RF magnetron sputtering으로 제작한 BLT 박막의 후열처리 시 가스비 변화에 따른 전기적 특성에 관한 연구
(The effect of electrical properties by gas ratio on $Bi_{3.25}La_{0.75}Ti_3O_{12}$ thin films deposited by RF magnetron sputtering during being annealed)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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- pp.49-52
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- 2003