Antenna structure를 이용한 MIS(TaN/$HfO_2$ /Si) capacitor의 plasma damage 연구
(Plasma damage of MIS(TaN/$HfO_2$ /Si) capacitor using antenna structure)
-
- 대한전자공학회:학술대회논문집
- /
- 대한전자공학회 2006년도 하계종합학술대회
- /
- pp.551-552
- /
- 2006