate fabrication processes
다층 구조 MCM-D 기판 제조에서의 반응성 이온 식각을 이용한 비아 형성법에 관한 연구
- Ko, Hyoung-Soo (Dept, of Mat. Sci, & Eng, KAIST) ;
- Paik, Kyung-Wook (Dept, of Mat. Sci, & Eng, KAIST)
- Published : 1998.11.01
Abstract
Keywords